具有转速传感器的微机械传感器系统及用于运行其的方法

    公开(公告)号:CN118149784A

    公开(公告)日:2024-06-07

    申请号:CN202311673566.6

    申请日:2023-12-06

    Abstract: 提出一种具有转速传感器的微机械传感器系统以及一种用于运行其的方法,所述转速传感器具有能够被激励至振动的震动质量和震动质量的驱动装置,其中,为了驱动而用偏置电压和驱动电压来加载震动质量,其中,借助于呈交变电压形式的驱动电压将震动质量激励至振动,其特征在于,转速传感器能够选择性地在起动模式和运行模式中运行,其中:‑‑在起动模式中运行转速传感器时的偏置电压与在运行模式中运行转速传感器时的偏置电压不同,和/或‑‑在起动模式中运行转速传感器时最大程度由驱动电压的驱动器所提供的电压与在运行模式中运行转速传感器时最大程度由驱动电压的驱动器所提供的电压不同。

    用于转速传感器的微机械构件及其制造方法、转速传感器

    公开(公告)号:CN115461595A

    公开(公告)日:2022-12-09

    申请号:CN202180031780.4

    申请日:2021-04-14

    Abstract: 一种用于转速传感器的具有关于垂直于衬底表面(10)定向且与这些转子质量在中心相交的第一对称平面(14)镜像对称并且可被置于围绕垂直于该衬底表面定向的旋转轴线(18a,18b)的扭转振动运动(16a,16b)中的两个转子质量(12a,12b),和关于第一对称平面镜像对称并且可借助转子质量平行于第一对称平面地偏转的四个振动质量(22a,22b,24a和24b)的微机械构件,第一转子质量(12a)和附接在第一转子质量上的第一对振动质量(22a,22b)关于垂直于该衬底表面及第一对称平面定向的第二对称平面(26)与第二转子质量(12b)和附接在第二转子质量上的第二对振动质量(24a,24b)镜像对称。

    具有带有主延伸平面的衬底的用于探测转速的转速传感器

    公开(公告)号:CN105324634A

    公开(公告)日:2016-02-10

    申请号:CN201480026951.4

    申请日:2014-05-14

    CPC classification number: G01C19/5705 G01C19/5719 G01C19/574 G01C19/5747

    Abstract: 提出一种具有衬底(1)的用于探测转速的转速传感器(100),所述衬底具有主延伸平面,其中所述转速在或者平行于主延伸平面或者垂直于主延伸平面延伸的方向上持续,其中所述转速传感器包括主要地震质量块对(11,12)和次要地震质量块对(21,22),其中地震质量块的所述主要对具有第一主要质量块(11)和第二主要质量块(12)而地震质量块的所述次要对具有第一次要质量块(21)和第二次要质量块(22),其中第一主要质量块和第二主要质量块能够朝向彼此地沿着平行于转速传感器的主延伸平面延伸的主要偏转方向(P)相对于所述衬底地运动,而第一次要质量块和第二次要质量块能够沿着平行于转速传感器的主延伸平面延伸的次要偏转方向(S)相对于所述衬底地运动,其中一方面第一和第二主要质量块而另一方面第一和第二次要质量块能够或者反平行地或者彼此平行地根据相应的偏转方向运动,其特征在于,所述主偏转方向基本上垂直于次要偏转方向延伸,其中主要地震质量块对和/或次要地震质量块对可以被如此驱动,使得在转速传感器的旋转时科里奥利力引起第一主要质量块和第二主要质量块和/或第一次要质量块和第二次要质量块的偏转。

    转速传感器
    37.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103512571A

    公开(公告)日:2014-01-15

    申请号:CN201310246606.9

    申请日:2013-06-20

    CPC classification number: G01C19/56 G01C19/5747

    Abstract: 提出一种转速传感器,其中转速传感器的第一科里奥利质量具有第一和第二分区,转速传感器的第二科里奥利质量具有第三和第四分区,在第一分区对面设置与其构成第一电容的第一电极,在第二分区对面设置与其构成第二电容的第二电极,在第三分区对面设置与其构成第三电容的第三电极,在第四分区对面设置与其构成第四电容的第四电极,第一和第二科里奥利质量在衬底或驱动装置上的连接和各电极的布置和构造使得在围绕第一方向的旋转加速度下通过各分区的与探测方向平行的偏转或对各分区的与探测方向平行的力作用引起的第一和第三电容以及第二和第四电容的变化或者第一和第二电容以及第三和第四电容的变化相互补偿。

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