基于原位共角SPR测量单层薄膜参数的ISOA方法

    公开(公告)号:CN115406366B

    公开(公告)日:2023-04-28

    申请号:CN202211040603.5

    申请日:2022-08-29

    摘要: 本发明公开了一种基于原位共角SPR测量单层薄膜参数的ISOA方法,步骤包括:先利用SPR测量装置原位共角测量单层薄膜反射光谱和干涉条纹信息,经数据处理得到入射波长‑反射率和入射波长‑相位差关系曲线,再对改进人群搜索算法的数据初始化,从关系曲线中选取反射光谱及相位差数据,进行归一化处理得到处于同一量级的反射率值与相位差值数据集,作为改进人群搜索算法的输入值,并设置解算终止条件;最后运行改进人群搜索算法基于目标函数进行反演计算,通过搜寻目标函数的最小值来求解参数向量a,即得到n为折射率,k为消光系数,d为厚度。本方法操作方便,经一次运算可得到连续多波长下的薄膜参数,具有精确度高和效率高的优点。

    基于原位共角SPR检测多层薄膜参数的DEABC方法

    公开(公告)号:CN115218796B

    公开(公告)日:2023-04-14

    申请号:CN202211040904.8

    申请日:2022-08-29

    摘要: 本发明公开了一种基于原位共角SPR检测多层薄膜参数的DEABC方法,包括:在原位共角模式下利用SPR测量装置测量多层薄膜样品在连续波长λ范围内入射光的干涉条纹信息和TM偏振波的反射光谱,经处理得到入射波长‑反射率和入射波长‑相位差关系曲线,接着从关系曲线中选取数据进行预处理,作为差分蜂群算法的输入值,并设置解算终止条件,最后采用差分蜂群算法基于目标函数进行反演计算,该目标函数以待测参数为函数参数,并反映反演计算值与实验测得值之间的相近度,以目标函数最小值为寻优方向求解对应的参数向量,即得到所有金属薄膜层在各个波长下的折射率、消光系数和厚度等参数。本发明具有检测方便、求解效率高、精度高的优点。

    基于单轴对称标准器的误差补偿方法与测量误差评价方法

    公开(公告)号:CN111336964A

    公开(公告)日:2020-06-26

    申请号:CN202010231096.8

    申请日:2020-03-27

    IPC分类号: G01B21/00

    摘要: 本发明公开了一种基于单轴对称标准器的误差补偿方法包括以下步骤:将测量空间划分为若干测量区域;同一测量区域内的误差等级相同,并且随着测量范围扩大,测量误差以相同的线性变化系数增大;设τ误差等级对应的τ测量区域的线性变化系数为kτ,那么τ测量区域的相关系数为δτ=1/kτ;根据标准器上各节点所处的测量区域,为各节点匹配相应的相关系数;各节点的修正相关系数等于节点权重等级与匹配相关系数的乘积;根据修正相关系数来补偿各节点对应的误差测量值。以本发明的基于单轴对称标准器的误差补偿方法为基础,本发明还公开了局域性测量误差评价方法与整体性测量误差评价方法。本发明能够提高误差检测的准确性,提高测量误差评价的代表性和说服力。

    一种床面清洁的自动化机械装置

    公开(公告)号:CN106691359B

    公开(公告)日:2019-04-02

    申请号:CN201710057920.0

    申请日:2017-01-23

    IPC分类号: A47L25/00

    摘要: 本发明公开了一种床面清洁的自动化机械装置,包括一号水平空心圆筒,所述一号水平空心圆筒一侧的地面上设有与一号水平空心圆筒相匹配的二号水平空心圆筒,所述一号水平空心圆筒与二号水平空心圆筒上表面一端之间设有滚动清理机构,所述一号水平空心圆筒与二号水平空心圆筒上表面中心处设有自动滚动机构,所述二号水平空心圆筒上表面中心处右侧设有摆动支撑机构,所述二号水平空心圆筒侧表面设有辅助支撑机构。本发明的有益效果是,一种操作比较方便,清洁效果比较好,实用性强,滚动平稳,收集可靠的装置。

    用于多传感器测量系统的多球板标准器及联合误差检测法

    公开(公告)号:CN106871949B

    公开(公告)日:2019-03-15

    申请号:CN201710249737.0

    申请日:2017-04-17

    IPC分类号: G01D18/00

    摘要: 本发明涉及一种用于多传感器测量系统的多球板标准器,包括板体,板体上表面按拓扑结构分布有标准球;拓扑结构包括按正四边形或正八边形路径延伸布置的一级节点,一级节点至少衍生出二级节点:以相邻两个上一级节点为一个衍生组并向外衍生出两个下一级节点,该衍生组中两个上一级节点分别沿着以自身为端点并与它们两者自身的连线呈135°的射线方向,以相等的距离衍生出各自的下一级节点。本发明还涉及一种联合误差检测方法:采用本发明的10球标准器,对标准球进行编号;测量包括标准球直径的各种实际值;各传感器依次按照采样路径对各标准球进行采样;计算标准球的球心坐标以及球体直径测量值,然后分别计算各类联合误差,判断各联合误差是否合格。

    多层-多球磁定位式齿距样板及其磁力设计方法

    公开(公告)号:CN109365924A

    公开(公告)日:2019-02-22

    申请号:CN201811583330.2

    申请日:2018-12-24

    IPC分类号: B23F23/00

    摘要: 本发明涉及一种多层-多球磁定位式齿距样板包括以上表面为基平面的基座,基平面上围绕定心圆柱/圆球/圆锥的中心从内向外依次间隔环形分布有至少两层定位孔;每层定位孔上各定位孔的中心均位于在基平面内以定心圆柱/圆球/圆锥的中心点的水平投影为中心,以虚拟齿轮的分度圆的半径为半径的圆形曲线上;每层定位孔的孔数与相应虚拟齿轮的齿数一致;定位孔的开口端设有用于放置检测球的倒角α;检测球与定心圆柱/圆球/圆锥均采用含铁材料制成;基座内设有用于将检测球吸合固定在基座上的磁定位装置。还提供用于多层-多球磁定位式齿距样板的磁力设计方法。本发明能根据测量需要组装成不同形式的齿距样板,并能定量设计出满足磁力需求的相关参数。

    一种床面清洁的自动化机械装置

    公开(公告)号:CN106691359A

    公开(公告)日:2017-05-24

    申请号:CN201710057920.0

    申请日:2017-01-23

    IPC分类号: A47L25/00

    CPC分类号: A47L25/00

    摘要: 本发明公开了一种床面清洁的自动化机械装置,包括一号水平空心圆筒,所述一号水平空心圆筒一侧的地面上设有与一号水平空心圆筒相匹配的二号水平空心圆筒,所述一号水平空心圆筒与二号水平空心圆筒上表面一端之间设有滚动清理机构,所述一号水平空心圆筒与二号水平空心圆筒上表面中心处设有自动滚动机构,所述二号水平空心圆筒上表面中心处右侧设有摆动支撑机构,所述二号水平空心圆筒侧表面设有辅助支撑机构。本发明的有益效果是,一种操作比较方便,清洁效果比较好,实用性强,滚动平稳,收集可靠的装置。

    一种管道外爬行检测机器人

    公开(公告)号:CN118953533A

    公开(公告)日:2024-11-15

    申请号:CN202411233660.4

    申请日:2024-09-04

    IPC分类号: B62D57/024

    摘要: 本发明公开了一种管道外爬行检测机器人,其包括前夹抱装置、机身和后夹抱装置;前夹抱装置和后夹抱装置的结构相同,前夹抱装置和后夹抱装置均包括基板、固定在基板上的第一电机、连接在第一电机转轴上的驱动齿轮、平行四边形联动左爪机构和平行四边形联动右爪机构;机身包括长度能伸缩的前躯干、长度能伸缩的后躯干和转动驱动机构。本发明管道外爬行检测机器人,其利用前夹抱装置和后夹抱装置交替抱紧管道和机身伸缩来实现沿管道爬行,爬行可靠性高;且机身的伸缩功能使得其具有良好的越障能力。并且本发明管道外爬行检测机器人的结构较简单,维护方便,成本较低。

    一种具有周期性的螺旋齿轮标准样板与仪器校准方法

    公开(公告)号:CN117647208A

    公开(公告)日:2024-03-05

    申请号:CN202311754062.7

    申请日:2023-12-19

    IPC分类号: G01B21/00

    摘要: 本发明属于齿轮标准样板技术领域,具体涉及一种具有周期性的螺旋齿轮标准样板与仪器校准方法,包括本体,所述本体表面加工有螺旋齿槽,所述螺旋齿槽具有两个侧壁面,至少其中一个侧壁面的表面为根据齿轮参数设计的周期性起伏曲面。对所述具有周期性的螺旋齿轮标准样板上的螺旋齿槽侧壁面进行采样,根据采样数据得到呈周期性起伏的拟合曲线,比较所述拟合曲线与理论曲线,根据拟合曲线与理论曲线的振幅偏差确定测量误差。本发明通过设置周期性起伏曲面使得采样路径在往一个方向偏离后,能够反向偏离回来,周期性重复消除采样路径的偏离,能够提高量值传递精度。本发明通过振幅偏差来表达误差,克服了因采样路径偏离带来的误差,能够更加准确的表达误差。

    齿廓模拟方法、齿廓标准器模拟装置与校准方法

    公开(公告)号:CN116465349A

    公开(公告)日:2023-07-21

    申请号:CN202310495176.8

    申请日:2023-05-04

    IPC分类号: G01B21/20 G01M13/021

    摘要: 本发明属于齿廓标准器技术领域,具体涉及一种齿廓模拟方法、齿廓标准器模拟装置与校准方法,生成虚拟齿廓曲线,可移动受触点沿所述虚拟齿廓曲线运动。齿廓标准器模拟装置包括激光跟踪干涉仪、受触微元与坐标移动器;激光跟踪干涉仪生成虚拟齿廓曲线上的坐标点,能够提供并跟踪出高精度的坐标,从而保证所模拟出的齿廓标准器的精度。本发明摆脱了对实体齿轮的依赖,通过虚实结合的方式模拟出能够被触碰感知的齿廓,大大降低了成本。本发明适用范围广,能够模拟出各种类型的齿廓,且无需增加成本,只需要根据需要生成不同类型的虚拟齿廓曲线,如渐开线、摆线、圆弧或抛物线。