组合物、使用组合物形成图案的方法及形成图案的系统

    公开(公告)号:CN119024641A

    公开(公告)日:2024-11-26

    申请号:CN202410640016.2

    申请日:2024-05-22

    Abstract: 一种被配置用于从含金属抗蚀剂移除边珠和/或作为含金属抗蚀剂的显影剂组合物的组合物是无水的,并且包含有机溶剂和选自氨基酸类化合物、含硫的酸化合物和含硫的胺类化合物中的至少一种添加剂。一种组合物、使用所述组合物形成图案的方法及形成图案的系统,所述方法包括:在衬底上涂布含金属的抗蚀剂组合物;沿着衬底的边缘涂布本实施例的被配置用于从含金属抗蚀剂移除边珠的所述组合物;进行干燥和加热以在衬底上形成含金属的抗蚀剂膜;对含金属的抗蚀剂膜进行曝光;以及利用含金属抗蚀剂的显影剂组合物对含金属的抗蚀剂膜进行显影。

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