公开(公告)号：CN111751575A

公开(公告)日：2020-10-09

申请号：CN202010220543.X

申请日：2020-03-25

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 泷泽照夫 ,  田中悟 ,  纸透真一

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明提供惯性传感器、电子设备以及移动体。惯性传感器具有：基板；可动体，相对于所述基板绕所述摆动轴摆动；检测电极，设置于所述基板，在俯视观察下与所述可动体重叠；虚设电极，设置于所述基板，在俯视观察下与所述可动体重叠，与所述可动体同电位；以及突起，设置于所述基板，在俯视观察下与所述第一可动部重叠，在所述可动体侧突出并限制所述可动体的绕所述摆动轴的位移，所述虚设电极位于所述突起与所述检测电极之间并且被设置为包围所述突起的周围的至少一部分，所述突起的与所述可动体的接触部分由绝缘材料构成。

公开(公告)号：CN111595311A

公开(公告)日：2020-08-28

申请号：CN202010103937.7

申请日：2020-02-20

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 泷泽照夫

IPC: G01C19/56

Abstract: 本申请公开了一种惯性传感器、电子设备以及移动体。惯性传感器具有：基板；传感器元件，设置在基板上；盖，覆盖所述传感器元件，与所述基板接合；以及多个端子，位于所述盖的外侧，与所述传感器元件电连接，所述多个端子包括：输入端子，输入电信号；以及检测端子，检测来自所述传感器元件的信号，在将所述输入端子与所述盖的间隔距离设为L1，将所述检测端子与所述盖的间隔距离设为L2时，为L1＞L2的关系。

公开(公告)号：CN103359679B

公开(公告)日：2016-09-07

申请号：CN201310113162.1

申请日：2013-04-02

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 泷泽照夫

IPC: B81B7/00 ,  B81B7/02 ,  B81C3/00 ,  B81C1/00

CPC classification number: H05K5/069 ,  B81B7/0041 ,  B81B7/02 ,  B81C2203/0145 ,  G01C19/5719 ,  G01C19/5747 ,  G01P15/097 ,  G01P15/125 ,  H05K13/00 ,  Y10T29/49002

Abstract: 本发明涉及一种电子装置及其制造方法、电子设备以及移动体。本发明所涉及的电子装置包括：基体；盖体，其被载置于所述基体上；第一功能元件，其被设置于由所述基体和所述盖体包围而成的第一空腔内；第二功能元件，其被设置于由所述基体和所述盖体包围而成的第二空腔内，所述第一空腔内以第一气压气氛被密封，所述第二空腔内以与所述第一气压气氛存在气压差的第二气压气氛被密封，在所述基体和所述盖体中的至少一方上设置有第一贯穿孔，该第一贯穿孔与所述第一空腔连通，并被密封部件封堵，所述第一空腔以及所述第二空腔通过与所述盖体或所述基体一体地设置的隔壁部而被隔离。

公开(公告)号：CN102347741B

公开(公告)日：2016-03-09

申请号：CN201110209309.8

申请日：2011-07-25

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 泷泽照夫

IPC: H03H3/02 ,  H03H9/13

CPC classification number: H01L41/053 ,  H01L41/22 ,  H03B5/32 ,  H03H9/0552 ,  H03H9/1021 ,  H03H9/215 ,  Y10T29/42

Abstract: 本发明提供振动片、振子、振荡器以及电子设备，即使被安装到封装等中振动臂也不会与盖体接触，能够得到高精度高可靠性。具有：基部(14)，其具有安装面(14a)；振动臂(16a、16b、16c)，其从基部(14)起延伸地设置，具有第1面(17a)和与第1面(17a)相对且位于安装面(14a)侧的第2面(17b)，在第1面(17a)和第2面(17b)的法线方向上产生弯曲振动；以及层叠结构体，其设置于振动臂(16)的第1面(17a)和第2面(17b)中的至少一方上，至少具有第1电极(20)、第2电极(38)及配置在第1电极(20)与第2电极(38)之间的压电体层(28)，振动臂(16)朝向安装面(14a)侧翘曲。

公开(公告)号：CN105043371A

公开(公告)日：2015-11-11

申请号：CN201510191208.0

申请日：2015-04-21

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 泷泽照夫

IPC: G01C19/5719

CPC classification number: G01C19/574 ,  G01C19/5719

Abstract: 本发明提供一种能够使角速度的检测特性提高的角速度传感器、具备该角速度传感器的电子设备以及移动体。角速度传感器(1)的特征在于，具备：基板(10)；多个质量部(21～24)，其被配置在基板(10)上；各结合部(31～34)，其将多个质量部21～24中的相邻的各质量部亦即第一质量部(21)与第三质量部(23)、第三质量部(23)与第二质量部(22)、第二质量部(22)与第四质量部(24)、第四质量部(24)与第一质量部(21)相互结合；各驱动部(41～44)，其被配置在基板(10)上，并连接于各结合部31～34，各驱动部(41～44)经由各结合部(31～34)而分别对相邻的各质量部亦即第一质量部(21)与第三质量部(23)、第三质量部(23)与第二质量部(22)、第二质量部(22)与第四质量部(24)、第四质量部(24)与第一质量部(21)进行驱动。

公开(公告)号：CN104555891A

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201410566267.7

申请日：2014-10-21

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 泷泽照夫

IPC: B81B7/04 ,  B81C1/00

CPC classification number: B81B7/0041 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242 ,  B81C2203/0145 ,  H01L23/053 ,  H01L2224/05554 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00012

Abstract: 本发明提供一种振子、振子的制造方法、电子装置、电子设备以及移动体。所述振子具备：基体；盖体；功能元件，其被收纳于通过所述基体与所述盖体而构成的空腔内；所述盖体具有密封孔，在所述密封孔中配置有密封部件，所述密封孔在所述空腔侧具有第一开口，所述功能元件具有形成有接收开口的扩散物遮蔽部，在俯视观察时，所述第一开口与所述接收开口至少有一部分重叠。

公开(公告)号：CN103424108A

公开(公告)日：2013-12-04

申请号：CN201310175469.4

申请日：2013-05-13

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 泷泽照夫

IPC: G01C19/5607

CPC classification number: G01C19/5719 ,  G01C19/5747 ,  G01C19/5762

Abstract: 本发明提供一种能够在实现小型化的同时具有较高的检测精度的陀螺传感器。在本发明所涉及的陀螺传感器(100)中，包括：基板(10)；被配置在所述基板(10)上的第一功能元件(101)、第二功能元件(102)以及第三功能元件(103)，在第一功能元件(101)、第二功能元件(102)及第三功能元件(103)中的相邻的功能元件中，一个功能元件的振动体的振动方向、和另一个功能元件的可动体的位移方向为不同方向，一个功能元件的可动体的位移方向、和另一个功能元件的振动体的振动方向为不同方向。

公开(公告)号：CN101493394B

公开(公告)日：2011-11-30

申请号：CN200910005272.X

申请日：2009-01-22

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 泷泽照夫 ,  近藤贵幸 ,  轰原正义

IPC: G01N5/02 ,  H01L41/083 ,  H01L41/22

CPC classification number: G01N5/02 ,  Y10T29/42

Abstract: 本发明提供了一种廉价且高灵敏度的半导体传感器以及该半导体传感器的制造方法。其中，该半导体传感器包括：多层压电薄膜，层压在半导体基板上；一对电极，形成在所述多层压电薄膜中的至少上下一对的压电薄膜的界面上，用于激发表面弹性波；金属薄膜，形成在最下层的压电薄膜与所述最下层的压电薄膜正下面的薄膜的界面上，并且，促进最上层的压电薄膜的表面上的凸凹部的生成；以及感应膜，在所述最上层的压电薄膜上至少形成在所述凸凹部上，用于分子吸附。

公开(公告)号：CN118293895A

公开(公告)日：2024-07-05

申请号：CN202410403102.1

申请日：2020-07-28

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 泷泽照夫

IPC: G01C19/56

Abstract: 本发明提供了陀螺仪传感器、电子设备及移动体，陀螺仪传感器具有：基板(2)；固定部(48)，固定在基板(2)上；驱动部(40)，沿与基板(2)的主面(23)平行的X轴进行驱动；质量部(41)，与驱动部(40)连接，沿第一轴位移；检测部(45)，与质量部(41)连接，能够绕与X轴交叉的Z轴转动，并且能够通过作用于与基板(2)水平的转动运动的科里奥利力而沿Z轴位移；以及弹性部(47)，连接检测部(45)与固定部(48)，固定部(48)在俯视观察时配置在检测部(45)的重心(G)与质量部(41)之间。

公开(公告)号：CN117330057A

公开(公告)日：2024-01-02

申请号：CN202310771783.2

申请日：2023-06-28

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 泷泽照夫 ,  上野和纪 ,  后藤大树

IPC: G01C21/16

Abstract: 本发明提供惯性传感器、惯性传感器的制造方法以及惯性测量装置，可靠性高。惯性传感器具有：基板；绝缘膜，其设置于所述基板的主面；第1半导体层和第2半导体层，它们设置于所述绝缘膜的与所述基板相反侧的面；第1氧化膜，其设置于所述第1半导体层的靠所述第2半导体层侧的第1侧面；第2氧化膜，其设置于所述第2半导体层的靠所述第1半导体层侧的第2侧面；平坦化绝缘膜，其填埋于所述第1氧化膜和所述第2氧化膜的上方、以及所述第1氧化膜和所述第2氧化膜之间；以及布线，其设置在所述平坦化绝缘膜上，与所述第2半导体层电连接。