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公开(公告)号：CN102583229B
公开(公告)日：2014-07-30
申请号：CN201210066835.8
申请日：2012-03-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 面向微结构制造具有力反馈控制的微探针刻划加工方法。本发明属于微纳结构加工技术领域。本发明可以实现低成本、高精度、微米尺度沟槽等复杂微结构的加工。方法是：先将工件放置于X-Y向精密工作台上，根据所设定的力初值，简称设定值，使微探针刀具自动逼近工件表面并维持一个恒定的力F，该恒定的力F的初值为5-20mN，当微探针刀具与工件表面接触后，开始刻划加工，启动力闭环控制模块，Z向微动工作台上下移动，实现垂直力的实时闭环控制，X-Y向精密工作台带动工件做精密移动，实现微沟槽结构的加工；微沟槽结构加工好后，力闭环控制结束，微探针刀具由Z向粗动工作台带动向上移动脱离工件表面，加工结束。本发明用于加工工件的微沟槽结构。
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公开(公告)号：CN103786065A
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN201410051104.5
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种切削液喷雾装置，属于金属切削加工技术领域。包括喷管、通气软管、通液软管、针头和胶套，其中，通气软管的出口通过胶套与喷管的入口相连，通液软管的出口连接针头，针头在靠近胶套处刺入通气软管进入喷管中，通气软管的入口连接压缩气体，通液软管的入口连接切削液。本发明通过压缩气体通过喷管时会在针头处形成一个负压区，以使切削液处于低于大气压状态，使得切削液与压缩气体混合后以雾状喷出，该装置体积小，成品低，易于调节，结构简单，便于安装和拆卸。
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公开(公告)号：CN102703875A
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201210230054.8
申请日：2012-07-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C23C14/35
Abstract: 一种掠角磁控溅射沉积工艺装备。属于微纳米加工制造技术领域。为了实现磁控溅射沉积过程中沉积粒子沉积角度与沉积基体的运动形式两个工艺参数可独立控制并且自由组合这一目的。步进电机的输出轴与传动蜗杆传动连接，传动蜗杆与传动蜗轮啮合，传动蜗轮与基体托盘连接，基体平面调整传动轴与传动蜗轮同轴设置，分度盘固定套装在基体平面调整传动轴上，基体平面调整传动轴及基体平面调整架通过法兰连接，基体平面调整架上装有约束机构调整架，基体平面调整壳体固定于真空室的外侧面，平行板约束沉积机构安装在约束机构调整架上，沉积约束挡板与沉积约束平行板平行设置并位于沉积约束平行板的后面。本发明用于基体磁控溅射沉积。
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公开(公告)号：CN102531676A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201210053742.1
申请日：2012-03-03
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于纳米氧化铜的天然金刚石刀具真空热化学腐蚀方法。属于超精密切削加工技术领域。可有效去除或修复机械刃磨工艺环节导入刀具表面的损伤层，使刀具表面微硬度和弹性模量等力学参数接近固有值，从而提高刀具刃口耐磨损性能。方法：采用机械刃磨工艺方法刃磨天然金刚石刀具的表面，用丙酮超声清洗干净；取2-5g纳米氧化铜粉末置于金属铜器皿中，然后把天然金刚石刀具的刀头置于金属铜器皿内的纳米氧化铜粉末上，同时施加138g配重块；把盛有纳米氧化铜的金属铜器皿、天然金刚石刀具和配重块一起放到真空热处理炉内的工作台上进行热处理；完成热处理后取出天然金刚石刀具，并用丙酮把刀具表面擦拭干净。本发明用于去除或修复天然金刚石刀具表面的损伤层。
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公开(公告)号：CN100561179C
公开(公告)日：2009-11-18
申请号：CN200610151235.6
申请日：2006-12-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N3/40
Abstract: 基于AFM的纳米机械性能检测装置，它涉及的是纳米机械性能检测的技术领域。它是为解决现有测量方法存在其检测设备价格昂贵，现有的AFM系统不能够直接提供反映表面机械性能的压痕过程曲线及不能测量按一定速率加载的刻划过程的摩擦力信号的问题。主控计算机(1)通过串行通信电路(2)、第一单片机(4)、光电隔离电流环串行接口通道(8)、第三单片机(11)、三路D/A转换电路(12)及第二单片机(9)、两路A/D转换电路(10)分别连接二维工作台控制器(13)、二维工作台(14)与AFM系统(15)。它还具有制造成本价格便宜，能够直接提供反映表面机械性能的压痕过程曲线及能按一定速率加载的刻划过程的摩擦力信号。点阵压痕的最大范围为100μm×100μm，刻划长度为100nm～100μm。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101003356A
公开(公告)日：2007-07-25
申请号：CN200710071628.0
申请日：2007-01-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B82B3/00
Abstract: 基于原子力显微镜恒高模式的纳米微小结构加工方法，本发明涉及纳米量级微小结构的加工方法。它克服了现有的AFM的纳米微小结构加工方法加工深度不可人为设定以及所能精确加工的尺寸范围非常有限的缺陷。本发明系统增加了三维微动工作台控制电路和三维微动工作台，本方法的主单片机通过三维微动工作台控制电路驱动三维微动工作台完成高度方向上的运动，使探针的针尖刺入被加工工件表面；探针所受反作用力在悬臂上产生的变形量被光杠杆测角装置检测到并传送给主单片机，三维微动工作台持续进行高度方向上的进给，直到用户的加工深度设定值等于三维微动工作台高度方向上的进给量减去悬臂上产生的变形量，直到刻划工作结束。
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公开(公告)号：CN1564094A
公开(公告)日：2005-01-12
申请号：CN200410013615.4
申请日：2004-03-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/18 , G05B19/408 , G05B15/02
Abstract: 微机械零件三维加工方法，它属于一种超精密加工方法。现有诸多微机械零件的加工方法存在只能加工准三维结构等弊端。本发明两种方法都需结合现有的微机械零件三维加工装置来实现：依次设置扫描探针显微镜等的工作参数，将样品放在三维工作台上，通过控制工作台X、Y向运动开始加工第一个图形；当加工完第一个图形后抬起探针，工作台作二维移动后开始加工下一个图形，直到加工完所有的图形。另一种方法是，三维工作台按预先设置的值在X、Y、Z向移动，一次加工完全部图形后，通过扫描陶管作收缩运动抬起探针，结束加工。本发明方法可以进行真正的三维加工，去除量在纳米量级，对表面的破坏极小，它可以应用于MEMS器件、掩膜和微小模具的制造。
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公开(公告)号：CN118789521A
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202411145918.5
申请日：2024-08-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种具有大姿态角的六自由度并联机器人及其控制方法，涉及大姿态角并联机器人技术领域。动平台与固定框架之间通过四条PUS支链和三条UPS支链连接，支链的驱动关节通过连杆与动平台进行连接，PUS支链的竖向直线运动模组与固定框架固定设置，其驱动关节与连杆之间设置E型虎克铰，连杆与动平台之间设置E型球副，UPS的斜向直线运动模组与固定框架之间设置H型虎克铰，其驱动关节与连杆固定连接，连杆与动平台之间设置U型球副。通过优化铰链间的几何关系，利用常态组支链与轮换组支链不同控制策略的配合，保证动平台位姿精度，还可干预调节各驱动关节的驱动力，使动平台能够连续的进行大角度姿态调整。
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公开(公告)号：CN114152236B
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202111372162.4
申请日：2021-11-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B21/20
Abstract: 一种基于球坐标球度仪的高精度球度测量方法，属于球度精密测量技术领域。包括以下步骤：S1.建立高精度球度仪；S2.调节辅助对心装置上的标准圆柱体的回转轴线与高精度球度仪的高精度卧式主轴回转轴线同轴；S3.利用辅助对心装置使非接触式位移传感器测量轴线与高精度卧式主轴回转轴线垂直相交；S4.使标准球球心在高精度气体静压转台的延长线上；S5.使非接触式位移传感器测量轴线经过标准球球心；S6.使标准球球心在高精度卧式主轴回转轴线的延长线上；S7.换成被测球，根据路径规划即可测量球体的经、纬线、或任意路径的数据。本发明实现了在高精度球坐标球度仪上的空间三维方向的对心，从而进步提高球度测量精度，测量更全面。
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公开(公告)号：CN117032072B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202311089821.2
申请日：2023-08-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/404
Abstract: 一种五轴超精密机床几何误差分配方法，涉及一种机床误差分配方法。设计五轴超精密机床；建立几何误差模型；设置几何误差的取值范围并全局敏感性分析；参考分析结果设置精度边界条件和成本边界条件；将边界条件作为约束使用群优化算法对几何误差进行分配；建立误差综合模型，设计机床五个轴系的运动轨迹，将几何误差分配结果作为驱动，计算工件端和刀具端三个方向的距离；使用误差综合模型计算在没有误差时工件端和刀具端三个方向的距离；计算空间几何误差值调整边界条件直至满足设计指标。综合考虑了误差分配过程中的精度边界条件和成本边界条件，保证机床加工精度的同时，有助于确保机床制造成本不超标。
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