热式气体传感器
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102169097A

    公开(公告)日:2011-08-31

    申请号:CN201010623103.5

    申请日:2010-12-27

    CPC classification number: G01N25/18

    Abstract: 本发明提供一种热式气体传感器,能够进行基于热传导率变化的气体分析,具有高响应性和高精度。该热式气体传感器具有:基板(2),具有空洞部(5);薄膜支撑体(6),层叠于空洞部上,由多个绝缘层(8a、8b)构成;和第一发热体(3)及第二发热体(4),夹持于薄膜支撑体的绝缘层中;其中,第二发热体配置在第一发热体的周边,第一发热体被控制为高于第二发热体的温度,基于对第一发热体施加的电力测量周围气体的浓度。

    热式气体传感器
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102169097B

    公开(公告)日:2014-05-07

    申请号:CN201010623103.5

    申请日:2010-12-27

    CPC classification number: G01N25/18

    Abstract: 本发明提供一种热式气体传感器,能够进行基于热传导率变化的气体分析,具有高响应性和高精度。该热式气体传感器具有:基板(2),具有空洞部(5);薄膜支撑体(6),层叠于空洞部上,由多个绝缘层(8a、8b)构成;和第一发热体(3)及第二发热体(4),夹持于薄膜支撑体的绝缘层中;其中,第二发热体配置在第一发热体的周边,第一发热体被控制为高于第二发热体的温度,基于对第一发热体施加的电力测量周围气体的浓度。

    热式湿度传感器
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102004125A

    公开(公告)日:2011-04-06

    申请号:CN201010258234.8

    申请日:2010-08-18

    CPC classification number: G01N27/18

    Abstract: 本发明提供一种高精度且机械性牢固的热式湿度传感器。本发明的热式湿度传感器的检测元件(1),在硅或陶瓷等热传导率好的材料构成的平板基板上形成有隔膜(2)(桥梁结构部),在该隔膜(2)上设有温度检测电阻体(4、5、6、7)和以包围该温度检测电阻体的方式配置的发热电阻体(3)。而且,基于温度检测电阻体(4、5、6、7)的输出检测湿度。由此,缩小从隔膜(2)向平板基板损失的热对湿度计测带来的误差。

    热式湿度传感器
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102004125B

    公开(公告)日:2013-10-09

    申请号:CN201010258234.8

    申请日:2010-08-18

    CPC classification number: G01N27/18

    Abstract: 本发明提供一种高精度且机械性牢固的热式湿度传感器。本发明的热式湿度传感器的检测元件(1),在硅或陶瓷等热传导率好的材料构成的平板基板上形成有隔膜(2)(桥梁结构部),在该隔膜(2)上设有温度检测电阻体(4、5、6、7)和以包围该温度检测电阻体的方式配置的发热电阻体(3)。而且,基于温度检测电阻体(4、5、6、7)的输出检测湿度。由此,缩小从隔膜(2)向平板基板损失的热对湿度计测带来的误差。

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