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公开(公告)号：CN117706113A
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202311720922.5
申请日：2023-12-14
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01P15/09
Abstract: 本发明公开了一种基于兰姆波TPoS谐振器的三轴加速度计，属于微机电系统技术领域，包括形状为长方体的质量块，以及四个对称设置于质量块上表面侧方的悬臂梁结构；质量块包括衬底硅层和第一掺杂硅层；悬臂梁结构采用TPoS结构，包括第二掺杂硅层、压电薄膜和叉指换能器；悬臂梁结构的首端分别与质量块上表面的对应棱边相连，末端固定在外围支撑结构上；叉指换能器设置在悬臂梁结构的末端；叉指换能器与其下方的压电薄膜共同构成兰姆波谐振器。本发明利用四个TPoS结构的兰姆波谐振器实现三个方向的运动加速度检测，对悬臂梁结构的厚度不敏感，有助于提升灵敏度，加工制备工艺与CMOS工艺兼容，利于微型化和集成化。
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公开(公告)号：CN117638176A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311750186.8
申请日：2023-12-19
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明涉及柔性可穿戴电子设备技术领域，具体涉及一种碳纳米管基三维穿戴式生物燃料电池及其制备方法。是将生物燃料电池、反应腔框体及汗液收集层采用堆叠方式组合在一起，采用远大于生物燃料电池面积的汗液采集层，能够有效地收集更多的汗液；并通过设于中间位置的反应腔框体，能够使收集到的汗液依次经汗液导流通道、汗液传输通道高效地传输反应腔框内。配合反应腔框体内的阳极功能颗粒和阴极功能颗粒大比表面积，使器件具有了1.6mW/cm2的高输出功率密度。本发明解决了穿戴式生物燃料电池输出功率和电压低，难以直接驱动穿戴式电子设备持续稳定工作的问题。
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公开(公告)号：CN117241598A
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202311134204.X
申请日：2023-09-05
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明属于光电领域，具体为一种基于微纳结构的紫外/红外双波段可调谐探测器。其创新点在在于通过微纳结构实现了在紫外和红外两个波段均能进行探测，实现了双波段探测器小型化。主要的实现方案包括：通过将两种禁带宽度不同的材料结合在一起，从而实现双波段探测；通过改变铁电畴的剩余极化强度，即可实现石墨烯探测波段的可调谐性。相较于传统的光谱仪，此器件可同时实现两个波段的探测，这极大提高了应用场景和适用范围。
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公开(公告)号：CN117200733A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311069254.4
申请日：2023-08-24
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明属于微机电技术领域，具体为一种具有高轴向力灵敏度的压电式三音叉微机电谐振器。包括SOI基底、和集成在SOI基底上的三音叉谐振器；所述三音叉谐振器包括三音叉谐振器主体、金属电极；三根谐振梁和两个耦合梁；三根谐振梁平行连接于两个耦合梁之间，分别为第一激励梁、第二激励梁和传感梁；三根谐振梁结构相同，均有源部分和无源部分组成，通过减小无源部分宽度，配合谐振梁中激励梁的宽度为传感梁宽度的一半，使三音叉谐振器能够在不牺牲输出电流的前提下，提高其轴向力灵敏度以及非线性振动阈值电压，从而能够承受更高的输入电压，实现应用于MEMS谐振式传感器的高性能核心敏感单元的目的。
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公开(公告)号：CN117129038A
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202311105717.8
申请日：2023-08-30
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01D21/02
Abstract: 本发明公开了一种基于AlN‑on‑Si谐振器的加速度磁场复合式传感器，属于微机电领域。本发明的复合式传感器包括硅衬底，硅连接梁，金属导线回路、硅质量块和三音叉谐振器；硅质量块同三音叉谐振器直接连接，基于三音叉谐振器的谐振频率受面外力影响的特性，感应加速度的变化；硅质量块还能通过改变谐振器等效刚度的方式以提高磁场传感器的灵敏度；通过控制金属导线回路内电流的通断，可以实现硅质量块的惯性力传感和通过金属导线回路中的激励电流与外部磁场作用产生洛伦兹力的传感，从而分别测定传感器所处环境的加速度和磁场强度，实现单一传感器的多物理量复合传感。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117091732A
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202311059989.9
申请日：2023-08-22
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明涉及柔性传感器领域，具体为一种具有湿度快速恢复特性的柔性复合传感器及制备方法。该传感器的第一柔性基底上设有厚度为10μm‑20μm的超薄微型电极，第二柔性基底上设有厚度为50μm‑80μm的增厚叉指电极；增厚电极与超薄微型电极在垂直方向上重合；温度湿度敏感材料层为采用喷涂制备而成，以波浪状形貌紧密贴合在第二柔性基底上。通过通过设置的超薄微型电极进行加热，实现了湿度传感器恢复时间的减小，提高了其恢复速度。配合温度湿度敏感材料层具有波浪状形貌紧并能与第二柔性基板紧密贴合，使其在保证高灵敏度的同时，解决了现有多功能柔性复合传感器存在的湿度响应‑恢复速度慢的问题。
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公开(公告)号：CN117008732A
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN202311107161.6
申请日：2023-08-30
Applicant: 电子科技大学
IPC: G06F3/01
Abstract: 本发明涉及人机交互技术领域，具体涉及一种面向手指多维运动检测的柔性传感器及其制备方法和系统。该柔性传感器通过类等腰三角形结构基底，类等腰三角形底边呈向顶角方向微凸的凸弧形，两侧边均为中间呈内凹弧、两端呈外凸弧的蛇形边，使器件适应不规则或弯曲的表面，并具备良好的机械稳定性和耐受机械应力的能力。在制备方法上，通过在涂覆传感涂料前，对柔性基底进行拉伸，并在烘干过程中一直保持在拉伸状态，确保添加的溶剂完全挥发，提升器件的性能。在手势检测系统上，使用本发明的柔性传感器，可以对手指的运动实现不同维度的检测,即使细微的肌肉运动也能够被本发明中的柔性传感器所捕捉，因而能够实现手势运动的精确分析。
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公开(公告)号：CN116907690A
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202310773963.4
申请日：2023-06-28
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种微纳结构的薄膜传感器及其制备方法，该微纳结构的薄膜传感器包括对位设置的第一聚合物薄膜和第二聚合物薄膜，且第一聚合物薄膜一侧设置有微纳结构；第一聚合物薄膜和第二聚合物薄膜用于作为两个摩擦层；两个摩擦层相反的两侧分别设置有第一导电纤维层和第二导电纤维层，第一导电纤维层和第二导电纤维层用于作为两个电极层；两个摩擦层和两个电极层组装以形成双电极式摩擦电压力传感器；第一聚合物薄膜的材质为聚酰亚胺和/或聚对苯二甲酸乙二醇酯；本发明通过刻蚀不同聚合物材料制备出不同凹凸结构的微纳结构，或者，将聚合物材料刻蚀不同时间制备出不同深度的微纳结构，增加薄膜传感器的接触面积，提高传感灵敏度。
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公开(公告)号：CN116444842A
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202310270741.0
申请日：2023-03-20
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明属于传感器件制备领域，具体为一种基于自组装的柔性维纳导电图形薄膜制备方法及器件。包括以下步骤：提供功能性特定材料悬浮液和具有微结构的柔性基底，特定材料为纳米导电材料；分别对柔性基底和特定材料悬浮液进行疏水性处理；将疏水性处理后的特定材料悬浮液进行界面自组装，包括气‑液界面自组装或液‑液界面自组装，形成纳米材料层；将纳米材料‑水混合膜转移至柔性基底表面；使混合薄膜的液体蒸发，混合薄膜破裂，通过液膜破裂自组装形成图形化导电网络，得的柔性维纳导电图形薄膜。本发明采用自组装的方法实现导电功能层制备，并将其应用与柔性传感器中，在保证导电性的同时，提高了器件的透光度和可拉伸性。
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公开(公告)号：CN116087840A
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN202310175843.4
申请日：2023-02-28
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明属于微机电技术领域，具体为一种基于音叉式TPoS谐振器的磁场传感器。包括硅衬底，以及集成在硅衬底上的音叉式TPoS谐振器的磁场传感器；所述音叉式TPoS谐振器的磁场传感器包括金属螺旋线圈、第一频率变化单元和第二频率变化单元；第一频率变化单元包括微杠杆和三音叉式TPoS谐振器，微杠杆的一端连接金属螺旋线圈，另一端连接三音叉式TPoS谐振器；第二频率变化单元与第一频率变化单元结构尺寸完全相同，且与第一频率变化单元关于金属螺旋线圈呈中心对称。与传统的电容式谐振器相比，本发明通过设置在两个频率变化单元的音叉式TPoS谐振器，降低在封装和外部信号处理电路设计的复杂度，实现更低的制备成本。
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