基于透射古斯汉欣位移和光谱联用的多层薄膜光学特性检测方法

    公开(公告)号:CN119534404A

    公开(公告)日:2025-02-28

    申请号:CN202411565674.6

    申请日:2024-11-05

    Abstract: 一种基于透射古斯汉欣位移和光谱联用的多层薄膜光学特性检测方法,其特征在于:包括S1:测量多层薄膜透射TM偏振波的光点位置信息;S2:数据处理得到入射波长‑透射古斯汉欣位移关系曲线;S3:测量多层薄膜的光谱信息;S4:判断多层薄膜的类型:为增反膜时进入S5,为增透膜时进入S6,为分束膜时进入S7;S5:建立增反膜目标函数,计算得到增反膜目标函数最小时的增反膜参数向量;S6:建立增透膜目标函数,计算得到增透膜目标函数最小时的增透膜参数向量;S7:建立分束膜目标函数,计算得到分束膜目标函数最小时的分束膜参数向量。效果:提高了多层薄膜光学特性的测量效率和准确性。

    一种具有周期特征的直齿轮标准样板与仪器校准方法

    公开(公告)号:CN117889796A

    公开(公告)日:2024-04-16

    申请号:CN202311754149.4

    申请日:2023-12-19

    Abstract: 本发明属于齿轮标准样板技术领域,具体涉及一种具有周期特征的直齿轮标准样板与仪器校准方法,包括本体,所述本体表面加工有直齿槽,所述直齿槽具有两个侧壁面,至少其中一个侧壁面的表面为根据齿轮参数设计的周期性起伏曲面。对所述具有周期特征的直齿轮标准样板上的直齿槽侧壁面进行采样,根据采样数据得到呈周期性起伏的拟合曲线,比较所述拟合曲线与理论曲线,根据拟合曲线与理论曲线的振幅偏差确定测量误差。本发明通过设置周期性起伏曲面使得采样路径在往一个方向偏离后,能够反向偏离回来,周期性重复消除采样路径的偏离,能够提高量值传递精度。本发明通过振幅偏差来表达误差,克服了因采样路径偏离带来的误差,能够更加准确的表达误差。

    基于原位共角SPR检测多层薄膜参数的DEABC方法

    公开(公告)号:CN115218796A

    公开(公告)日:2022-10-21

    申请号:CN202211040904.8

    申请日:2022-08-29

    Abstract: 本发明公开了一种基于原位共角SPR检测多层薄膜参数的DEABC方法,包括:在原位共角模式下利用SPR测量装置测量多层薄膜样品在连续波长λ范围内入射光的干涉条纹信息和TM偏振波的反射光谱,经处理得到入射波长‑反射率和入射波长‑相位差关系曲线,接着从关系曲线中选取数据进行预处理,作为差分蜂群算法的输入值,并设置解算终止条件,最后采用差分蜂群算法基于目标函数进行反演计算,该目标函数以待测参数为函数参数,并反映反演计算值与实验测得值之间的相近度,以目标函数最小值为寻优方向求解对应的参数向量,即得到所有金属薄膜层在各个波长下的折射率、消光系数和厚度等参数。本发明具有检测方便、求解效率高、精度高的优点。

    凸轮轴上被测对象的采样位姿修正与轮廓形貌测量方法

    公开(公告)号:CN112414352A

    公开(公告)日:2021-02-26

    申请号:CN202011247233.3

    申请日:2020-11-10

    Abstract: 本发明公开了凸轮轴上被测对象的采样位姿修正与轮廓形貌测量方法,第一次修正:将凸轮轴坐标系o0x0y0z0转换到仪器坐标OXYZ内;第二次修正:将凸轮轴中心轴线平移到被测对象中心点处,以保证仪器测头能够对被测对象进行正常采样,使得仪器测头能够在仪器坐标系内相对于平移后的凸轮轴中心轴线进一步修正采样位姿;第三次修正:计算被测对象相对于凸轮轴坐标系中的参考基准面的夹角偏差,根据所述夹角偏差将被测对象坐标系转换到仪器坐标系,使得仪器测头能够在仪器坐标系内相对于被测对象的轮廓修正采样位姿。修正采样位姿后获取采样数据并拟合出相应的轮廓形貌。本发明解决了在仪器坐标下下采样路径与被测对象真实轮廓曲线不匹配的问题。

    一种三坐标测量机的误差调节装置

    公开(公告)号:CN107957257B

    公开(公告)日:2020-06-12

    申请号:CN201810052472.X

    申请日:2018-01-19

    Abstract: 本发明公开了一种三坐标测量机的误差调节装置,其包括水平方向上的误差调节组件和竖直方向上的误差调节组件,水平方向上的误差调节组件至少包括X方向上的水平误差调节组件、Y方向上的水平误差组件中的一个;所述竖直方向上的误差调节组件至少包括能够实现对测量机头的竖直方向上调节的粗调组件和微调组件。本发明的误差调节装置,其在水平方向上直接采用高精度滚轮的方式进行调节,而在竖直方向上,利用粗调和微调的双重模式进行调节,调节精度高,粗调采用螺纹方式调节,调节速度快,微调采用磁致伸缩调节,调节进度高,本发明的测量误差调节装置可以很好的保证测量效果,其与红外或者激光误差检测装置配合使用更佳。

    一种自由曲面内缝隙几何尺寸测量方法及装置

    公开(公告)号:CN106705847B

    公开(公告)日:2019-04-05

    申请号:CN201710037782.X

    申请日:2017-01-18

    Abstract: 本发明公开了一种自由曲面内缝隙几何尺寸测量方法及装置,所述一种自由曲面内缝隙几何尺寸测量方法包括以下步骤:缝隙图像采集步骤:分段采集待测自由曲面产品的缝隙图像;缝隙图像处理步骤:对采集到的每段缝隙图像进行处理以得到缝隙截面轮廓,定位每段缝隙轮廓的边缘特征点、缝隙内部拐点、最高点以及最低点;配准拼接步骤:将处理后的每一段缝隙轮廓进行配准拼接;分段拟合步骤:对配准拼接后的缝隙轮廓的特征点进行分段拟合,以得到具有缝隙最低点曲线、边缘曲线、最高点曲线的整体缝隙轮廓;缝隙几何尺寸获取步骤:根据拟合的曲线获取缝隙的深度、长度以及宽度。

    用于检测联合误差的标准器及联合误差检测方法

    公开(公告)号:CN109556548A

    公开(公告)日:2019-04-02

    申请号:CN201811427274.3

    申请日:2018-11-27

    Abstract: 本发明涉及一种用于检测联合误差的标准器,包括下表面为平面的底座,在所述底座上表面围绕同一中心点O环形分布有至少3个竖直的测量孔,并且测量孔的中心均在以中心点O为圆心、R为半径的圆形曲线上;所述测量孔由同轴线的锥孔和圆孔构成,锥孔的小端与圆孔一端连接,锥孔的小端直径等于圆孔直径;所述圆孔直径d为10mm≤d≤51mm,圆孔的高度c≤0.3mm,圆孔的圆度小于1μm;所述锥孔的锥角θ为30°≤θ≤60°。本发明还涉及一种联合误差检测方法,用于检测多传感器测量系统的联合误差,采用本发明的标准器进行联合误差检测。本发明解决了现有技术中的标准器不能定量检测联合误差量值的技术问题,能够用于定量检测联合误差量值,能够提高检测效率。

    用于多传感器测量系统的多孔板标准器及联合误差检测法

    公开(公告)号:CN107063330B

    公开(公告)日:2019-03-15

    申请号:CN201710249740.2

    申请日:2017-04-17

    Abstract: 本发明涉及一种用于多传感器测量系统的多孔板标准器,包括板体,板体上设有分别按照各自的线性拓扑结构分布的A类纵向测量孔与B类横向测量孔;A类纵向测量孔与B类横向测量孔均由同轴线的锥孔和圆孔构成;本发明还涉及一种联合误差检测方法:采用本发明的12孔标准器,对标准器上的测量孔进行编号;采用高精度三坐标测量仪测量包括圆孔直径的各种实际值;多传感器测量系统中的各传感器依次按照最短采样路径对各测量孔进行采样;计算每一个测量孔中圆孔的圆心坐标以及圆孔直径测量值,然后分别计算各类联合误差,判断各联合误差是否合格。本发明能够满足同时具有光学、图像、接触式传感器的多传感器测量系统对联合误差进行检测的需求。

    基于透射古斯汉欣位移的一维光子晶体参数测量方法

    公开(公告)号:CN119573588A

    公开(公告)日:2025-03-07

    申请号:CN202411650291.9

    申请日:2024-11-19

    Abstract: 一种基于透射古斯汉欣位移的一维光子晶体参数测量方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤S1:利用透射古斯汉欣位移测量装置测量一维光子晶体的透射TM偏振波的光点位置信息;步骤S2:根据光点位置信息,得到一维光子晶体的入射波长‑透射古斯汉欣位移关系曲线,并计算得到TM偏振波下的透射古斯汉欣位移;步骤S3:建立一维光子晶体结构参数的评价函数,将透射古斯汉欣位移、基底参数以及膜层折射率信息代入评价函数中,进行反演计算,以一维光子晶体的周期数及周期内各层厚度作为决策参量,根据评价函数的大小判断解的精确度,得到评价函数最小时一维光子晶体的结构参数向量a。效果:能够实现任何基底表面的一维光子晶体的快速、无损检测。

    基于透射古斯汉欣位移和光谱联用的单层薄膜光学特性检测方法

    公开(公告)号:CN119354893A

    公开(公告)日:2025-01-24

    申请号:CN202411465217.X

    申请日:2024-10-21

    Abstract: 一种基于透射古斯汉欣位移和光谱联用的单层薄膜光学特性检测方法,其特征在于:包括S1:测量单层薄膜透射TM偏振波的光点位置信息;S2:数据处理得到入射波长‑透射古斯汉欣位移关系曲线;S3:测量单层薄膜的光谱信息;S4:判断单层薄膜的类型:薄膜类型为反射膜时进入S5,薄膜类型为透射膜时进入S6,薄膜类型为分束膜时进入S7;S5:判断单层薄膜为反射膜时,建立反射膜目标函数,计算得到全波段的反射膜参数向量;S6:判断单层薄膜为透射膜时,建立透射膜目标函数,计算得到全波段的透射膜参数向量;S7:判断单层薄膜为分束膜时,建立分束膜目标函数,计算得到全波段的分束膜参数向量。效果:提高了单层薄膜光学特性的测量效率和准确性。

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