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公开(公告)号:CN106183382A
公开(公告)日:2016-12-07
申请号:CN201610535950.3
申请日:2016-07-10
Applicant: 复旦大学
CPC classification number: B41F16/00 , B41M5/38207
Abstract: 本发明属于柔性电子制备技术领域,具体为一种基于可热降解柔性印章的薄膜转印装置与方法。本发明的薄膜转印装置,包括:伺服电机平台系统、衬底微调系统、印章装载系统、旋涂系统和加热板;利用上述装置,将加载在加热板上的聚α-甲基苯乙烯聚合物作为转移印章,通过全局加热致聚合物热降解,使柔性印章上的薄膜或器件功能层以一种简易、可控的方式剥落至目标衬底,从而将功能单元选择性地转印到目标衬底上。本发明适用于自动化控制的大规模无机柔性可延展电子器件的制备。
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公开(公告)号:CN105758800A
公开(公告)日:2016-07-13
申请号:CN201610128635.9
申请日:2016-03-07
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于微纳器件技术领域,具体为一种基于卷曲薄膜的光学氢气检测器及其制备方法。本发明制备方法包括:在干净基片上光刻图形;沉积具有内应力的金属薄膜和氢气体积膨胀效应的金属薄膜;选择性腐蚀薄膜与基片间的牺牲层得到卷曲薄膜。本发明的光学氢气检测器利用通入氢气后薄膜卷曲的曲率半径增加或由卷曲形态转变为平展状态引起肉眼可见的颜色变化,实现对氢气的检测功能。本发明在检测过程中没有电流传输,更加安全,能够不附加能源及设备对氢气进行实时监测并将结果直观反映出来;制备方法较为简单,可适用于工业生产中,具有实际应用意义。
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公开(公告)号:CN104538490A
公开(公告)日:2015-04-22
申请号:CN201410763321.7
申请日:2014-12-14
Applicant: 复旦大学
IPC: H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521 , H01L31/1804 , H01L31/1844
Abstract: 本发明属于微纳器件技术领域,具体为一种基于半导体薄膜的高灵敏度光电探测器件及其制备方法。制备方法包括:在衬底上制备有机物牺牲层、半导体薄膜功能层,并且通过沉积参数的控制,使薄膜弯曲成管道结构;在管道结构上制备金属电极。将该结构置于光学辐射环境中,由于管状结构光学微腔中存在着谐振模式,可以显著增强半导体薄膜的光学吸收,从而得到高灵敏度的光电探测器件。该探测器件无角度依赖,灵敏度高,制备方便,在光电转换,夜视成像,环境监测,太空探测等领域具有重要的应用前景。
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公开(公告)号:CN102683570A
公开(公告)日:2012-09-19
申请号:CN201210149444.2
申请日:2012-05-15
Applicant: 复旦大学
CPC classification number: H01L2224/45144 , H01L2224/48091 , H01L2224/49107 , H01L2224/73265 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
Abstract: 本发明属于LED光源技术领域,具体为一种在复合陶瓷基板上封装的白光发光二极管(LED)。本发明白光发光二极管包括散热基板、LED芯片、金丝连线、荧光粉和硅胶,其中所述散热基板采用复合陶瓷基板,该复合陶瓷基板由纳米基质陶瓷添加纳米晶高热导陶瓷材料经烧结制成,即由60-95%摩尔的纳米基质陶瓷和5-40%摩尔的纳米添加陶瓷组成,并在表面实施陶瓷金属化。本发明利用纳米晶高热导陶瓷材料添加入陶瓷基体材料中,形成纳米晶网络,实现高热导网络热传导路径,降低以此陶瓷材料封装的白光LED热阻;本发明制造白光LED封装结构简单、热阻小、高效、抗光衰能力佳、成本低;适用于制造低成本高效大功率白光LED。
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公开(公告)号:CN118668189A
公开(公告)日:2024-09-20
申请号:CN202410768349.3
申请日:2024-06-14
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种集成椭圆偏振光谱仪的实验型原子层沉积设备,属于原子层沉积反应设备技术领域。针对检测光束需要以最佳入射角在最佳入射位置入射以保证检测光束能够按照预定路径反射的需求,设置了升降系统和调平系统;进一步的,通过设置隔热棒,最大程度的保证了椭圆偏振光谱仪部件不受真空腔室的高温影响,而且针对可视窗在实验过程中镀上膜,会影响穿过可视窗的光束强度,从而影响检测结果,本申请设置了扫吹管路,以避免薄膜沉积过程对可视窗镀膜;基于该集成椭圆偏振光谱仪的实验型原子层沉积设备,实现了对于原子层薄膜沉积过程中的精准检测。
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公开(公告)号:CN117352579A
公开(公告)日:2024-01-05
申请号:CN202311272004.0
申请日:2023-09-28
Applicant: 复旦大学
IPC: H01L31/102 , H01L31/18 , H10N10/01 , H10N10/851 , H10N10/852
Abstract: 本发明涉及一种卷曲管状光热电探测器件及其制备方法与应用,由光热电材料、电极、封装层共同卷曲成管状光学微腔结构,制备方法包括以下步骤:(1)制备光热电材料、电极、封装层的垂直结构薄膜材料;(2)将上述薄膜材料共同卷曲形成卷曲管状光热电探测器件。与现有技术相比,本发明探测器件将光热电材料与光学微腔结合,通过器件管壁的全反射效应,大幅增强光热吸收效率。光热电材料的特性使得探测波段能够扩展至可见光到近红外波段,同时光热电效应可促进空穴‑电子的高效分离。该管状光热电探测器件的结构特征可以大幅提升器件的响应率和比探测度,同时扩展光电探测的全向性,在光电转换领域具有重要应用前景。
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公开(公告)号:CN115354277B
公开(公告)日:2023-12-08
申请号:CN202211039672.4
申请日:2022-08-29
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明涉及一种卷对卷式的薄膜脱附方法、卷曲薄膜及其应用,在铜箔上的石墨烯衬底上沉积具有预应力梯度的双层或多层纳米薄膜,然后使铜箔石墨烯通过滚轴弯曲,使得薄膜脱附并卷曲,形成相应材料的纳米卷曲薄膜。可以通过超声使纳米管快速从衬底剥离并落入收集装置中,并通过收卷装置回收铜箔石墨烯。该制备方法工艺简单,操作便捷,无液体污染,薄膜卷曲方向可控,适用于批量地脱附多种材料的薄膜并加工为卷曲薄膜,并且能够快速回收铜箔石墨烯衬底。
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公开(公告)号:CN116531565A
公开(公告)日:2023-08-04
申请号:CN202310578736.6
申请日:2023-05-22
Applicant: 复旦大学 , 中国科学院上海硅酸盐研究所
Abstract: 本发明提供了一种钛基材料表面改性层、改性钛基材料及其制备方法,涉及金属医用材料表面改性技术领域,该钛基材料表面改性层包括氧化钛纳米管和负载在氧化钛纳米管表面的Fe‑N‑C纳米酶;本发明提供的钛基材料表面改性层,可有效促进成骨细胞的黏附和增殖,促进抗炎M2型巨噬细胞的活化,同时具有优异的促成骨性能和抗炎性能。
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公开(公告)号:CN115172521A
公开(公告)日:2022-10-11
申请号:CN202210816781.6
申请日:2022-07-12
Applicant: 复旦大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/0232
Abstract: 本发明涉及一种卷曲管状光电探测器的制备方法,包括以下步骤:(1)在衬底上制备牺牲层、机械支撑层,并图形化处理;(2)制备用于信号检测的金属电极;(3)制备半导体薄膜作为光电转换功能层;(4)去除牺牲层,释放薄膜,将薄膜弯曲成管状结构。与现有技术相比,本发明探测器管状结构光学微腔中自身的谐振模式和陷光效应,结合表面微结构增强的光场局域效应,大幅提升器件的光子调控能力,增加光吸收,提升器件对光场响应,从而得到高灵敏度的光学器件,该探测器件能实现全角度探测,灵敏度高,制备简易,在可见光通讯、光电转换、环境探测等领域具有重要的应用前景。
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公开(公告)号:CN113539392B
公开(公告)日:2022-09-06
申请号:CN202110871201.9
申请日:2021-07-30
Applicant: 复旦大学
IPC: G16C60/00 , G06F30/20 , G06F113/08 , G06F119/18
Abstract: 本发明提供了一种基于FDTD的结构色微球壳制备方法,包括以下步骤:步骤1,设计结构色微球壳的结构包括内相、包覆内相的壳层以及位于壳层外的外相,设定各组分的折射率,基于FDTD算法根据结构色微球壳的结构构建微球壳模型,通过改变微球壳模型的结构参数,模拟得到结构色微球壳的反射光谱,建立结构参数与结构色的联系,并根据结构色微球壳需产生的结构色确定对应的结构参数;步骤2,在毛细管微流控芯片中通入多相流体,并根据结构参数调节外相溶液的流速、壳层材料溶液的流速以及内相气体的气压,制备得到液层微球壳;步骤3,根据壳层材料溶液的不同,采用对应的固化方式固化液层微球壳,得到脱离液体环境稳定存在的结构色微球壳。
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