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公开(公告)号：CN101732026B
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN200910273088.3
申请日：2009-12-04
Applicant: 华中科技大学
CPC classification number: A61B1/00158 , A61B1/041 , A61B34/73
Abstract: 本发明公开了一种用于胶囊内窥镜检测的磁导航式运动控制系统，可以实现胶囊内窥镜在消化道内的运动控制和位置控制。系统包括受检者支撑部、磁装配体、磁支撑座和伺服控制单元。磁装配体采用永久磁铁和机械运动产生一个准静态磁场，实现对内置入永磁体的胶囊内窥镜的定位和导向。本发明所提出的磁导航式运动控制系统含有5个联动轴，通过外部控制磁导航仪系统各个部件的进给速度、转动速度和相对运动速度，可以实现针对胶囊内窥镜在消化道内的运动控制和位置控制。
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公开(公告)号：CN101746706A
公开(公告)日：2010-06-23
申请号：CN200910272424.2
申请日：2009-10-16
Applicant: 华中科技大学
Abstract: MEMS圆片级真空封装横向互连结构及其制造方法，属于微机电系统的导线互连结构，解决键合过程中气密性问题，实现真空腔内外电信号的连通。本发明互连结构，在硅基板表面依次具有SiO2绝缘层和多个电极，各电极在硅基板表面的SiO2绝缘层上周向分散排列，各电极引线上自下而上依次具有闭合曲线形状的绝缘介质层和键合环，键合环内部封闭空间为真空腔，用于放置MEMS器件；硅盖板与键合环完成键合。本发明的制造方法，依次包括热氧化SiO2绝缘介质层、制作金属电极、沉积绝缘介质层、生长多晶硅、化学机械抛光、键合步骤。本发明键合应力小、密封质量高、可靠性好、成本较低，可极大促进圆片级MEMS真空封装技术的商业化推广。
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公开(公告)号：CN101608962A
公开(公告)日：2009-12-23
申请号：CN200910062620.7
申请日：2009-06-09
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 一种微型皮拉尼计，属于微机电系统的真空度测量器件，克服现有微型皮拉尼计体积大、灵敏度不够高的问题。本发明在硅衬底上具有凹槽，凹槽表面架有隔热层，隔热层表面覆盖绝缘层，绝缘层上溅射有加热体，加热体的两端溅射有金属电极；所述加热体为形状弯曲的铂或镍金属；所述绝缘层材料为氮化硅或二氧化硅；所述隔热层材料为二氧化硅、氮化硅中的一种或两种。本发明体积小、重量轻而且性能稳定，加热体采用金属铂，它的线性度好、性能稳定、灵敏度高、有良好的化学稳定性；其制造工艺简单、成本低、成品率高、可靠性高。适用于各种大小真空封装以及微型腔体中进行真空度实时检测。
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公开(公告)号：CN100484498C
公开(公告)日：2009-05-06
申请号：CN200610018832.1
申请日：2006-04-19
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种柔性视网膜芯片。顶层和底层聚合物薄膜之间设置有规则分布的硅岛和通孔，硅岛内含有用于模拟生理性功能的功能单元，通孔与硅岛交错分布，硅岛与顶层聚合物薄膜之间设置有引线层；底层聚合物薄膜上的空隙处与顶层聚合物薄膜紧密粘合于一起；电极为功能单元的一部分、或者位于顶层聚合物薄膜或底层聚合物薄膜上。该芯片采用MEMS工艺流程化制作，实现了微功能单元和柔性基底的集成。本发明芯片表面布有密集的通孔，形成镂空格栅状，有利于芯片上下层组织间营养物和代谢物的交流，保证了生物功能的完整性，保证整个视网膜区域的良好代谢，更进一步增强了视网膜芯片的易弯曲性能，柔性更加高。本发明方法有利用高效率批量制作。
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公开(公告)号：CN1875895A
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：CN200610018832.1
申请日：2006-04-19
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种柔性视网膜芯片。顶层和底层聚合物薄膜之间设置有规则分布的硅岛和通孔，硅岛内含有用于模拟生理性功能的功能单元，通孔与硅岛交错分布，硅岛与顶层聚合物薄膜之间设置有引线层；底层聚合物薄膜上的空隙处与顶层聚合物薄膜紧密粘合于一起；电极为功能单元的一部分、或者位于顶层聚合物薄膜或底层聚合物薄膜上。该芯片采用MEMS工艺流程化制作，实现了微功能单元和柔性基底的集成。本发明芯片表面布有密集的通孔，形成镂空格栅状，有利于芯片上下层组织间营养物和代谢物的交流，保证了生物功能的完整性，保证整个视网膜区域的良好代谢，更进一步增强了视网膜芯片的易弯曲性能，柔性更加高。本发明方法有利用高效率批量制作。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1277738C
公开(公告)日：2006-10-04
申请号：CN200510018220.8
申请日：2005-01-28
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种用于圆片真空封装的夹具，在托盘上装有二套或三套夹紧装置，每套夹紧装置由两个平行四杆机构组成，该机构的结构为，第一连杆通过第四销轴与第一从动杆的一端连接，第一连杆的一端通过第三销轴与第一主动杆的一端连接，在第一连杆的另一端固定第一压片，第一弹簧的两端分别接在第一主动杆的另一端及支座上，第一主动杆通过第一销轴接在支座上，第一从动杆的另一端通过第二销轴接在支座上，支座与托盘相固定。本发明定位精度高；采用平行四杆机构实现双稳态，使定位和夹紧更加合理，不易损坏MEMS器件；操作简单，既可实现自动化操作，也可手动操作；适用于真空环境下的MEMS器件的阳极键合、共晶键合等定位精度要求高的场合。
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公开(公告)号：CN1775546A
公开(公告)日：2006-05-24
申请号：CN200510019944.4
申请日：2005-12-02
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明提供了一种纳米压印机，包括X－Y粗动工作台、找平装置、X－Y微动工作台、承片板、转动工作台；X－Y粗动工作台由二个步进电机带动，实现模板和承片板上的样品水平方向的粗定位；找平装置中的压力传感器用于压印和分离过程中，对压力进行测量和控制，控制直流伺服电机带动模板实现上、下运动；X－Y微动工作台由二个压电陶管驱动，调节模板和样品之间水平方向的精定位；转动工作台由二个步进电机驱动，分别实现模板和样品之间转角的精定位、粗定位。本发明具有优于20nm定位对准精度，能满足特征尺度在100纳米以下、多层图案的低成本、大批量的制作；能工作于冷压印和热压印两种压印模式，具有较好的灵活性。
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公开(公告)号：CN1760112A
公开(公告)日：2006-04-19
申请号：CN200510019857.9
申请日：2005-11-22
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种具有双微观结构的超疏水表面及其制作方法。超疏水表面的结构为，在聚合物薄膜的表面上同时存在微米级阵列和纳米级阵列，微米级阵列中微柱的长、宽、高和阵列中各微柱之间的间距为10～100μm，纳米级阵列中纳米柱的高、直径和阵列中各纳米柱之间的间距为10～100nm。本发明具有双微观结构的超疏水表面能克服微尺度下的表面效应导致的表面摩擦和粘附；能降低微流通道的沿程压力损失，增大流体的流动速度，改善流体在微流体器件中的流动特性。本发明制作具有双微观结构的超疏水表面的方法是以微加工和阳极氧化为基础，成品率较高；以纳米压印作为转移手段，模板可重复利用，容易进行大规模批量生产，降低了成本。
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公开(公告)号：CN1644484A
公开(公告)日：2005-07-27
申请号：CN200510018220.8
申请日：2005-01-28
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种用于圆片真空封装的夹具，在托盘上装有二套或三套夹紧装置，每套夹紧装置由两个平行四杆机构组成，该机构的结构为，第一连杆通过第四销轴与第一从动杆的一端连接，第一连杆的一端通过第三销轴与第一主动杆的一端连接，在第一连杆的另一端固定第一压片，第一弹簧的两端分别接在第一主动杆的另一端及支座上，第一主动杆通过第一销轴接在支座上，第一从动杆的另一端通过第二销轴接在支座上，支座与托盘相固定。本发明定位精度高；采用平行四杆机构实现双稳态，使定位和夹紧更加合理，不易损坏MEMS器件；操作简单，既可实现自动化操作，也可手动操作；适用于真空环境下的MEMS器件的阳极键合、共晶键合等定位精度要求高的场合。
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公开(公告)号：CN1604303A
公开(公告)日：2005-04-06
申请号：CN200410060914.3
申请日：2004-09-24
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L21/768 , H01L21/3205
Abstract: 本发明公开了一种基于纳米碳管的互连方法，包括：在硅基底上用电子束蒸发一层厚度为20～200nm的铝膜；采用阳极氧化法将铝膜制备成多孔氧化铝模板；根据硅基底的互连需要，采用曝光、湿法显影和干法刻蚀，制作开有通孔的掩膜板；将开有通孔的掩膜板置于多孔氧化铝模板上，掩膜板的通孔与硅基底上需要互连的位置对准，采用微湿含浸法在氧化铝模板的孔底部种植催化剂金属；在催化剂金属上，采用化学气相淀积的方法制备纳米碳管束。本发明的优点是：能够有效控制纳米碳管束的生长方向、直径和长度，获得所需的互连结构，满足了小节距(小于20μm)，大功耗(超过200watts)，高频率(20～50GHz)的芯片互连要求。
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