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公开(公告)号：CN109726425B
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN201811306025.9
申请日：2018-11-05
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
Abstract: 本申请涉及一种MEMS微梁结构优化方法、装置、计算机设备和存储介质。所述方法包括：获取MEMS微梁的静态特性参数、动态特性参数以及结构参数；根据静态特性参数、动态特性参数和结构参数，获取MEMS微梁的结构修正参数；采用MEMS微梁的理论模型处理结构参数和结构修正参数，得到MEMS微梁的修正模型；根据修正模型，优化MEMS微梁的结构，从而，本申请MEMS微梁结构优化方法能够快速、准确地获取MEMS微梁的修正模型，再基于修正模型优化MEMS微梁的结构设计，进而，提高MEMS微梁的可靠性。
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公开(公告)号：CN115326495A
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202210162860.X
申请日：2022-02-22
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
Abstract: 本发明涉及一种器件内部气氛取样夹具及含量测试装置。该器件内部气氛取样夹具，包括：底座和样品台，底座上设有第一凹槽，第一凹槽的底壁设有供穿刺针穿过的第一穿刺孔；样品台放置在第一凹槽中，样品台上远离第一穿刺孔的端面设有第二凹槽，第二凹槽的开口处设有密封盖，密封盖与样品台端面密封抵接，第二凹槽与密封盖围成一个密封容纳腔，密封容纳腔用于放置待测器件，第二凹槽的底壁上与第一穿刺孔对应的位置设有供穿刺针穿过的第二穿刺孔，第二穿刺孔与第一穿刺孔连通，穿刺针能够依次穿过第一穿刺孔和第二穿刺孔插入待测器件中。上述的器件内部气氛取样夹具，不需要拆除样品台和底座更换待测器件，大大提高了批量测试器件内部气氛的效率。
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公开(公告)号：CN112504546B
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN202011252444.6
申请日：2020-11-11
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
Abstract: 本发明公开了晶圆级气密封装的微小腔体内部气压测试方法和系统，测试方法包括如下步骤：通过应力测量装置获取多个微小腔体内外气压差已知的晶圆级气密封装结构标定样品的盖帽表面应力，并获取应力值与气压差的关联模型；通过应力测量装置获取晶圆级气密封装结构待测样品盖帽表面的应力值；通过测得的待测样品表面应力值及应力值与气压差的关联模型获取待测样品微小腔体的内部气压。本发明对晶圆级气密封装结构的盖帽无透光性要求，可实现通过盖帽表面应力的测试表征，从而获取微小腔体内部气压变化的信息。本发明涉及半导体制造工艺技术领域。
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公开(公告)号：CN113899509A
公开(公告)日：2022-01-07
申请号：CN202111092412.9
申请日：2021-09-17
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
Abstract: 本公开涉及一种检测封装器件抗水汽影响的方法及系统，方法包括：抽取密封腔体内气体，制造真空条件；其中，所述密封腔体内设置有待测封装器件；向所述密封腔体内通入水汽与惰性气体的混合气体，实时监测所述密封腔体内气压数据，使得所述密封腔体内气压稳定在目标气压；实时监测所述密封腔体内水汽浓度，并根据所述水汽浓度调节所述混合气体的流速以及水汽含量，直至所述密封腔体内的气氛环境达到目标气氛的特征参数，停止通入所述混合气体；实时监测所述待测封装器件的电气性能数据，获得所述待测封装器件的抗水汽影响的评估结果。本公开有助于对单一水汽影响失效机理的加速评价，提高了检测封装器件抗水汽影响能力的准确性和可靠性。
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公开(公告)号：CN113029348A
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN202110195899.7
申请日：2021-02-22
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
Abstract: 本发明涉及微纳器件测试技术领域，公开了一种表面温度场信息获取方法。将待测样品安装于实际应用环境中，测试获取待测样品在实际应用环境中的第一频率漂移特性曲线；将待测样品固定于红外成像设备上，测试获取待测样品在红外成像设备上的第二频率漂移特性曲线；根据第一频率漂移特性曲线获取待测样品在第一功率下所对应的第一频率漂移；根据第二频率漂移特性曲线获取待测样品的第一频率漂移所对应的第二功率；对固定于红外成像设备上的待测样品施加第二功率，利用红外成像设备获取待测样品的表面温度场信息。通过建立从实际工作环境到显微红外测试环境的映射，消除了由于显微红外测试环境相对于实际工作环境的热导率存在差异而产生的测试误差。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111983142A
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN202010735678.X
申请日：2020-07-28
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
IPC: G01N33/00
Abstract: 本申请涉及一种气氛检测装置的测试装置以及方法。气氛检测装置的测试装置包括：腔体模块包括第一腔体；压强检测模块包括第一检测单元，第一检测单元用于测试第一腔体内的压强；真空模块包括第一真空单元，第一真空单元用于对第一腔体内进行抽真空至第一等效测试气压，以得到第一等效测试气体；管道模块包括第一管道单元，第一管道单元包括连接第一腔体的第一管道组件、第二管道组件、第三管道组件以及第四管道组件，第一管道组件用于向第一腔体内输入第一测试气体，第二管道组件连接第一检测单元，第三管道组件连接第一真空单元，第四管道组件用于向气氛检测装置输出第一腔体内的等效气体。本申请可以有效减少对气氛检测装置的测试时间及成本。
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公开(公告)号：CN109000680B
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN201810549366.2
申请日：2018-05-31
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
IPC: G01C25/00
Abstract: 本发明涉及一种陀螺仪加速度敏感误差系数获取方法，包括如下步骤：获取陀螺仪在设定角速度先后正向或反向旋转的速率转台上第一位置处的第一输出量和第二输出量；获取陀螺仪在设定角速度先后正向或反向旋转的速率转台上第二位置处的第三输出量和第四输出量；根据陀螺仪的标度因数、设定角速度、第一位置对应的第一加速度、第二位置对应的第二加速度、第一输出量、第二输出量、第三输出量和第四输出量，通过设定算法获得所述陀螺仪零偏的加速度敏感误差系数和标度因数的加速度敏感误差系数。通过速率转台，以及获取不同加速度输入下，陀螺仪的各相应输出量，利用设定算法可以精确地测量得到陀螺仪零偏和标度因数的g敏感误差系数。
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公开(公告)号：CN109489605B
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN201811250579.1
申请日：2018-10-25
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
Abstract: 本申请涉及一种平行可动电极厚度测量方法、装置及系统。所述方法包括：获取静电换能器在各偏置电压下分别对应的极间距离；极间距离为静电换能器的可动电极的第一端面至固定电极的第一端面的距离；可动电极的第一端面远离固定电极设置；固定电极的第一端面靠近可动电极设置；根据各偏置电压和各极间距离，得到可动电极的厚度，因此，通过平行可动电极厚度测量方法建立偏置电压、电极间距与可动电极的厚度之间的关系，避免了传统技术直接采用仪器测量带来的误差，提高了测量平行结构静电换能器的可动电极的厚度的精度，进而为分析静电换能器的性能提高良好的支持。
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公开(公告)号：CN111289386A
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN202010156728.9
申请日：2020-03-09
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
Abstract: 本申请涉及一种圆片键合剪切强度测试装置及测试方法。其中，圆片键合剪切强度测试装置，包括载体；载体上设有阻挡台；载体用于放置待测芯片；阻挡台用于阻挡待测芯片的圆片键合底层结构的移动；圆片键合底层结构包括依次叠于当前待测键合结构层下表面的各键合结构层；其中，载体的上表面贴合圆片键合底层结构的下表面，阻挡台的壁面贴合圆片键合底层结构远离接触工具的侧面，以使测试设备通过接触工具、对当前待测键合结构层进行剪切强度测试，得到键合剪切强度。本申请适用于MEMS器件大面积圆片键合以及多层键合的剪切强度测试，能够满足MEMS圆片键合剪切强度测试需求。
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公开(公告)号：CN109596860A
公开(公告)日：2019-04-09
申请号：CN201811306136.X
申请日：2018-11-05
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
IPC: G01P21/02
CPC classification number: G01P21/02
Abstract: 本申请涉及一种加速度计故障诊断方法、装置、电路和计算机设备。所述方法包括：获取第一电压信号、第二电压信号和电流信号；第一电压信号为加速度计检测电路中的C/V转换电路输出的电压信号；第二电压信号为加速度计输出的电压信号；电流信号为加速度计检测电路上的电流信号；根据第一电压信号、第二电压信号、电流信号、第一饱和电压、第二饱和电压和标准电流，获取加速度计的故障类型；第一饱和电压为C/V转换电路输出的最大电压；第二饱和电压为加速度计输出的最大电压；标准电流为加速度计正常时、加速度计检测电路上的电流，从而本申请能够依据获取的信号来判断加速度计出现的故障类型，使得更加全面地监控加速度计的工作状态。
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