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公开(公告)号:CN101858929A
公开(公告)日:2010-10-13
申请号:CN201010181131.6
申请日:2010-05-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P15/125 , B81B5/00 , B81C3/00
Abstract: 本发明涉及对称组合弹性梁结构电容式微加速度传感器及其制作方法。加速度传感器由一个对称的中心质量块、外部支撑框架、中心质量块与外部支撑框架相连接的八根对称直梁、两个对称框架梁、八根对称L梁连接在一起形成的组合弹性梁结构以及上、下盖板组成。与框架梁相连接的每根直弹性梁的另一端连接在中心质量块侧面顶端和底端的中间或顶角,与框架梁相连接的每根L梁的另一端连接在外部支撑框架内侧面。本加速度传感器采用对称直梁、框架梁、L梁连接在一起形成的组合弹性梁结构,具有高度对称性,可以显著减小传感器的交叉灵敏度,传感器采用微电子机械系统技术制作,是一种高灵敏度的电容式微加速度传感器。
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公开(公告)号:CN119414499A
公开(公告)日:2025-02-11
申请号:CN202411820066.5
申请日:2024-12-11
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种宽带定向光发射结构及设计方法,其中,宽带定向光发射结构包括若干独立的超透镜环,其中,每个超透镜环均由多个基元构成;每个超透镜环的焦点不同,且所述超透镜环的半径越大,焦点的焦距越短。本发明能够对热辐射进行有效的定向散热。
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公开(公告)号:CN118363285A
公开(公告)日:2024-07-19
申请号:CN202310068543.6
申请日:2023-01-18
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种波长复用的全息图超表面,其由多个亚波长尺度的功能基元在平面上有序排布形成,每个功能基元由衬底材料与所述衬底材料的第一表面上的纳米柱组成;每个功能基元的结构是中心对称的且其纳米柱为根据编码矩阵得到的多边形柱,且所述功能基元包括多种构型,不同构型的功能基元具有相同的衬底尺寸、相同的纳米柱的高度和不同的纳米柱截面的几何形状,以形成随机对称多边形编码型功能基元;波长复用的全息图超表面中所分布的各功能基元的构型根据全息图超表面的相位分布确定。本发明还提供相应的制作方法。本发明的超表面及其制作方法能兼顾功能基元构型的多样性与随机性,提高透过率。
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公开(公告)号:CN117539058A
公开(公告)日:2024-02-09
申请号:CN202311682449.6
申请日:2023-12-08
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种大口径多波长偏振复用超透镜设计方法,包括以下步骤:采用偏振敏感型超构表面结构作为超构表面单元;通过仿真软件进行参数扫描,得到所述超构表面单元的相位调控、透过率调控能力与所述超构表面单元参数的关系,并形成参数空间;计算超透镜上给定位置(x,y)处的相位,并从所述参数空间中寻找合适的结构进行填充,得到工作在单个波长的超构表面阵列;将两个工作在单个波长的超构表面阵列稀疏化,并集成到一片超构表面上,得到在两个工作波长下均实现预期功能的多波长偏振复用超构表面透镜。本发明能够在不增加系统复杂度的情况下扩大超透镜的口径。
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公开(公告)号:CN109283616B
公开(公告)日:2023-09-12
申请号:CN201811501015.0
申请日:2018-12-10
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种温度不敏感马赫曾德尔干涉仪,包括:第一模式转换器;第二模式转换器,位于第一模式转换器的一侧,且与第一模式转换器具有间距;连接臂,位于第一模式转换器与第二模式转换器之间,一端与第一模式转换器相连接,另一端与第二模式转换器相连接;连接臂包括直波导连接臂。本发明的温度不敏感马赫曾德尔干涉仪通过设置所述连接臂的宽度及厚度等参数可以实现对温度不敏感。
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公开(公告)号:CN115864894A
公开(公告)日:2023-03-28
申请号:CN202111116370.8
申请日:2021-09-23
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H02N2/18
Abstract: 本发明提供一种压电薄膜换能电路。包括:压电薄膜换能器,转换电路拓扑,振动能量转换组件。其中,压电薄膜换能器将振动能转换为交流电能,通过换能电路拓扑及振动能量转换组件将交流电能转换为直流电能。本发明的压电薄膜换能电路用于给负载供电,同时切换储能元件的充放电状态,提升了振动能量的转换能力,降低了化学电池使用,减少耗能,提升了电子产品的使用寿命和可靠性。
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公开(公告)号:CN113740939B
公开(公告)日:2023-02-17
申请号:CN202111128857.8
申请日:2021-09-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种无序功能基元构型的光学器件,包括沿电磁波传播方向依次设置的衬底和无序功能基元的非周期微纳结构阵列,所述衬底的表面为平面或曲面,无序功能基元的非周期微纳结构阵列是多个具有无序的内部结构的功能基元在平面或曲面上非周期分布而形成的微纳结构阵列;光学器件中所分布的各功能基元的内部结构根据光学器件的相位分布确定。本发明的光学器件以无序结构作为功能基元,一方面消除基于同质材料的规则构型的功能基元之间的强耦合现象,另一方面利用无序结构的随机性和多样性,增加光学器件的设计自由度,拓展功能基元参数空间,从而显著提高光场调控能力和光学器件性能。
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公开(公告)号:CN114861520A
公开(公告)日:2022-08-05
申请号:CN202210303479.0
申请日:2022-03-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种宽频光学器件的逆设计方法,包括:利用电磁仿真软件批量计算数万组结构基元的向量相位分布的样本库;搭建改进版的生成对抗网络,所述生成对抗网络的由生成器和判别器组成;利用样本库来训练生成对抗网络;由智能算法确定目标光学器件的各个位置的目标向量相位分布;利用生成器生成各个位置的目标向量相位分布所对应的结构基元,然后将各个位置的结构基元组合,得到目标光学器件的超表面结构。本发明的设计方法结合生成对抗网络和智能算法,不仅改善了光学器件逆向设计的耗时低效,同时也保证了生成样本的多样性,为高性能、多功能的超表面光学器件的设计提供了新方案,可更大概率的避免陷入局部最优。
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公开(公告)号:CN111600195B
公开(公告)日:2022-03-25
申请号:CN202010383180.1
申请日:2020-05-08
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及半导体和光电集成技术领域,特别是涉及一种硅基单片集成激光器及其制备方法,包括:衬底层、埋氧化层、硅波导器件、上覆层和三维波导器件;所述埋氧化层上设有图形化的限向结构;所述限向结构内设有激光器结构;所述硅波导器件设置在所述埋氧化层上;所述埋氧化层、所述激光器结构和所述硅波导器件远离所述衬底层的表面形成第一表面,所述上覆层设置在所述第一表面上;所述三维波导器件设置在所述上覆层上。通过在激光器结构有源区上方引入三维波导结构,实现激光器结构有源区和硅波导之间高质量的光学连接。
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公开(公告)号:CN113325496A
公开(公告)日:2021-08-31
申请号:CN202110520885.8
申请日:2021-05-13
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种亚波长天线,其特征在于,包括谐振器和金属衬底,所述谐振器设置于所述金属衬底上,所述谐振器为设有开口的C形环。本发明还涉及一种波长可控的超透镜,包括若干所述的亚波长天线,若干所述亚波长天线基于振幅相位分布物理模型进行空间排列,若干所述亚波长天线的C形环具有不同的开口角度和半径。本发明还涉及一种超透镜设计方法。本发明通过空间排列不同结构参数的全金属亚波长天线,实现了波长操控的动态可切换和变焦超透镜。
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