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公开(公告)号：CN117073839A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202311103779.5
申请日：2023-08-29
Applicant: 电子科技大学长三角研究院(湖州)
IPC: G01J3/28
Abstract: 本发明属于光电技术领域，公开了一种基于图案化黑磷结构的可调谐微型红外光谱仪，基于图案化黑磷结构的可调谐微型红外光谱仪的光电探测器模块的光吸收层使用图案化黑磷、衬底使用Si衬底、金镜层使用PEC板；图案化黑磷、Si衬底、PEC板从上至下依次设置。本发明利用图案化黑磷结构实现了在中远红外波段内可调谐的光电探测器，利用可调谐特性实现小型化的光谱仪的设计，结构简单，解决了传统红外光谱仪体积大的问题，为红外光谱仪的小型化提供了一种可行的设计方法。
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公开(公告)号：CN116314392A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310177623.5
申请日：2023-02-28
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01L31/0352 , H01L31/0336 , H01L31/08 , B82Y15/00 , H01L31/18
Abstract: 本发明公开了一种多效应耦合增强的光电传感器及其制备方法，包括二硫化钼层、金纳米颗粒、玻璃基底与多个氧化锌纳米棒，所述氧化锌纳米棒直立于所述玻璃基底上，所述金纳米颗粒附着在所述氧化锌纳米棒的侧壁上，所述二硫化钼层设置在所述多个氧化锌纳米棒上，且通过分子间作用力进行与所述氧化锌纳米棒进行连接。本申请的光电传感器通过将二硫化钼层与氧化锌纳米棒高差基底复合形成一维/二维异质结构；利用光刻模板调控，使氧化锌纳米棒实现周期性阵列生长；先后采用磁控溅射和热退火工艺，在氧化锌纳米棒上实现金纳米颗粒均匀分布；纳米棒顶端的单层二硫化钼产生周期性应变效果。本发明具有制备方法简单、结构可控、均一性优、稳定性佳等优点。
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公开(公告)号：CN116183581A
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202310223601.8
申请日：2023-03-09
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于微球聚光特性的SERS基底，所述SERS基底包括玻璃基材、阵列式微结构、贵金属薄膜层和聚光微球，所述阵列式微结构由分布于所述玻璃基材表面且呈单层紧密排列的聚苯乙烯微球构成，所述贵金属薄膜层覆盖于所述阵列式微结构表面，所述聚光微球呈单层紧密排列的阵列分布于所述贵金属薄膜层的表面。本发明还提供了上述基于微球聚光特性的SERS基底的制备方法自组装SERS基底，本发明提供的自组装SERS基底具有均一性好、高灵敏度的特点。本发明制备的基于微球聚光特性的SERS基底具有良好的拉曼增强效果。
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公开(公告)号：CN111370523B
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202010183235.4
申请日：2020-03-16
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01L31/10 , H01L31/0216 , H01L31/0304 , H01L31/18
Abstract: 本发明涉及一种基于图形化铁电畴的石墨烯太赫兹波可调谐探测器，包括基底：如半导体硅(Si)或氧化物钛酸锶(STO)、底电极：如镧锶锰氧(LSMO)、铁电材料：如铁酸铋(BFO)或掺铪的氧化锆(HfZrO)、以及上层的二维材料：如石墨烯。发明提出的光电探测器，利用铁电材料不同的极化方向引起二维材料电化学势的差异，通过设计铁电畴的形状，改变铁电畴的大小，利用表面等离子共振效应，得到了一种能对光电探测器吸收波段进行调控的、大面积的二维材料的光电探测器的结构。本发明的光电探测器具有结构简单、便于集成、可在室温下工作的优点，并且还可以通过在纳米尺度下简易且精确的改变铁电畴从而对传感器的响应波段进行调控。本发明提供的光电探测器可用于中远红外以及太赫兹波段。
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公开(公告)号：CN110873707B
公开(公告)日：2022-07-26
申请号：CN201810997510.9
申请日：2018-08-29
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明属于光学领域，具体涉及一种3D表面增强型拉曼传感芯片及其制备方法。本发明所要解决的技术问题是提供一种3D表面增强型拉曼传感芯片的制备方法，包括以下步骤：a、在硅片上涂光刻胶，同时绘制光刻图案；b、通过光刻的方式将光刻图案刻在硅片表面的光刻胶上，然后显影、离子刻蚀，再去除硅片上多余的光刻胶；c、在步骤b所得硅片上溅射金层；d、将含球溶液加在步骤c所得硅片上，干燥；重复加含球溶液和干燥步骤，直至干燥后球填满孔洞；e、再在步骤d所得硅片上溅射金层，即得成品芯片。本发明方法能够增强所得芯片的拉曼增强效果。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113410317A
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN202110690461.6
申请日：2021-06-22
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01L31/0232 , H01L31/109 , H01L31/032 , H01L31/18
Abstract: 本发明涉及一种具有表面等离激元的二硒化钨/二硫化钼异质结光电探测器及其制备方法，包括ITO电极、异质结：由二维二硒化钨和二硫化钼以范德华力结合在一起以及表面等离激元：由金纳米颗粒构成。发明提出的光电探测器，利用表面等离激元对光子能量的吸收作用来增强二维二硒化钨/二硫化钼异质结的光吸收和光响应。发明提出制备方法包括通过激光直写光刻技术在异质结区域的光刻胶上精确地刻出亚微尺寸特定图形如矩形或圆形等窗口、利用移液器在窗口区域滴加纳米颗粒溶液如金纳米颗粒溶液或银纳米颗粒溶液、在震动和加热环境下将金纳米颗粒富集在矩形窗口内的方式在异质结区域上引入表面等离激元。本发明提出的具有表面等离激元的二维材料异质结光电探测器的结构及其制备方法具有新颖和简单的特点。
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公开(公告)号：CN113075189A
公开(公告)日：2021-07-06
申请号：CN202110242939.9
申请日：2021-03-05
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明属于光学领域，具体提供一种基于法诺共振的表面增强拉曼传感基底及其制备方法，用以克服现有表面增强拉曼传感基底存在的制备太复杂、成本高等问题。本发明中表面增强拉曼传感基底通过纳米球与金膜间的局域表面等离子体的共振耦合及镜面成像场效应产生不对称曲线特征的Fano共振；使用亲和素和生物素对纳米球和金膜进行化学连接，结合力强，稳定不易脱落；并且，能够通过改变纳米球的球径、纳米球与金膜的间距等参数调控Fano dip的光谱位置和强度。综上，本发明提供的表面增强拉曼传感基底具有制备简单、灵敏度高、均一性好的优点，可制备大尺寸阵列结构。
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公开(公告)号：CN111740637A
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN202010639267.0
申请日：2020-07-06
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了全向滑动能量采集器件、柔性直供电微系统及电子设备，涉及微能源技术领域，其技术方案要点是：全向能量采集单元包括滑块以及阵列分布的固定块，滑块与固定块构成独立滑动式的摩擦纳米发电机；滑块、固定块均为栅状结构，固定块包括对称的第一梳齿状栅格、第二梳齿状栅格，第一梳齿状栅格、第二梳齿状栅格均由交替设置的奇数位栅格、偶数位栅格构成，奇数位栅格、偶数位栅格分别连接正负电极；当滑块沿X轴方向滑动时，奇数位栅格与偶数位栅格构成摩擦纳米发电机的电极；当滑块沿Y轴方向滑动时，第一梳齿状栅格、第二梳齿状栅格构成摩擦纳米发电机的电极，解决现有的摩擦纳米发电机电荷转移能力弱、机械能采集效率较低的问题。
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公开(公告)号：CN107607516B
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201710811976.0
申请日：2017-09-11
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01N21/65
Abstract: 一种拉曼增强的化学传感器及其制备方法，属于检测化学分子的半导体微纳器件领域。该化学传感器包括四层结构，自下而上依次为玻璃基底、纳米小球结构层、金属层和单层石墨烯层。其中，聚苯乙烯等形成的纳米小球结构层用于形成表面阵列化结构，以加强拉曼光的散射，金属层用于实现拉曼电磁增强，单层石墨烯层在对分子吸附的同时实现化学增强；本发明拉曼增强的化学传感器同时利用贵金属实现电磁增强、单层石墨烯实现化学增强，大大增强了拉曼信号。
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公开(公告)号：CN107607516A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201710811976.0
申请日：2017-09-11
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01N21/65
Abstract: 一种拉曼增强的化学传感器及其制备方法，属于检测化学分子的半导体微纳器件领域。该化学传感器包括四层结构，自下而上依次为玻璃基底、纳米小球结构层、金属层和单层石墨烯层。其中，聚苯乙烯等形成的纳米小球结构层用于形成表面阵列化结构，以加强拉曼光的散射，金属层用于实现拉曼电磁增强，单层石墨烯层在对分子吸附的同时实现化学增强；本发明拉曼增强的化学传感器同时利用贵金属实现电磁增强、单层石墨烯实现化学增强，大大增强了拉曼信号。
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