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公开(公告)号：CN106590530A
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201611157145.8
申请日：2016-12-15
Applicant: 河北工业大学
CPC classification number: C09K3/1436 , C08J5/00 , C09G1/02
Abstract: 本发明涉及一种水溶性高分子包覆异型硅溶胶、制备方法及应用，该异型硅溶胶的原料重量百分比组成为：聚多元醇，0.01‑1wt%，分子量在200‑20000之间；水溶性高分子，0.01‑5wt%，分子量在10000‑500000之间；硅溶胶原料，5‑50wt%；余量为去离子水。该异型硅溶胶的物理结构为不规则异型，且由水溶性高分子包覆构成。采用该硅溶胶制成的抛光液，由于水溶性高分子（聚丙烯酰胺、聚丙烯酸钠、聚丙烯酸）的加入可在晶片表面形成保护膜，有效降低抛光过程中晶片表面的微缺陷，从而显著降低晶片表面粗糙度，同时能够保证较高的抛光去除速率。
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公开(公告)号：CN104449404B
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201410781702.8
申请日：2014-12-16
Applicant: 河北工业大学
IPC: H01L21/312
Abstract: 本发明涉及一种锗晶体化学机械抛光的抛光液及使用方法，包括粗抛液和精抛液，所述粗抛液按重量％计主要由下列原料组成：磨料粒径15?110nm、浓度≥40wt％、硬度≤7 Mohs的SiO2水溶胶磨料10?50％、氧化剂0.2?1.5％、pH调节剂0.5?2％、螯合剂0.2?1.5％、表面活性剂0.1?1％；精抛液主要有表面活性剂0.1?0.5％，余量为去离子水。选择两步抛光法进行化学机械抛光，第一步选用粗抛液，第二步选用精抛液，两步抛光在同一台抛光机上完成。有益效果：可以解决锗晶体材料化学机械抛光过程中速率低、粗糙度高、金属离子及颗粒沾污等问题。
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公开(公告)号：CN105326119A
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201510867676.5
申请日：2015-11-25
Applicant: 河北工业大学
IPC: A41D13/11
Abstract: 本发明涉及一种防雾霾过滤口罩，该发明适用于雾霾天气佩戴。本发明主要包括三部分组成：过滤部件、管道、呼吸部件。过滤部件中内置过滤网、螺旋风扇组件，通过螺旋风扇将空气吸入过滤部件，通过过滤网过滤后，将净化后的空气通过管道与呼吸部件连接，送到人体口鼻处。呼吸部件分为内外两层，内层上有均匀分布的出气口，外层由透气材料制成，两侧有与头部固定的绳、带或搭扣等。有效解决了普通人群的佩戴口罩憋闷感，以及戴眼镜人群戴口罩呼气使眼镜蒙白雾的问题。
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公开(公告)号：CN104403574A
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：CN201410776194.4
申请日：2014-12-16
Applicant: 河北工业大学
CPC classification number: C09G1/02 , B24B37/044
Abstract: 本发明涉及一种蓝宝石衬底材料的复合磨料抛光液，其特征是：其主要组成成分按重量％计，包括重量浓度2-50wt％以及粒径15-150nm的纳米SiO2水溶胶10-50％，混合磨料0.1-3％、活性剂0.1-1％，螯合剂0.5-2％，pH无机碱调节剂0.1-2％。循环使用步骤为，抛光液流量100g/min-300g/min，抛光压力0-0.2MPa，抛光转速40-60rpm，抛光温度30-40℃，当抛光速率小于等于1.5微米/小时，抛光液停止循环使用。有益效果：本发明抛光液采用复合磨料的形式，可有效提高抛光去除速率。采用抛光液循环使用的方法，即节约的成本，又提高了效率。
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公开(公告)号：CN103091277A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201210308369.X
申请日：2012-08-28
Applicant: 河北工业大学
IPC: G01N21/35
Abstract: 本发明公开了一种大尺寸单晶硅片表面有机物沾污的红外透射检测方法。本发明按照下述步骤进行：使用红外光谱仪测量直径150-300mm的大直径硅片中测试点的碳氢键和碳氧键是否存在，所述测试点为在晶圆上选取的星型分布的17个点，其中边缘点距离晶圆边缘10mm，中心点为晶圆的中心点，中间分别为边缘点与中心点之间的中点；上述任意一个测试点如果在1500cm-1-3500cm-1区域有明显吸收峰，表明存在有机沾污物，即为硅片表面有碱性抛光液的残留。本发明通过红外光谱分析仪与map300全自动大样品台相结合使用，适合于直径150-300mm的大直径薄单晶硅片表面有机物的检测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102830144A
公开(公告)日：2012-12-19
申请号：CN201210308317.2
申请日：2012-08-28
Applicant: 河北工业大学
Abstract: 本发明公开了一种用于检测铜互联线是否产生碟形坑的电路版图结构。本发明所述版图结构包括一条折弯结构的铜线和一条设置梳齿的铜线，所述梳齿设置于所述折弯空隙间；折弯结构的铜线两端分别设置两个输入或输出端头，设置梳齿的铜线的两端分别设置输入或输出端头。采用本发明结构来测量，不受线条尺寸的影响，可以方便地对整个芯片进行测量，很好地验证芯片CMP的均匀性。
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公开(公告)号：CN1325681C
公开(公告)日：2007-07-11
申请号：CN200510013360.6
申请日：2005-04-26
Applicant: 河北工业大学
Abstract: 本发明的一种陶瓷颗粒增强铝基复合材料及其制备方法，涉及一种铝基合金。它的组成是2.5～15%TiN、2.5～10%AlN、4～6.5%Si、0.5～1.5%Cu、0.3～0.5%Mg、0～0.8%Ni、0～0.5%Ti、其余为Al，其中百分数均为重量百分数；它的制备方法是采用熔体搅拌铸造法，总的工艺流程为，配料—熔化基体—加入增强颗粒—熔炼—变质处理—浇注—热处理，配料中增强颗粒尺寸在5～10μm范围内，熔化用真空炉的真空度为1.3～1.6×10-3Pa，温度在670～800℃之间，变质处理用的纳米孕育剂为用量为1～18g/Kg复合材料的含1～6%Na的纳米Al合金粉末；本发明方法所制得的陶瓷颗粒增强铝基复合材料重量轻、高模量、强度硬度高、耐热耐磨性好的综合机械性能好，制备成本低，工艺简单，可以实现产业化生产。
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公开(公告)号：CN1315540C
公开(公告)日：2007-05-16
申请号：CN200510013810.1
申请日：2005-06-14
Applicant: 河北工业大学
IPC: A61L27/06
Abstract: 本发明有生物活性涂层的钛基生物医学材料及其制备方法涉及能移植到人体内的假体材料，是一种有在钛或钛合金表面原位自生钛酸钾晶须生物活性涂层的钛基生物医学材料。其基体材料为钛、Ti-Mo、Ti-Mo-Nb、Ti-Mo-Zr-Fe、Ti-Nb-Zr、或Ti-Al-Zr-Nb-Sn系钛合金，其表面钛酸钾晶须生物活性涂层呈波纹状，散布着大小不一粒子状物，表面粗糙，具有尺寸1～3μm气孔，厚度2～8μm；其制备方法：(1)钛或钛合金基体的制备与预处理，(2)原位KDC法在钛或钛合金基体上自生钛酸钾晶须生物活性涂层。该涂层有好的生物相容性和活性，与基体界面结合强度高，制备工艺及工序简单，对设备要求较低，对环境没有污染，制备周期短，易于批量生产。
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公开(公告)号：CN119592231A
公开(公告)日：2025-03-11
申请号：CN202411920236.7
申请日：2024-12-25
IPC: C09G1/02
Abstract: 本发明为一种基于氧化铈磨料的氧化硅/氮化硅酸性抛光液及其制备方法。该抛光液使用季铵盐类化合物作为离子活性助剂，在酸性条件下通过小粒径氧化铈磨料与氨基酸、表面活性剂和离子活性助剂的共同作用，实现了对氧化硅抛光速率的提高及对氮化硅的抛光速率的抑制，并获得了较低的氧化硅/氮化硅表面粗糙度。本发明实现了氧化硅抛光速率在#imgabs0##imgabs1#以上、氮化硅抛光速率在#imgabs2#以下的同时，氧化硅和氮化硅表面均达到了低于0.1nm的表面粗糙度。
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公开(公告)号：CN118299304A
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202410601960.7
申请日：2024-05-15
Applicant: 河北工业大学
Abstract: 本发明涉及半导体加工领域，具体是一种半导体晶圆加工清洗装置，包括清洗液箱、污水箱、清洗箱和加热风机，污水箱顶部固定连接于清洗液箱底部，清洗液箱顶部固定连接与加热风机底部固定连接，加热风机顶部与清洗箱底部固定连接，清洗箱内部安装有旋转电机，旋转电机顶部固定连接有中心杆，中心杆上周向设有若干可拆卸链接的用于放置晶圆的放置架，放置架内部开有两侧窄中间宽的放置槽，放置架上开有若干通液口，中心杆内部设有LED灯，中心杆与放置架均具有透光性，清洗箱外壁为透明玻璃，LED灯输入端与控制器输出端信号连接，清洗箱顶部设有可拆卸连接的顶盖。本发明结构简单，能有效提高晶圆清洗的效率。
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