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公开(公告)号：CN106877174A
公开(公告)日：2017-06-20
申请号：CN201710277857.1
申请日：2017-04-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
CPC classification number: H01S5/3402 , H01S5/34333
Abstract: 本发明提供一种三阶分布反馈太赫兹量子级联激光器结构及其制作方法，所述结构包括衬底、脊波导区以及三阶光栅结构；所述脊波导区自下而上依次包括下电极、夹层区及上电极；所述夹层区自下而上依次包括下接触层、有源区及上接触层；所述三阶光栅结构包括若干呈周期性排列的平行缝隙，所述缝隙上下贯穿上电极及夹层区；所述三阶光栅结构的纵向占空比范围是8%‑15%；太赫兹波在有源区内产生，并通过三阶光栅结构的选模作用，从缝隙处出射，在空间中耦合到脊波导区的纵向两端。本发明在太赫兹量子级联激光器的波导结构中引入了三阶光栅，并通过调整不同的光栅占空比以获得比较小的远场发散角，克服了三阶光栅因为相位不匹配而存在的远场发散角偏大的问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105576501A
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201610120665.5
申请日：2016-03-03
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01S5/065
CPC classification number: H01S5/0651 , H01S5/065
Abstract: 本发明提供一种太赫兹量子级联激光器模式调制的装置及方法，所述装置至少包括：微波发生器、耦合器、T型偏置器、太赫兹量子级联激光器、频谱仪以及红外光谱仪；所述微波发生器依次通过所述耦合器、T型偏置器与所述太赫兹量子级联激光器的输入端相连；所述红外光谱仪与所述太赫兹量子级联激光器的输出端相连；所述频谱仪与所述耦合器相连。本发明能够对单模工作、驱动电流在阈值电流附近的太赫兹量子级联激光器进行微波注入，通过改变微波发生器注入的频率能够分别实现在原来单模工作频率左侧增加一个模式、两侧同时增加多个模式、右侧增加一个模式，注入的同时不影响激光器工作温度。
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公开(公告)号：CN103776547A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201410066672.2
申请日：2014-02-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01J5/20
CPC classification number: G01J1/4257 , G01J1/08 , G01J1/4228 , G01J3/42 , G01J2001/083
Abstract: 本发明提供一种太赫兹量子阱探测器绝对响应率的标定方法及装置，所述装置至少包括：驱动电源、单频激光源、光学镜、太赫兹阵列探测器、太赫兹功率计、电流放大器及示波器。所述标定方法采用功率可测定的单频激光源作为标定光源，得到探测器在该激光频率处的绝对响应率参数，利用探测器的归一化光电流谱可进一步计算得到探测器在其任意可探测频率处的绝对响应率参数。本发明直接采用周期输出的单频激光源作为标定光源，采用太赫兹阵列探测器和功率计直接测量来获得被标定探测器的入射功率，极大地减小了传统标定方法中背景光、水汽吸收的影响，避免了各种谱积分的复杂计算，整个标定过程简单，引入误差小，具有广泛适用性。
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公开(公告)号：CN106877174B
公开(公告)日：2019-05-10
申请号：CN201710277857.1
申请日：2017-04-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种三阶分布反馈太赫兹量子级联激光器结构及其制作方法，所述结构包括衬底、脊波导区以及三阶光栅结构；所述脊波导区自下而上依次包括下电极、夹层区及上电极；所述夹层区自下而上依次包括下接触层、有源区及上接触层；所述三阶光栅结构包括若干呈周期性排列的平行缝隙，所述缝隙上下贯穿上电极及夹层区；所述三阶光栅结构的纵向占空比范围是8%‑15%；太赫兹波在有源区内产生，并通过三阶光栅结构的选模作用，从缝隙处出射，在空间中耦合到脊波导区的纵向两端。本发明在太赫兹量子级联激光器的波导结构中引入了三阶光栅，并通过调整不同的光栅占空比以获得比较小的远场发散角，克服了三阶光栅因为相位不匹配而存在的远场发散角偏大的问题。
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公开(公告)号：CN103776547B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201410066672.2
申请日：2014-02-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01J5/20
CPC classification number: G01J1/4257 , G01J1/08 , G01J1/4228 , G01J3/42 , G01J2001/083
Abstract: 本发明提供一种太赫兹量子阱探测器绝对响应率的标定方法及装置，所述装置至少包括：驱动电源、单频激光源、光学镜、太赫兹阵列探测器、太赫兹功率计、电流放大器及示波器。所述标定方法采用功率可测定的单频激光源作为标定光源，得到探测器在该激光频率处的绝对响应率参数，利用探测器的归一化光电流谱可进一步计算得到探测器在其任意可探测频率处的绝对响应率参数。本发明直接采用周期输出的单频激光源作为标定光源，采用太赫兹阵列探测器和功率计直接测量来获得被标定探测器的入射功率，极大地减小了传统标定方法中背景光、水汽吸收的影响，避免了各种谱积分的复杂计算，整个标定过程简单，引入误差小，具有广泛适用性。
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公开(公告)号：CN205406954U
公开(公告)日：2016-07-27
申请号：CN201620162575.8
申请日：2016-03-03
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01S5/065
Abstract: 本实用新型提供一种太赫兹量子级联激光器模式调制的装置，所述装置至少包括：微波发生器、耦合器、T型偏置器、太赫兹量子级联激光器、频谱仪以及红外光谱仪；所述微波发生器依次通过所述耦合器、T型偏置器与所述太赫兹量子级联激光器的输入端相连；所述红外光谱仪与所述太赫兹量子级联激光器的输出端相连；所述频谱仪与所述耦合器相连。本实用新型能够对单模工作、驱动电流在阈值电流附近的太赫兹量子级联激光器进行微波注入，通过改变微波发生器注入的频率能够分别实现在原来单模工作频率左侧增加一个模式、两侧同时增加多个模式、右侧增加一个模式，注入的同时不影响激光器工作温度。
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