公开(公告)号：CN107850533A

公开(公告)日：2018-03-27

申请号：CN201680025146.9

申请日：2016-08-09

Applicant: 国立大学法人德岛大学 ,  株式会社富士金

Inventor： 出口祥启 ,  永濑正明 ,  山路道雄 ,  池田信一 ,  西野功二 ,  河岛将慈 ,  田中一辉

IPC: G01N21/33 ,  G01N21/03

Abstract: 一种浓度测定装置，包括：至少一个光源；用于注入被测定流体的测定单元；用于使所述光源的光分支为入射到所述测定单元内的入射光和未入射到所述测定单元内的非入射光的分歧器；用于检测所述入射光通过了所述测定单元的透过光的透过光检测器；用于检测所述非入射光的非入射光检测器；以及利用所述非入射光检测器的检测信号对所述透过光检测器的检测信号进行校正的运算部。

公开(公告)号：CN104350443B

公开(公告)日：2018-02-16

申请号：CN201380028183.1

申请日：2013-04-15

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 永濑正明 ,  日高敦志 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: G05D7/06

CPC classification number: G05D7/0635 ,  G01F1/36 ,  G01F15/005 ,  Y10T137/7737

Abstract: 具备：上游侧阀（AV），将来自具有希望的气体供给压的气体供给源的气体的流通开闭；流量控制装置，连接在上游侧阀（AV）的下游侧，具备耐供给压力变动性；温度检测传感器（T），以将上游侧阀（AV）的出口侧与流量控制装置的入口侧连通的通路的内容积为降落容量（BC），并检测在形成该降落容量（BC）的通路内流通的气体的温度；压力传感器（P），检测在形成降落容量（BC）的通路内流通的气体的压力；监测流量运算控制部（CPb），进行上游侧阀（AV）的开闭控制，并且在通过上游侧阀（AV）的开放使降落容量（BC）内的气体压力成为设定上限压力值后，通过上游侧阀（AV）的封闭在规定时间t秒后使气体压力下降到设定下限压力值，由此通过降落方式运算并输出监测流量（Q）；将上述监测流量（Q）运算为Q=1000/760×60×273/（273+T）×V×ΔP/Δt并输出。

公开(公告)号：CN105393031B

公开(公告)日：2018-01-30

申请号：CN201480031742.9

申请日：2014-05-12

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 篠原努 ,  山路道雄 ,  西野功二 ,  土肥亮介 ,  池田信一 ,  铜敏男

IPC: F16K37/00 ,  F16K7/12 ,  F16K7/17

CPC classification number: F16K37/0083 ,  F16K7/17 ,  G01N27/20 ,  Y10T137/5994

Abstract: 本发明提供一种隔膜阀，其结构简单，并且能够在隔膜断裂之前切实地检测出隔膜的损伤。隔膜(5)由多层隔膜层(21)(22)(23)形成。在最上层的隔膜层(23)上施加有配线(24)。通过检测配线(24)的切断来检测出隔膜(5)的异常。

公开(公告)号：CN107532741A

公开(公告)日：2018-01-02

申请号：CN201680021491.5

申请日：2016-04-05

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 石桥圭介 ,  谷川毅 ,  山路道雄 ,  船越高志 ,  木曾秀则 ,  冈部庸之 ,  菊地广秋 ,  坂下训康

IPC: F16K27/00

CPC classification number: F16K27/0236 ,  F15B2215/30 ,  F16K1/301 ,  F16K7/00 ,  F16K11/22 ,  F16K27/003

Abstract: 第一开闭阀(2)及第二开闭阀(3)均为二通阀。在第一通路块(5)中，形成有第一开闭阀用流入通路(11)及第一开闭阀用流出通路(12)。在第二通路块(6)中，形成有第二开闭阀用流入通路(14)及第二开闭阀用流出通路(15)。第二开闭阀用流出通路(15)通过在第一通路块(5)中形成的连通路(13)而与第一开闭阀用流出通路(12)的上游侧部分连通。在第二开闭阀用流出通路(15)与连通路(13)之间设置有孔板(20)。根据上述结构，能够防止由于流体的逆流所引起的内部污染，减少阀的更换频率。

公开(公告)号：CN107407430A

公开(公告)日：2017-11-28

申请号：CN201680017445.8

申请日：2016-03-04

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 船越高志 ,  药师神忠幸 ,  中田知宏

IPC: F16K7/16

Abstract: 本发明提供一种通过着眼于隔膜压具的按压面的曲率半径与隔膜的曲率半径的比，来实现隔膜的耐久性的提高的隔膜阀。将隔膜(5)的曲率半径记为SRa，将隔膜压具(6)的按压面的曲率半径记为SRb，则SRb/SRa＝0.4～0.6。

公开(公告)号：CN104081304B

公开(公告)日：2017-08-29

申请号：CN201280068410.9

申请日：2012-10-17

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 西野功二 ,  土肥亮介 ,  池田信一 ,  平田薰 ,  森崎和之

IPC: G05D7/06 ,  G05D11/03

CPC classification number: G05D7/0641 ,  G05D7/0664 ,  Y10T137/2544

Abstract: 一种半导体制造装置的气体分流供给装置，具备：操纵阀(3)，其形成压力式流量控制部(1a)；气体供给主管(8)，其连通于操纵阀(3)的下游侧；节流孔(6)，其设于操纵阀(3)下游侧的气体供给主管(8)；多个分支管路(9a、9n)，其并列状地连接于气体供给主管(8)的下游侧；分支管路开闭阀(10a、10n)，其间置于各分支管路(9a、9n)；压力传感器(5)；分流气体出口(11a、11n)，其设于各分支管路(9a、9n)的出口侧；以及运算控制部(7)，其中，对阀驱动部(3a)输出使所述操纵阀(3)朝运算流量值与设定流量值之差减少的方向开闭动作的控制信号Pd，并且对分支管路开闭阀(10a、10n)输出使各分支管路开闭阀(10a、10n)各自依次打开一定时间之后使其封闭的开闭控制信号(Oda、Odn)，利用压力式流量控制部(1a)进行流通过节流孔(6)的过程气体的流量控制，并且通过分支管路开闭阀(10a、10n)的开闭来分流供给过程气体。

公开(公告)号：CN107076331A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201580058536.1

申请日：2015-10-26

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 张兆宏 ,  松田隆博

IPC: F16K31/165 ,  F16K35/02

Abstract: 本发明提供一种阀，即使因错误而供给操作流体也不会成为开启状态，可抑制气体因意外供给至半导体制造装置等。阀(1)具备：主体(4)，形成有流体流入路(4b)及流体流出路(4c)；隔膜(7)，用于流体流入路(4b)及流体流出路(4c)的开闭；心柱(9)，为了以隔膜(7)使流体流入路(4b)及流体流出路(4c)开闭，设置成可相对于隔膜(7)接近及离开地移动；与主体(4)连接的阀帽(5)及阀盖(6)；驱动单元(活塞(10)、操作流体导入室(10a)、操作流体导入路(10b)及第一压缩螺旋弹簧(11))，设置于阀帽(5)及阀盖(6)并通过从外部供给的操作流体来驱动心柱(9)；及阀机构(20)，设置在阀帽(5)及阀盖(6)，可开闭朝驱动单元之操作流体的通路。

公开(公告)号：CN106795898A

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201480082528.6

申请日：2014-10-07

Applicant: 藤仓橡胶工业株式会社 ,  株式会社富士金

Inventor： 江尻隆 ,  中田知宏 ,  药师神忠幸

IPC: F15B15/14 ,  F16K31/122

CPC classification number: F15B15/1423 ,  F15B15/1428 ,  F15B15/1471 ,  F15B2015/1495 ,  F16H41/04 ,  F16H41/24 ,  F16K31/122 ,  F16K31/1221 ,  F16K31/1225

Abstract: 本发明涉及一种多级活塞式致动器，使抵抗弹簧压力的空气压力施加至嵌入气缸体的多个活塞体的压力室，从推杆将其输出取出，活塞级数的变更变得容易，能够实现小型化以及轴向长度的缩短。在本发明的多级活塞式致动器中，多个活塞体分别与嵌入气缸体的隔离件组合，在两者之间形成压力室，活塞体具有受压板部、从该受压板部沿内外的相反方向延伸的轴棒和滑动导向筒状部，所述轴棒具有与压力室连通的轴空气通路，隔离件具有底板部、从该底板部沿内外的同一方向延伸的大径最外筒状部和滑动导向筒状部，所述底板部具有接收邻接的活塞体的轴棒的贯通孔，所述大径最外筒状部嵌入气缸体，所述滑动导向筒状部与活塞体的滑动导向筒状部滑动自如地嵌合，多个活塞体的轴棒彼此机械地抵接，从而使输出施加至推杆。

公开(公告)号：CN105102868B

公开(公告)日：2017-05-24

申请号：CN201480009481.0

申请日：2014-02-17

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 横田淳 ,  吉田贵洋 ,  阮青松 ,  松田隆博

IPC: F16K27/00 ,  G05D7/06

CPC classification number: G05D7/03 ,  F16K27/003 ,  F16K37/0025 ,  G01K13/02 ,  G01M3/002 ,  G05D23/22

Abstract: 本发明提供一种流体控制装置以及流体控制装置上的热传感器设置结构，其能够有效利用流体控制装置上的空间，通过简单的施工来设置用于温度管理的热传感器。流体控制装置(1)具备彼此相邻的第1流体控制器(3)及第2流体控制器(4)，以及测定在第1流体控制器(3)内流动的流体的温度的热传感器(17)。流体控制装置(1)还具备安装在第2流体控制器(4)上，支承热传感器(17)的支承部件(19)。

公开(公告)号：CN106537275A

公开(公告)日：2017-03-22

申请号：CN201580020604.5

申请日：2015-07-09

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 永濑正明 ,  平田薰 ,  土肥亮介 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: G05D7/06

CPC classification number: G05D7/0635 ,  Y10T137/776

Abstract: 本发明提供了一种压力式流量控制装置，其能够在流体流量控制中，实现缩短切换流量时的降落响应时间，提高降落响应特性。压力式流量控制装置具有：主体(4)，其设置有连通流体入口制用控制阀(5)，其以水平姿势固定于主体(4)并对流体通路(3)进行开关；开关阀(6)，其以垂直姿势固定于主体(4)并对压力控制用控制阀(5)的下游侧的流体通路(3)进行开关；流孔(7)，其设置于开关阀(6)的上游侧的流体通路(3)；以及压力传感器(8)，其固定于主体(4)并检测压力控制用控制阀(5)和流孔(7)之间的流体通路(3)的内压，所述流体通路(3)具有：与压力控制用控制阀(5)连接的水平姿势的第一通路部(3a)、连接第一通路部(3a)和流孔(7)的垂直姿势的第二通路部(3b)、以及连接第二通路部(3b)和压力传感器(8)的水平姿势的第三通路部(3c)。(1)和流体出口(2)之间的流体通路(3)；压力控