公开(公告)号：CN1189756C

公开(公告)日：2005-02-16

申请号：CN01800096.7

申请日：2001-02-21

Applicant: OHT株式会社

Inventor： 藤井达久 ,  石冈圣悟 ,  山冈秀嗣

IPC: G01R31/02 ,  G01R31/302 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01R31/2812

Abstract: 本发明提供了一种可以对导电图形的形状实施精细检测的检测装置和相应的传感器。其中传感元件可以包含有MOSFET，取表面积比较大的一侧扩散层构成被动元件，并且与导电图形相对设置。这种被动元件与MOSFET的源极相连接，门极与纵向选择部相连接，漏极与横向选择部相连接。当通过时间信号生成部对传感元件实施选择时，可以由纵向选择部向门极传送出信号，使MOSFET处于导通状态。此时，如果由电极触头输出检查信号，则导电图形上的电位将产生变化，而且随该变化会有电流由源极流入至漏极，进而通过横向选择部输出至信号处理部处。通过对输出有检出信号的传感元件的位置实施分析，便可以确定导电图形相对于回路基板上的位置。

公开(公告)号：CN1549932A

公开(公告)日：2004-11-24

申请号：CN02816803.8

申请日：2002-08-27

Applicant: OHT株式会社

Inventor： 藤井达久 ,  门田和浩 ,  笠井干也 ,  石冈圣悟 ,  山冈秀嗣

IPC: G01R31/02

CPC classification number: G01R31/311 ,  G01R31/2805 ,  G01R31/309

Abstract: 供给一种可以简单结构来确实且容易地检测电路布线状况的电路布线检查装置。检查系统(20)向电路基板上的电路布线供给检查信号(S141)，用多个传感器部件检测对应供给的检查信号的电路布线上的特定部位的电位变化(S142)，在该部位的检测结果不在规定范围内的情况下(S143－N)，进行表示电路布线形状的图像数据的生成(S151以下)，在该部位的检测结果在规定范围内的情况下(S143－Y)，省略表示电路布线形状的图像数据的生成。

公开(公告)号：CN1514939A

公开(公告)日：2004-07-21

申请号：CN02811595.3

申请日：2002-06-06

Applicant: OHT株式会社

Inventor： 山冈秀嗣 ,  石冈圣悟

IPC: G01R31/02 ,  G01R31/00

CPC classification number: G01R31/304 ,  G01R31/312

Abstract: 一种可可靠并容易检测出电路基板的不良的电路检查装置。从与按列状配置的导电布图(20)电容耦合的馈电部30中将检查信号提供给导电布图(20)中的一个，并由与列状导电布图(20)的所有另一端部电容耦合的断开传感器(40)检测出该检查信号，在输出大大降低的情况下，设为布图断路，还通过离开与列状导电布图(20)的两列左右的布图部电容耦合的馈电部(30)的短路传感器(50)检测出检查信号，在检测信号大大上升后、又下降的情况下，设为布图短路，来检查布图是否良好。

公开(公告)号：CN1511262A

公开(公告)日：2004-07-07

申请号：CN02810542.7

申请日：2002-05-23

Applicant: OHT株式会社

Inventor： 山冈秀嗣 ,  石冈圣悟

IPC: G01R31/02

CPC classification number: G01R31/312 ,  G01R31/2812 ,  G01R31/304

Abstract: 提供可确实且容易地检测电路基板缺陷的电路检查装置。在对至少端部为列状排列、基部相互连接的通用布图(20)，和排列在通用布图(20)的列状布图之间，与其他布图非接触的条状布图群(30)进行检查时，向两布图交替提供交流信号，另一方接地电平，用另一方端部设置的传感器(131)、(132)、(133)检测交流信号。

公开(公告)号：CN1511246A

公开(公告)日：2004-07-07

申请号：CN02810544.3

申请日：2002-05-23

Applicant: OHT株式会社

Inventor： 山冈秀嗣 ,  石冈圣悟

IPC: G01B7/00 ,  G01R31/02

CPC classification number: G01B7/003

Abstract: 本发明提供用非接触的简单的结构，可准确地检测出基板位置偏差的基板位置偏差检测装置和基板位置偏差检测方法。通过向基板表面配设的导电图形供电的供电部(3)，向基板(20)表面的导电图形(25)提供交流信号，让基板(20)沿箭头A方向移动，从基板位置偏差传感器(1)、(2)的交流信号的检测信号的输出电平正好在中间电平时的时间差和基板输送速度，检测出基板的位置偏差程度。

公开(公告)号：CN1361868A

公开(公告)日：2002-07-31

申请号：CN00810491.3

申请日：2000-05-19

Applicant: OHT株式会社

Inventor： 山冈秀嗣

IPC: G01R31/02 ,  G01R31/28 ,  H01L21/66 ,  H05K3/00

CPC classification number: G01R31/312 ,  G01R31/2805 ,  G01R31/2812

Abstract: 借助降低检查对象的电路阻抗而提高SN比的电路基板导通检查装置及方法。在检查对象的基板状图形线两端子的一方,以非接触方式形成耦合电容,在该电容接续上接续电感(450)与导线。在另一方的端子,借助导线而以接触方式外加交流检查信号。如此形成电容、电感,图形线的共振电路,在阻抗下降的状态,检出输出入信号。

公开(公告)号：CN1358276A

公开(公告)日：2002-07-10

申请号：CN01800096.7

申请日：2001-02-21

Applicant: OHT株式会社

Inventor： 藤井达久 ,  石冈圣悟 ,  山冈秀嗣

IPC: G01R31/02

CPC classification number: G01R31/2812

Abstract: 本发明提供了一种可以对导电图形的形状实施精细检测的检测装置和相应的传感器。其中传感元件可以包含有MOSFET,取表面积比较大的一侧扩散层构成被动元件,并且与导电图形相对设置。这种被动元件与MOSFET的源极相连接,门极与纵向选择部相连接,漏极与横向选择部相连接。当通过时间信号生成部对传感元件实施选择时,可以由纵向选择部向门极传送出信号,使MOSFET处于导通状态。此时,如果由电极触头输出检查信号,则导电图形上的电位将产生变化,而且随该变化会有电流由源极流入至漏极,进而通过横向选择部输出至信号处理部处。通过对输出有检出信号的传感元件的位置实施分析,便可以确定导电图形相对于回路基板上的位置。

公开(公告)号：CN1358274A

公开(公告)日：2002-07-10

申请号：CN01800044.4

申请日：2001-02-09

Applicant: OHT株式会社

Inventor： 石冈圣悟 ,  山冈秀嗣

IPC: G01R31/02

CPC classification number: G01R31/312

Abstract: 本发明提供了一种按照完全非接触检测方式,对导电图形实施检测的检测装置、检测方法和检测组件。所述对回路基板上的导电图形实施非接触式检测用的检测方法,是将若干个具有导电性的单元,按照相互隔离方式沿着回路基板上的所述导电图形实施配置,并且可以通过向至少一个所述单元供给随时间变化的检测信号,不使用引线销针而对导电图形实施检测信号的供给,通过供给检测信号,借助导电图形,测出出现在其它所述单元处的输出信号,依据测出的所述输出信号,对所述导电图形实施检测。