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公开(公告)号：CN117330057A
公开(公告)日：2024-01-02
申请号：CN202310771783.2
申请日：2023-06-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C21/16
Abstract: 本发明提供惯性传感器、惯性传感器的制造方法以及惯性测量装置，可靠性高。惯性传感器具有：基板；绝缘膜，其设置于所述基板的主面；第1半导体层和第2半导体层，它们设置于所述绝缘膜的与所述基板相反侧的面；第1氧化膜，其设置于所述第1半导体层的靠所述第2半导体层侧的第1侧面；第2氧化膜，其设置于所述第2半导体层的靠所述第1半导体层侧的第2侧面；平坦化绝缘膜，其填埋于所述第1氧化膜和所述第2氧化膜的上方、以及所述第1氧化膜和所述第2氧化膜之间；以及布线，其设置在所述平坦化绝缘膜上，与所述第2半导体层电连接。
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