一种改善磁控溅射薄膜均匀性的方法

    公开(公告)号:CN102453880A

    公开(公告)日:2012-05-16

    申请号:CN201010527960.5

    申请日:2010-11-01

    Inventor: 毛启明 尹桂林

    Abstract: 本发明提供了一种改善磁控溅射薄膜均匀性的方法,具体的说是通过在基片下方、等离子体区域的上方,外加一个水平匀强磁场区域,并且磁场的位置和大小可以调节。附加水平磁场后,延长了溅射靶材原子(分子)的运动轨迹,增加了与其他粒子的相互碰撞机会,大大提高了薄膜的均匀性。本发明工艺简单,成膜的均匀度高,且参数可控,重复性好、适宜于大规模生产。

    碳纳米管与金属电极的连接处理方法

    公开(公告)号:CN101428754A

    公开(公告)日:2009-05-13

    申请号:CN200810204376.9

    申请日:2008-12-11

    Abstract: 一种纳米技术领域的碳纳米管与金属电极的连接处理方法,首先进行碳纳米管溶液制备,然后将碳纳米管溶液加载于金属电极,再采用介电泳方法排布碳纳米管,最后通过直流退火完成处理。本发明利用直流电流产生的焦耳热对碳纳米管与金属电极接触点进行退火处理,达到降低碳纳米管与金属电极接触电阻的方法。该方法利用恒流电源,易操作,可大批量同时处理,退火时间精确可控,能量消耗极低。

    氧缺陷二氧化锡气敏材料的制备方法及其产品和应用

    公开(公告)号:CN109835945A

    公开(公告)日:2019-06-04

    申请号:CN201711230553.6

    申请日:2017-11-29

    Abstract: 本发明提供一种氧缺陷二氧化锡气敏材料的制备方法及其产品和应用,利用Zn粉作为还原剂和稳定剂,在溶剂热的反应过程中,获得了高氧缺陷的SnO2纳米材料,将一定量无水四氯化锡和锌粉溶于乙醇和水的混合液中,充分搅拌,然后在水热反应釜中反应一段时间,所制备的粉末离心、洗涤,烘干而成。该材料表面氧空位缺陷较多,大幅度提升了气敏性能,对甲醇气体检测敏感度高,选择性好本发明所制备的SnO2,有丰富的缺陷结构,大大提升了其气敏性能,在较低的温度下(200℃),对甲醇有良好的灵敏度和选择性。

Patent Agency Ranking