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公开(公告)号：CN106899190A
公开(公告)日：2017-06-27
申请号：CN201510968273.X
申请日：2015-12-21
Applicant: 上海交通大学
IPC: H02K35/02
CPC classification number: H02K35/02 , H02K2201/18 , H02K2213/03 , H02K2213/09
Abstract: 本发明公开一种利用磁通转向提高发电效率的微型振动能量采集装置，包括：基底、绝缘层、感应线圈绕组、永磁体、软磁铁芯、两侧软磁、软磁摆臂和软磁振子，永磁体布置在基底下，线圈绕组下，感应线圈固定在绝缘衬底中，绕组两侧的软磁铁芯与永磁N、S极分别相连，绕组中央铁芯位于永磁体中央，软磁摆臂与中央铁芯相连，软磁振子位于软磁摆臂末端。软磁振子发生双稳态振动，线圈中磁通发生反转，磁通更加集中，机-电能量转换效率高、工作带宽大、易于集成制造。
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公开(公告)号：CN104198272B
公开(公告)日：2016-10-19
申请号：CN201410437861.6
申请日：2014-08-29
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供了一种3D‑TSV原位拉伸试样及其制备方法，所述试样包括试样柱部分、固定部分和夹持部分，其中：试样柱采用干膜代替正胶制备，以便于金属柱的生长；固定部分与试样柱部分一同电镀完成，并作为试样柱部分与外界连接的端口，以解决试样柱小难以操作的难题；为方便测试仪器的夹持，本发明运用电镀、粘结或焊接方法制备夹持部分，电镀方法是直接在固定端再次图形化一层条状金属，金属两端带圆环，弯折后圆环对齐作为夹持部分；粘结与焊接方法是将以制备好的夹持部分用粘结或焊接直接同固定端连接。本发明设计总体便于操作，步骤简单，在保证准确性的基础上优化了工艺。
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公开(公告)号：CN103575590B
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201310471647.8
申请日：2013-10-10
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01N3/02
Abstract: 本发明公开了一种用于3D‑TSV铜互连材料力学性能测试的原位拉伸试样，所述试样包括试样部分，固定部分和用于夹持试样的夹持部分，所述的试样部分是在硅通孔中形成的圆形金属柱；所述的固定部分为有固定槽的电镀金属；所述的夹持部分为带有定位孔和带网状支撑结构的金属框架。试样与实际生产中TSV‑Cu互连材料主体尺寸基本相同，与实际应用中TSV‑Cu互连材料的成型工艺与结构相同，试样受力方向与铜柱的生长方向一致。能与TSV‑Cu材料在实际中的受力情况很好的匹配。
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公开(公告)号：CN104698744A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201510051991.0
申请日：2015-01-30
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供了一种利用软质光刻模板进行曲面薄膜图形化微制造方法，属于微加工技术领域。所述技术将腐蚀溶剂涂在软质弹性模的图形表面，然后附着在要刻蚀的薄膜上，与所述弹性模的凸出图形部位接触的所述薄膜表面受到刻蚀，所述薄膜刻蚀结束后去除所述弹性模，得到要刻蚀的图案结构。本发明由于使用了弹性模代替了光刻中使用的硬模，因此相对于传统的光刻技术，软光刻技术更加灵活，它首先能制造复杂的三维结构并且能在曲面上应用，其次能够在不同化学性质表面上使用,并且可以根据需要改变材料表面的化学性质，另外还能够应用于许多材料上，其应用正在许多方面不断体现出来。
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公开(公告)号：CN102543590B
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201110386790.8
申请日：2011-11-28
Applicant: 上海交通大学
IPC: H01H51/27
Abstract: 本发明公开了一种低功耗高稳定性的磁双稳微型继电器，包括：励磁线圈、横置永磁体、固定触点、励磁铁芯、励磁弹性平台、负性光刻胶垫片和可动触点。其中：励磁铁芯位于励磁线圈的中央、四周和底部；横置永磁体对称设置，水平固定于励磁铁芯的下方且极性相对；固定触点制作在励磁线圈上表面；可动触点制作在励磁弹性平台的下表面，并通过其悬挂在固定触点的正上方。固定触点、励磁线圈、励磁铁芯之间用绝缘材料聚酰亚胺隔离；励磁铁芯与励磁弹性平台之间、固定触点与可动触点之间存在气隙，励磁弹性平台可相对于励磁铁芯上下平移。本发明有效改善了电磁继电器工作的稳定性并有效降低了其功耗。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102543590A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110386790.8
申请日：2011-11-28
Applicant: 上海交通大学
IPC: H01H51/27
Abstract: 本发明公开了一种低功耗高稳定性的磁双稳微型继电器，包括：励磁线圈、横置永磁体、固定触点、励磁铁芯、励磁弹性平台、负性光刻胶垫片和可动触点。其中：励磁铁芯位于励磁线圈的中央、四周和底部；横置永磁体对称设置，水平固定于励磁铁芯的下方且极性相对；固定触点制作在励磁线圈上表面；可动触点制作在励磁弹性平台的下表面，并通过其悬挂在固定触点的正上方。固定触点、励磁线圈、励磁铁芯之间用绝缘材料聚酰亚胺隔离；励磁铁芯与励磁弹性平台之间、固定触点与可动触点之间存在气隙，励磁弹性平台可相对于励磁铁芯上下平移。本发明有效改善了电磁继电器工作的稳定性并有效降低了其功耗。
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公开(公告)号：CN101141093B
公开(公告)日：2010-08-25
申请号：CN200710046919.4
申请日：2007-10-11
Applicant: 上海交通大学
IPC: H02K35/02
Abstract: 本发明公开一种电子元件领域的微型电磁式低频振动能量采集器，包括：拾振结构、支撑结构和微线圈结构，所述的拾振结构包括金属平面弹簧和永磁体，金属平面弹簧包括四个方螺旋形的弹性臂和一个金属平台，永磁体位于金属平台上面，所述的微线圈包括微线圈绕组和绝缘衬底。金属平面弹簧和支撑结构集成在一起，拾振结构、支撑结构在微线圈之上。本发明拾振结构固有频率接近100赫兹，易于满足提高低频能量采集效率、制作成本低、集成制造等方面的综合要求。
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公开(公告)号：CN101141093A
公开(公告)日：2008-03-12
申请号：CN200710046919.4
申请日：2007-10-11
Applicant: 上海交通大学
IPC: H02K35/02
Abstract: 本发明公开一种电子元件领域的微型电磁式低频振动能量采集器，包括：拾振结构、支撑结构和微线圈结构，所述的拾振结构包括金属平面弹簧和永磁体，金属平面弹簧包括四个方螺旋形的弹性臂和一个金属平台，永磁体位于金属平台上面，所述的微线圈包括微线圈绕组和绝缘衬底。金属平面弹簧和支撑结构集成在一起，拾振结构、支撑结构在微线圈之上。本发明拾振结构固有频率接近100赫兹，易于满足提高低频能量采集效率、制作成本低、集成制造等方面的综合要求。
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公开(公告)号：CN1699234A
公开(公告)日：2005-11-23
申请号：CN200510026205.8
申请日：2005-05-26
Applicant: 上海交通大学
CPC classification number: C03C15/00
Abstract: 一种在硼硅玻璃表面加工微槽阵列的方法，属于先进制造技术领域。本发明采用在清洗干净的硼硅玻璃片表面溅射铬铜种子层，经过光刻，形成加工玻璃深槽阵列的掩膜窗口；将硼硅玻璃片置入腐蚀液去除窗口内的铬铜种子层，分析纯丙酮中超声去胶，采用电镀方法，首先电镀铜掩膜，然后在铜掩膜上再电镀金掩膜，腐蚀，连续刻蚀，从而在硼硅玻璃表面刻出底部光滑的微沟槽阵列。本发明简便易行，基于溅射和无掩膜微电镀工艺来制备湿法腐蚀硼硅玻璃的掩膜，从而达到减小针孔缺陷和钻蚀量的效果。
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公开(公告)号：CN1694190A
公开(公告)日：2005-11-09
申请号：CN200510025939.4
申请日：2005-05-19
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种属于精密机械技术领域集成永磁双稳态微电磁驱动器，本发明包括：衬底、定子、动子，所述的定子包括：微驱动线圈绕组、永磁体、软磁磁轭，永磁体位于微驱动线圈绕组中央，软磁磁轭位于微驱动线圈绕组的下方和四周，软磁磁轭位于永磁体下方，定子和动子固定在衬底上。本发明满足微型光开关等器件对微驱动器在行程、驱动力、响应时间、功耗、集成制造等方面的综合要求。
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