阀装置、流体控制装置、流体控制方法、半导体制造装置以及半导体制造方法

    公开(公告)号:CN112469934A

    公开(公告)日:2021-03-09

    申请号:CN201980049272.1

    申请日:2019-06-18

    Abstract: 本发明提供一种能够改善密封性能、小型化并且更加稳定地控制较大的流量的阀装置。所述阀装置具有:阀体(2);筒状构件(3),其设于收纳凹部(23)内且与第1流路(21)连通;阀座(48),其由筒状构件(3)支承;密封构件(49),其介于收纳凹部(23)的底面的第1流路(21)的开口周围与筒状构件(3)的下端部之间;环状板(11),其气密或液密地固定于在阀体(2)的收纳凹部(23)的内周面形成的环状的支承部(24)且气密或液密地固定于在筒状构件(3)的外周面形成的环状的支承部(37),具有与第2流路(22)连通的多个开口,且具有挠性;以及隔膜(41),其通过在相对于阀座(48)不接触的开位置以及相对于阀座(48)接触的闭位置之间移动而进行第1流路(21)和第2流路(22)之间的连通以及切断。

    信息处理装置、制造辅助系统、阀的组装方法及设备更换方法

    公开(公告)号:CN110741403A

    公开(公告)日:2020-01-31

    申请号:CN201880037554.5

    申请日:2018-07-11

    Abstract: 提供一种能够容易地制造具有合适规格的设备的技术。根据信息处理装置(1),分析部(11A)基于阀(30)的使用信息来创建表示适合阀(30)的合适规格的合适规格信息,规格比较部(11B)将合适规格信息与表示预定规格的规格信息进行比较,规格更新部(11C)基于规格比较部(11B)所做的比较结果更新阀(30)的规格信息,制造条件创建装置(制造条件创建部(11D)、制造条件更新部(11E))基于通过规格更新部(11C)所更新的规格信息来创建阀(30)的制造条件,指示信息创建部(11G)基于通过制造条件确定装置所确定的制造条件创建用于在显示设备(3)上显示的有关阀的制造的指示信息。

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