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公开(公告)号：CN102620781B
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201210019301.X
申请日：2012-01-20
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01F1/6845 , G01F1/692 , G01F1/698
Abstract: 提供一种实现稳定的启动特性和传感器元件的劣化抑制，具有还可应对发热体的进一步小型化的发热体温度控制单元的热式流量传感器。具有：半导体基板；在半导体基板设置的空洞部；在半导体基板上以覆盖空洞部的方式设置的绝缘膜；由绝缘膜覆盖空洞部而形成的薄膜区域；在绝缘膜上的薄膜区域设置的发热电阻体；设置在绝缘膜上的薄膜区域上且电阻值根据温度而变化的第1感温电阻体；基于第1感温电阻体温度来控制发热电阻体温度的发热控制单元；设置在发热电阻体的附近且电阻值根据温度而变化的第2感温电阻体；和基于第2感温电阻体温度来检测流体流量的流量检测单元，发热控制单元基于第1感温电阻体的目标温度和保护温度，控制发热电阻体的温度。
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公开(公告)号：CN102607738B
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201110442664.X
申请日：2011-12-27
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01K13/02 , G01F1/6842 , G01F5/00 , G01F15/185 , G01K1/16 , G01K2205/02
Abstract: 本发明提供一种即使在低流量区域也能够快速且正确地检测出吸气温度的吸气温度传感器。该吸气温度传感器通过插入到设置在吸气管(3)上的开口部中而将温度检测元件(6)配置在吸气管内，该吸气温度传感器构成为，温度检测元件与直接暴露于在吸气管中流动的吸气流中的散热板(4)机械地接合，且根据从所述温度检测元件得到的输出而输出吸气温度。由此，能够减少温度检测元件向吸气流的热阻，从而能够提供一种即使在低流量区域也能够快速且正确地检测出吸气温度的吸气温度传感器。
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公开(公告)号：CN104081169A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201280066660.9
申请日：2012-01-10
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01F1/684 , G01F1/6842 , G01F1/6845 , G01F1/69 , G01F1/696 , G01F5/00 , G01F15/02
Abstract: 本发明的目的在于提供一种高精度的流量计测装置，其包括：将在主通路中流动的流体的一部分取入的副通路；计测在上述通路内流动的流体的温度的第一测温单元；计测在上述副通路内流动的流体的温度的第二测温单元；检测在上述副通路内流动的流体的流量的检测单元；和基于上述第一测温单元的输出和上述第二测温单元的输出以及上述检测单元的输出，测定在上述主通路内流动的流体的流量的测定单元。
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公开(公告)号：CN102169097B
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201010623103.5
申请日：2010-12-27
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01N25/18
Abstract: 本发明提供一种热式气体传感器，能够进行基于热传导率变化的气体分析，具有高响应性和高精度。该热式气体传感器具有：基板(2)，具有空洞部(5)；薄膜支撑体(6)，层叠于空洞部上，由多个绝缘层(8a、8b)构成；和第一发热体(3)及第二发热体(4)，夹持于薄膜支撑体的绝缘层中；其中，第二发热体配置在第一发热体的周边，第一发热体被控制为高于第二发热体的温度，基于对第一发热体施加的电力测量周围气体的浓度。
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公开(公告)号：CN103703555A
公开(公告)日：2014-04-02
申请号：CN201180072589.0
申请日：2011-08-03
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: H01L21/822 , H01L27/04
CPC classification number: G01R1/18 , B81B3/0086 , G01D7/00
Abstract: 本发明的目的在于提供一种提高了检测精度的传感装置。该传感装置包括：与外部装置连接的外部端子（2）；接地的接地端子（3）；生成传感器输出信号的内部电路（4）；设置于上述外部端子与上述内部电路之间的由电阻元件（6）和电容元件（7）构成的保护电路（5），其中，上述电容元件由具有相互不同的电导率的电极对构成，将上述电极对中的具有比一方的电极低的电导率的低导电性电极（7a）连接到上述外部端子和上述内部电路。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101852630B
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201010117436.0
申请日：2010-02-20
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Abstract: 本发明提供一种高灵敏度且可靠性提高了的热式流量传感器。热式流量计具备取入被测量流体的通路(21)和配置于通路内并对被测量流体的流量进行测量的传感器元件(1)，传感器元件具有半导体基板(2)、形成于半导体基板的空洞部(29)和隔着电绝缘膜(3a)形成于空洞部上的发热电阻体(5)，通过从发热电阻体向被测量流体散热而测量被测量流体的流量，在该热式流量计中，当将与被测量流体的流动方向(6)垂直的垂直方向上的发热电阻体的长度设为Lh，将从被测量流体的流动方向上的发热电阻体的上游侧端部至空洞部(29)的周缘(29a)(隔膜的外周缘(4a))的最接近距离设为Wd时，Lh与Wd的关系为Wd≥0.4Lh。
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公开(公告)号：CN102004125A
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：CN201010258234.8
申请日：2010-08-18
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01N27/18
CPC classification number: G01N27/18
Abstract: 本发明提供一种高精度且机械性牢固的热式湿度传感器。本发明的热式湿度传感器的检测元件(1)，在硅或陶瓷等热传导率好的材料构成的平板基板上形成有隔膜(2)(桥梁结构部)，在该隔膜(2)上设有温度检测电阻体(4、5、6、7)和以包围该温度检测电阻体的方式配置的发热电阻体(3)。而且，基于温度检测电阻体(4、5、6、7)的输出检测湿度。由此，缩小从隔膜(2)向平板基板损失的热对湿度计测带来的误差。
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公开(公告)号：CN112400097A
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：CN201980045915.5
申请日：2019-05-20
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Abstract: 在流量传感器(10)中，电阻桥(100)检测气体流量的变化。差动A/D转换器(122)将从电阻桥(100)输出的模拟信号转换为数字信号。断线检测电路(130)用于检测将差动A/D转换器(122)与电阻桥(100)连接的接合线(164、165)的断线。断线检测电路(130)具有检测电容(141)以及比较器(145)。检测电容(141)的一方的连接部与差动A/D转换器(122)的输入节点连接。比较器(145)根据基于P侧输入电容(116)或侧输入电容(117)的静电电容与检测电容(141)的静电电容之比的电位来检测接合线(164、165)的断线，其中，P侧输入电容(116)或侧输入电容(117)分别与差动A/D转换器(122)的工作输入部连接。
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公开(公告)号：CN107923809B
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN201680049120.8
申请日：2016-07-27
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Abstract: 本发明的传感器装置(1)从控制装置(10)经由电源线(Vcc)和地线(Gnd)对传感器装置(1)的电源端子(7)和接地端子(9)供电，从传感器输出端子(8)经由传感器输出线(Vout)对控制装置(10)发送传感器输出电压。控制装置(10)中配置有对传感器装置(1)供给恒定电压的恒定电压源(11)和连接在传感器输出线(Vout)与恒定电压源(11)之间的上拉电阻(12)。传感器装置(1)包括电压(Vsen)与测量物理量相应地变化的物理量检测部(2)、用从电源端子(7)供给的电源电压发生低电压的调压器(3)、以从调压器(3)供给的低电压工作并控制传感器输出端子(8)的电压的开集型的运算放大器(4)、构成对传感器输出端子(8)的电压分压的分压电路的电阻元件(5、6)。
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公开(公告)号：CN106716077B
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201580052281.8
申请日：2015-07-24
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/68
Abstract: 本发明提供一种能够进行自我诊断的热式流量传感器。该热式流量传感器在具备设置了用于与外部电气导通的电极焊盘并检测流量的半导体元件的热式流量传感器中，所述电极焊盘至少设置两个以上，关于与所述电极焊盘相邻接的电极焊盘，排列成为在流量检测时使用的输出范围外的电位的电极焊盘。
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