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公开(公告)号：CN117437488A
公开(公告)日：2024-01-23
申请号：CN202311592745.7
申请日：2023-11-27
Applicant: 华中科技大学
IPC: G06V10/764 , G06V10/82 , G06N3/0464 , G06N3/045 , G06N3/084 , G06T7/00
Abstract: 本发明属于缺陷分类检测领域，并具体公开了一种基于双通道卷积神经网络的晶圆缺陷分类方法及系统，其包括：分别获取各种晶圆缺陷类型对应的多组图像对，构建缺陷类型‑图像对数据集；其中，一组图像对包括缺陷晶圆的远场空间像二阶差分图像及其一阶横向梯度图像；通过缺陷类型‑图像对数据集对双通道卷积神经网络进行训练，训练好的双通道卷积神经网络即为缺陷分类模型；获取待分类缺陷晶圆的图像对，并将其输入缺陷分类模型，得到晶圆缺陷类型。本发明可实现快速、准确地晶圆缺陷分类检测。
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公开(公告)号：CN114264632B
公开(公告)日：2024-01-05
申请号：CN202111535604.2
申请日：2021-12-15
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于系统参数校准相关技术领域，其公开了一种角分辨式散射仪中物镜偏振效应的原位校准方法，包括以下步骤：(1)通过角分辨式散射测量系统对标准薄膜进行测量以得到物镜后焦面实测图像；同时，建立、包含物镜偏振效应的系统仿真模型，并以该标准薄膜为样品，通过系统仿真模型生成物镜后焦面仿真图像；(2)基于样品的椭偏参数系统方程、物镜后焦面实测图像及物镜后焦面仿真图像计算得到实测及理论多入射角椭偏参数；(3)基于物镜偏振效应传递矩阵来确定物镜椭偏参数求解方程，进而求解得到物镜多入射角椭偏参数，以完成角分辨式散射测量系统中物镜偏振效应的原位校准。本发明够有效降低因仪器中物镜偏振效应误差引起的测量误差。
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公开(公告)号：CN113341708B
公开(公告)日：2022-05-20
申请号：CN202110529409.2
申请日：2021-05-14
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种飞秒激光诱导气体电离的等离子体参数的测量方法及系统，将皮秒激光作为探测光对飞秒激光诱导气体电离所得的等离子体的动态演变过程进行探测，并基于夫琅禾费衍射和菲涅尔衍射理论建立衍射模型；将探测到的衍射光谱与基于衍射模型得到的衍射光谱进行拟合，得到探测光相移频域演变，进而得到等离子体参数的时域演变；本发明可在单发测量内获取等离子体的时空演变过程，在测量过程中无需调节装置中的延迟线重复测量，极大地简化了操作过程，节省了测量时间，降低了测量误差，提高了检测精确度；并且，本发明只需要单次拟合衍射光谱，便可计算获取等离子体参数的时域演变，无需多次提取拟合，极大程度上提高了参数获取速度。
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公开(公告)号：CN112505001B
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：CN202011339212.4
申请日：2020-11-25
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于光学测量技术领域，并具体公开了一种飞秒激光加载下透明材料动态测量装置及方法，包括飞秒激光器、非偏振分束器、飞秒脉冲泵浦模块和皮秒脉冲探测模块，飞秒激光器和非偏振分束器依次设置，飞秒激光器发出的激光经非偏振分束器分为两路飞秒脉冲激光；其中一路进入泵浦光路，由光束倍频单元倍频后，经机械快门得到单发飞秒脉冲，该单发飞秒脉冲入射到聚焦透镜，并聚焦于待测样品内部；另一路飞秒脉冲激光进入探测光路，由啁啾展宽单元展宽为线性啁啾皮秒脉冲，经成像透镜组引入待测样品，对激发区域放大后进入成像光谱仪，CCD相机采集成像光谱仪中图像。本发明可在单发脉冲内获取飞秒激光加载下透明材料内结构改性的时空演变过程。
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公开(公告)号：CN113916797A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111162313.3
申请日：2021-09-30
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种磁性薄膜的磁光参数表征方法及系统，属于磁光偏振测量领域，包括：测量由基底、磁性薄膜及空气所构成的三介质系统的椭偏参数ψ、Δ和全穆勒矩阵M；利用M分别计算入射P光到反射P光和反射S光的反射系数rPP和rSP，以及入射S光到反射P光和反射S光的反射系数rPS和rSS，并利用ψ、Δ进行椭偏分析，以获得厚度d和复折射率N2；利用所计算的反射系数及椭偏分析结果计算复磁光耦合系数Q，并计算P光和S光的磁光克尔偏转角和以及P光和S光的椭率角和计算公式中直接保留2πdN2cosθ2/λ项。本发明在磁性薄膜厚度较大时，仍然能够准确表征其磁光参数，可适用于铁氧体磁性薄膜等厚度分布范围较大的磁性薄膜磁光参数表征。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113341708A
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN202110529409.2
申请日：2021-05-14
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种飞秒激光诱导气体电离的等离子体参数的测量方法及系统，将皮秒激光作为探测光对飞秒激光诱导气体电离所得的等离子体的动态演变过程进行探测，并基于夫琅禾费衍射和菲涅尔衍射理论建立衍射模型；将探测到的衍射光谱与基于衍射模型得到的衍射光谱进行拟合，得到探测光相移频域演变，进而得到等离子体参数的时域演变；本发明可在单发测量内获取等离子体的时空演变过程，在测量过程中无需调节装置中的延迟线重复测量，极大地简化了操作过程，节省了测量时间，降低了测量误差，提高了检测精确度；并且，本发明只需要单次拟合衍射光谱，便可计算获取等离子体参数的时域演变，无需多次提取拟合，极大程度上提高了参数获取速度。
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公开(公告)号：CN112505001A
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN202011339212.4
申请日：2020-11-25
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于光学测量技术领域，并具体公开了一种飞秒激光加载下透明材料动态测量装置及方法，包括飞秒激光器、非偏振分束器、飞秒脉冲泵浦模块和皮秒脉冲探测模块，飞秒激光器和非偏振分束器依次设置，飞秒激光器发出的激光经非偏振分束器分为两路飞秒脉冲激光；其中一路进入泵浦光路，由光束倍频单元倍频后，经机械快门得到单发飞秒脉冲，该单发飞秒脉冲入射到聚焦透镜，并聚焦于待测样品内部；另一路飞秒脉冲激光进入探测光路，由啁啾展宽单元展宽为线性啁啾皮秒脉冲，经成像透镜组引入待测样品，对激发区域放大后进入成像光谱仪，CCD相机采集成像光谱仪中图像。本发明可在单发脉冲内获取飞秒激光加载下透明材料内结构改性的时空演变过程。
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公开(公告)号：CN109141259B
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN201810885777.9
申请日：2018-08-06
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01B11/06 , G01N21/01 , G01N21/552
Abstract: 本发明属于光学测量相关技术领域，其公开了薄吸收膜的光学常数与厚度的测量装置及方法，该测量装置包括集成于一体的椭偏参数测量模块与反射率测量模块，所述椭偏参数测量模块与所述反射率测量模块相对设置，且所述椭偏参数测量模块得到的探测光束与所述反射率测量模块得到的探测光束辐照于待测样品的相同位置，从而实现了待测样品表面同一点的椭偏参数与反射率的同时、原位及在线测量。本发明实现了薄吸收膜光学常数与厚度的有效表征，同时实现了非透明基底上薄吸收膜的光学常数与厚度的原位表征，且结构简单，易于实施。
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公开(公告)号：CN109141259A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201810885777.9
申请日：2018-08-06
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01B11/06 , G01N21/01 , G01N21/552
CPC classification number: G01B11/06 , G01N21/01 , G01N21/552
Abstract: 本发明属于光学测量相关技术领域，其公开了薄吸收膜的光学常数与厚度的测量装置及方法，该测量装置包括集成于一体的椭偏参数测量模块与反射率测量模块，所述椭偏参数测量模块与所述反射率测量模块相对设置，且所述椭偏参数测量模块得到的探测光束与所述反射率测量模块得到的探测光束辐照于待测样品的相同位置，从而实现了待测样品表面同一点的椭偏参数与反射率的同时、原位及在线测量。本发明实现了薄吸收膜光学常数与厚度的有效表征，同时实现了非透明基底上薄吸收膜的光学常数与厚度的原位表征，且结构简单，易于实施。
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公开(公告)号：CN109115695A
公开(公告)日：2019-01-01
申请号：CN201810891464.4
申请日：2018-08-07
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N21/27
Abstract: 本发明属于各向异性体材料测量相关技术领域，其公开了一种各向异性体材料光学常数和欧拉角的提取方法，该方法包括以下步骤：(1)建立待测样品的测试系统，通过所述测试系统获得待测样品的测量穆勒矩阵光谱Mm；(2)根据4×4矩阵法建立待测样品的正向光学模型，并计算出待测样品的部分传输矩阵；(3)结合光学常数拟合初值及所述部分传输矩阵计算出待测样品的理论穆勒矩阵光谱Mc；(4)计算出理论穆勒矩阵光谱与测量光谱之间的均方根误差，并寻优光学常数以使得该均方根误差小于设定阈值，从而提取出待测样品多波长下的光学常数和欧拉角。本发明的分析过程简单，测量准确性较高，适用性较好，灵活性较高。
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