-
公开(公告)号：CN206348355U
公开(公告)日：2017-07-21
申请号：CN201621085736.4
申请日：2016-09-27
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01P15/125
CPC classification number: G01P15/125 , B81B3/0072 , G01C19/5755 , G01P1/00 , G01P2015/0814
Abstract: 本实用新型涉及MEMS传感器器件。一种提供有感测结构的MEMS传感器器件，包括：具有在水平面中延伸的上表面的衬底；悬置在衬底的上方的惯性质量；弹性耦合元件，弹性耦合元件弹性地连接到惯性质量，以便使得它们相对于衬底的惯性移动作为沿着属于水平面的感测轴的待检测量的函数；和感测电极，感测电极电容耦合到惯性质量，以便形成至少一个感测电容器，其电容值指示待检测量。微机电感测结构包括悬置结构，感测电极被刚性地耦合到悬置结构，并且惯性质量通过弹性耦合元件弹性地耦合到悬置结构；悬置结构通过弹性悬置元件被连接到相对于衬底固定的锚固结构。
-
公开(公告)号：CN221764498U
公开(公告)日：2024-09-24
申请号：CN202322957019.2
申请日：2023-11-02
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C21/16 , B81B7/00 , B81B7/02 , G01C19/5656
Abstract: 本公开涉及MEMS设备和电子设备。MEMS设备由衬底和被悬挂在该衬底上的可移动结构形成。可移动结构具有第一质量块、第二质量块以及机械地耦合在它们之间的第一弹性组。第一弹性组沿第一方向是柔顺的。第一质量块被配置为沿第一方向相对于衬底移动。MEMS设备还具有：第二弹性组，机械地耦合在衬底与可移动结构之间并沿第一方向是柔顺的；以及锚定控制结构，被固定到衬底，电容性地耦合到第二质量块，并且被配置为沿第一方向在第二质量块上施加静电力。锚定控制结构控制MEMS设备处于第一操作状态，其中第二质量块沿第一方向相对于衬底自由移动，并且控制MEMS设备处于第二操作状态，其中锚定控制结构在第二质量块上施加将第二质量块锚定到锚定结构的拉入力。
-
公开(公告)号：CN215953660U
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN202120533057.3
申请日：2021-03-15
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01P15/125
Abstract: 公开了一种MEMS惯性传感器及电子设备。MEMS惯性传感器包括支撑结构和惯性结构。惯性结构包括至少一个惯性质量块、弹性结构和止动结构。弹性结构机械地耦合到惯性质量块和支撑结构以使得当支撑结构受到平行于第一方向的加速度时，惯性质量块能够在平行于第一方向的方向上运动。止动结构相对于支撑结构固定，并且至少包括一个主止动元件和一个次止动元件。如果加速度超过第一阈值，则惯性质量块紧靠主止动元件，并且随后围绕由主止动元件限定的旋转轴旋转。如果加速度超过第二阈值，则当惯性质量块紧靠次止动元件时，惯性质量块的旋转终止。该MEMS惯性传感器能够降低发生静摩擦现象的可能性，而不导致设备的总体尺寸的增加或减小设备的全量程。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN219799494U
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202223132130.X
申请日：2022-11-24
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01P15/125
Abstract: 本公开的各实施例总体上涉及电子设备。一种微机电传感器设备具有检测结构，该检测结构包括：具有顶面的基底；悬置在基底的顶面上方并且弹性耦合到转子锚以便根据待检测量相对于基底执行惯性运动的惯性质量体；以及在相应定子锚处整体耦合到基底并且电容耦合到惯性质量体，以便响应于待检测量而生成指示待检测量的差分电容变化的定子电极。特别地，作为惯性运动，惯性质量体执行沿着正交于基底的顶面的竖直轴线的平移运动；并且定子电极以悬置方式布置在基底的顶面上方。本公开的微机电传感器设备具有改进的稳定性并且减少了其电特性相对于外部刺激(诸如热变化、机械或环境应力、或各种性质的其他外部刺激)的漂移。
-
公开(公告)号：CN212568844U
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN202021159685.1
申请日：2020-06-19
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01P15/125
Abstract: 本公开的实施例涉及MEMS惯性传感器和电子设备。一种惯性结构通过第一弹性结构弹性耦合到支撑结构，从而根据待检测量沿着感测轴线移动。惯性结构包括第一惯性质量块和第二惯性质量块，第一惯性质量块和第二惯性质量块由第二弹性结构弹性耦合在一起，以使得第二惯性质量块能够沿着感测轴线移动。第一弹性结构具有比第二弹性结构的弹性常数低的弹性常数，从而使得在存在待检测量的情况下，惯性结构在感测方向上移动，直到第一惯性质量块抵靠在停止结构为止，并且第二弹性质量还可以在感测方向上移动。一旦检测量终止，第二惯性质量块就在与感测方向相对的方向上移动，并且使第一惯性质量块从停止结构分离。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
-
公开(公告)号：CN209043927U
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201821403583.2
申请日：2018-08-29
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01P15/125 , G01P15/18
Abstract: 本申请涉及惯性传感器和MEMS器件。传感器包括：第一和第二检验质量块；第一和第二电容器，形成在第一和第二固定电极与第一检验质量块之间；第三和第四电容器，形成在第三和第四固定电极与第二检验质量块之间；驱动组件，配置为引起第一和第二检验质量块的反相振荡；偏置电路，配置为偏置第一和第三电容器以在第一时间间隔中生成振荡频率的第一变化，并偏置第二和第四电容器以在第二时间间隔中生成振荡频率的第二变化；感测组件，配置为生成差分输出信号，该差分输出信号是第一时间间隔期间的振荡频率的值与第二时间间隔期间的振荡频率的值之间的差的函数。这种差分输出信号可与外部加速度的值和方向相关。由此提供性能改善的惯性传感器和MEMS器件。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
-
公开(公告)号：CN207601108U
公开(公告)日：2018-07-10
申请号：CN201720310128.7
申请日：2017-03-27
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01P15/125
Abstract: 公开了集成MEMS加速度传感器。一种加速度传感器，具有：悬置区域(21)，该悬置区域相对于支撑结构(24)可移动；以及感测组件(37)，该感测组件耦合至该悬置区域并且被配置成用于检测该悬置区域相对于该支撑结构的移动。该悬置区域(21)具有在与各自的质心相关联的彼此不同的至少两个构型之间可变的几何形状。该悬置区域(21)由可旋转地锚定至该支撑结构(24)的第一区域(22)以及通过弹性连接元件(25)耦合至该第一区域(22)的第二区域(23)形成，该弹性连接元件被配置成用于允许该第二区域(23)相对于该第一区域(22)相对移动。驱动组件(40)耦合至该第二区域(23)，以便控制该第二区域相对于该第一区域的相对移动。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
-
公开(公告)号：CN207396529U
公开(公告)日：2018-05-22
申请号：CN201720708383.7
申请日：2017-06-16
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01P15/02
CPC classification number: G01P15/18 , G01P15/097 , G01P15/125 , G01P2015/0845 , G01P2015/0848
Abstract: 本实用新型涉及MEMS三轴加速度计和电子设备。一种MEMS三轴加速度计设置有感测结构，感应结构具有：单个惯性质量块，惯性质量块具有在由第一和第二水平轴线限定的水平平面中的主延伸部并且在内部限定了第一窗口，第一窗口沿着与水平平面正交的垂直轴线而横贯惯性质量块的整个厚度；以及悬挂结构，悬挂结构被安排在窗口内以用于将惯性质量块弹性地联接至单个锚固元件，锚固元件相对于衬底被固定并且被安排在窗口内，使得惯性质量块悬挂在衬底上方并且能够通过惯性作用执行在检测到对应的加速度分量之后在与第一、第二和第三水平轴线平行的对应感测方向上的第一、第二和第三感测移动。
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
38
records
(took 0.025 seconds)
