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公开(公告)号:CN106183382B
公开(公告)日:2018-12-11
申请号:CN201610535950.3
申请日:2016-07-10
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于柔性电子制备技术领域,具体为一种基于可热降解柔性印章的薄膜转印装置与方法。本发明的薄膜转印装置,包括:伺服电机平台系统、衬底微调系统、印章装载系统、旋涂系统和加热板;利用上述装置,将加载在加热板上的聚α‑甲基苯乙烯聚合物作为转移印章,通过全局加热致聚合物热降解,使柔性印章上的薄膜或器件功能层以一种简易、可控的方式剥落至目标衬底,从而将功能单元选择性地转印到目标衬底上。本发明适用于自动化控制的大规模无机柔性可延展电子器件的制备。
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公开(公告)号:CN106183382A
公开(公告)日:2016-12-07
申请号:CN201610535950.3
申请日:2016-07-10
Applicant: 复旦大学
CPC classification number: B41F16/00 , B41M5/38207
Abstract: 本发明属于柔性电子制备技术领域,具体为一种基于可热降解柔性印章的薄膜转印装置与方法。本发明的薄膜转印装置,包括:伺服电机平台系统、衬底微调系统、印章装载系统、旋涂系统和加热板;利用上述装置,将加载在加热板上的聚α-甲基苯乙烯聚合物作为转移印章,通过全局加热致聚合物热降解,使柔性印章上的薄膜或器件功能层以一种简易、可控的方式剥落至目标衬底,从而将功能单元选择性地转印到目标衬底上。本发明适用于自动化控制的大规模无机柔性可延展电子器件的制备。
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