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公开(公告)号：CN118189831A
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202410182609.9
申请日：2024-02-19
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明涉及一种厚度测量装置及方法。所述装置包括：光源，用来发射太赫兹光束；测量模块，用来将所述太赫兹光束转化为参考光束和探测光束，进而引导所述探测光束穿过可转动的被测样品后与所述参考光束合束形成干涉光束；计算模块，用来对所述被测样品转动过程中所述干涉光束的强度分布变化进行分析，获得所述探测光束相对所述参考光束的相位变化值，并记录所述相位变化值对应的所述被测样品的旋转角度，进而根据所述相位变化值和所述旋转角度利用相位角度公式计算得到所述被测样品的厚度。本发明能够精确测量太赫兹光可穿透样品的厚度。
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公开(公告)号：CN107807454B
公开(公告)日：2024-04-23
申请号：CN201711262291.1
申请日：2017-12-04
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种太赫兹准高斯平行激光束的实现装置，包括太赫兹量子级联激光器与驱动电源连接并发出太赫兹发散激光；可移动地安装在低温样品架上的调节系统；安装于调节系统上的离轴抛物面反射镜，其收集太赫兹发散激光并输出太赫兹准平行激光束；设置于低温杜瓦外部的可移动的可变孔径光阑，其对太赫兹准平行激光束进行光束优选以形成太赫兹准高斯平行激光束；以及设置于低温杜瓦外部的可移动的太赫兹阵列探测器，其对太赫兹准平行激光束的二维能量分布进行表征并校准太赫兹准平行激光束的准直性。本发明还涉及一种太赫兹准高斯平行激光束的实现方法。本发明的实现装置和实现方法能够获得稳定可靠、光束质量优异的太赫兹准高斯平行激光束。
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公开(公告)号：CN114660017A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202210251220.6
申请日：2022-03-15
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N21/3581 , G01N21/01 , G01N25/02 , G02B27/09 , G02B27/30
Abstract: 本发明涉及一种材料相变过程的成像装置和方法，其中，成像装置包括：量子级联激光器，用于在低温环境下发出成像光；耦合输出结构，用于收集所述成像光并进行准直；扩束装置，用于将准直后的所述成像光扩束成共焦的多束激光；透镜，用于将所述共焦的多束激光转变为平行光并照射到样品板上的测试样品；镜头，用于接收穿过所述测试样品的平行光，并成像于热探测阵列的敏感面上；计算机，用于获取所述热探测阵列上产生的电信号。本发明能够有效避免被测样品因加热带来的热辐射干扰。
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公开(公告)号：CN108917929A
公开(公告)日：2018-11-30
申请号：CN201810509364.0
申请日：2018-05-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种太赫兹共焦显微成像系统，包括光源模块；数据采集模块；数据处理与图像还原模块；载物台模块，用于承载一待成像物体并其进行旋转和平移，以及将待成像物体的旋转平移二维信息发送至数据处理与图像还原模块；光路传输模块，用于将太赫兹光束沿一光路传输至数据采集模块，该光路上具有两个焦点且该光路穿过所述待成像物体；空间滤波模块，包括分别设于所述两个焦点处的针孔。本发明还提供其成像方法。本发明的成像系统避免了分束片的使用，减少了能量损耗，提高了成像信噪比，可以实现对隐匿物体的快速成像；此外，采用亚毫米针孔对太赫兹光束进行空间滤波，提高了成像的横向及纵向分辨率，最终可以得到物体的切片图像。
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公开(公告)号：CN107482109A
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201710529441.4
申请日：2017-07-02
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于石墨烯热电效应的室温太赫兹探测器及其制备方法，所述探测器包括硅衬底、位于硅衬底上的SiO2薄膜、位于SiO2薄膜上的石墨烯有效区以及天线；所述石墨烯有效区两端欧姆接触电极使用不同功函数不同热导率的金属材料。制备方法包括：1)氧等离子体刻蚀出器件的石墨烯有效区；2)湿法刻蚀SiO2薄膜，制作出背栅电极；3)显影石墨烯有效区沟道；4)电子束蒸发蒸镀漏源电极Au和Ti；5)退火。本发明的室温太赫兹探测器响应率和灵敏度高，制备工艺简单，成本低，具有良好的应用前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103776547B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201410066672.2
申请日：2014-02-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01J5/20
CPC classification number: G01J1/4257 , G01J1/08 , G01J1/4228 , G01J3/42 , G01J2001/083
Abstract: 本发明提供一种太赫兹量子阱探测器绝对响应率的标定方法及装置，所述装置至少包括：驱动电源、单频激光源、光学镜、太赫兹阵列探测器、太赫兹功率计、电流放大器及示波器。所述标定方法采用功率可测定的单频激光源作为标定光源，得到探测器在该激光频率处的绝对响应率参数，利用探测器的归一化光电流谱可进一步计算得到探测器在其任意可探测频率处的绝对响应率参数。本发明直接采用周期输出的单频激光源作为标定光源，采用太赫兹阵列探测器和功率计直接测量来获得被标定探测器的入射功率，极大地减小了传统标定方法中背景光、水汽吸收的影响，避免了各种谱积分的复杂计算，整个标定过程简单，引入误差小，具有广泛适用性。
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公开(公告)号：CN103487943A
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN201310471301.8
申请日：2013-10-10
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G02B27/09
Abstract: 本发明涉及一种激光点光源簇的产生装置，包括用于产生激光束（21）的激光源（11）、位于激光器一侧并设有通孔的光阑（12）以及位于光阑一侧、均匀分布微孔的滤纸（13）；所述激光源（11）产生的激光束（21）经过光阑（12）的通孔后被限制为与通孔直径相等的入射激光束（22），该激光束（22）垂直入射滤纸（13）表面发生衍射，产生与入射激光束（22）束径等大的激光点光源簇，形成点发散激光（23）。本发明装置结构简单，激光源的选则广泛，易于实现，适合作为光路校准过程中的点发散光源。
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公开(公告)号：CN102636269A
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN201210153568.8
申请日：2012-05-15
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01J5/20
Abstract: 本发明公开了一种脉冲太赫兹辐射源输出波束场形的测量装置及方法，该装置包括：脉冲太赫兹辐射源，用以辐射出脉冲太赫兹辐射；安装于一低温恒温器中的太赫兹量子阱探测器，用以探测脉冲太赫兹辐射，并产生相应的脉冲电流信号；二维平移台，用以实现太赫兹量子阱探测器及低温恒温器的二维移动；低温恒温器安装于二维平移台上；信号处理电路，与太赫兹量子阱探测器连接，用以将脉冲电流信号提取为脉冲电压信号，并进行放大，输出电信号；示波器，与信号处理电路相连，用以显示放大后的电信号。本发明可直接得到脉冲太赫兹辐射波束在空间某点的功率，进而得到其二维强度分布，且测量精度高，解决了针对小偏压探测器进行信号处理的问题。
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公开(公告)号：CN102394848A
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：CN201110045067.3
申请日：2011-02-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种产生音频调制THz波的方法和装置，适用于未来的THz通信应用。该方法采用太赫兹量子级联激光器作为辐射源，对其进行强度调制，将音频信号加载到THz波上。该装置包括：作为辐射源的太赫兹量子级联激光器及其调制电路；所述调制电路包括：音频信号放大电路、音频信号与直流偏压信号的叠加电路、叠加信号的功率放大电路。采用该方法及装置可以产生2-7THz频段的调制THz波，目前该频段尚未分配使用；所采用的太赫兹量子级联激光器能量转换效率高、体积小、易集成，可大规模生产。
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公开(公告)号：CN102346071A
公开(公告)日：2012-02-08
申请号：CN201010244022.4
申请日：2010-08-03
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01J3/45
Abstract: 本发明公开了一种太赫兹波段纳秒时间分辨傅立叶变换光谱仪，包括：迈克尔逊干涉仪；位于迈克尔逊干涉仪输入端的样品室；位于迈克尔逊干涉仪输出端的THz量子阱光子探测器；THz源和调制信号模块、锁相放大器以及控制计算机。锁相放大器与THz量子阱光子探测器相连；控制计算机与锁相放大器相连，并且还与迈克尔逊干涉仪的动镜相连，控制动镜位置实现动镜的定步长移动；THz源和调制信号模块将带有扰动信号的THz激光发射到样品室，并将扰动信号发送至锁相放大器，经锁相放大器放大后发送给控制计算机。本发明用THz量子阱光子探测器代替DTGS-PE和Si热释电探测器，大大提高了傅立叶变换光谱仪在THz波段的时间分辨率。
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