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公开(公告)号：CN110160471A
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201910380843.1
申请日：2019-05-08
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于几何精度检测领域，并具体公开了一种高精度直线导轨的误差测量系统及方法。该系统包括固定单元和移动单元，其中：固定单元安装在数控机床的固定平面上，包括氦氖激光器、第一分光棱镜、第二分光棱镜、偏振分光棱镜、第一1/4波片和第一四象限探测器；移动单元安装在数控机床的移动工作台上，包括角锥棱镜。本发明采用对角度较不敏感的角锥棱镜进行直线度误差测量，能够有效避免由于角度变化引入的串扰和测量误差，同时将角锥棱镜安装在轴线或近轴线上，还能够有效减少阿贝误差对测量结果的影响，从而提高直线度测量的精度，并且通过布置其他器件能够实现六自由度同步测量，将各项误差进行解耦分离，从而提高测量结果的准确度。
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公开(公告)号：CN109190642B
公开(公告)日：2019-05-31
申请号：CN201811026685.1
申请日：2018-09-04
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了利用高阶高斯回归滤波和Radon变换提取表面特征的方法，其通过缸体表面的测试数据和滤波中线得到表面粗糙度数据，对表面粗糙度数据进行Radon变化，并求得极大值点主要分布值得到沟槽中心线信息，进一步得到所有沟槽的宽度信息，从而依据获得缸体表面沟槽信息以评估缸体的加工过程，该方法利用高阶高斯回归滤波对表面形貌数据进行预处理，然后结合Radon变换的特点将其运用在了珩磨表面沟槽特征的提取上，解决沟槽密集处由于特征方向性减弱所造成的特征提取困难的问题。
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公开(公告)号：CN109186458A
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201811140267.5
申请日：2018-09-28
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种用于色散共焦峰值提取的补偿拟合差分信号方法，其通过线性最小二乘法拟合归一化的离散光谱响应信号的差分信号得到初始峰值波长，进一步得到归一化的离散光谱响应信号初始峰值波长与理想峰值波长之间的误差并对其进行一阶导数变形，求解一阶导数变形的微分方程得到拟合的归一化的离散光谱响应信号初始峰值波长与理想峰值波长X之间的误差，进一步得到归一化的离散光谱响应信号的理想峰值波长的拟合值，从而实现利用归一化的离散光谱响应信号的理想峰值波长的拟合值进行色散共焦的快速测量，以确保色散共焦的快速测量的准确性。
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公开(公告)号：CN109163673A
公开(公告)日：2019-01-08
申请号：CN201810940750.5
申请日：2018-08-17
Applicant: 华中科技大学
CPC classification number: G01B11/2441 , G01B11/30
Abstract: 本发明公开了一种多波长和相移干涉双同步的表面实时测量方法及系统，其采用干涉模块、分光相移模块及CCD成像模块，其将参考光和测量光经过分光相移模块先被分解为四路光源并同步移相0、π/2、π、3π/2，移相后的四路光源进行干涉经过CCD成像模块采集得到同步相移干涉图样，测量前对同步相移干涉图样进行参数标定，标定的参数为各通道采集到的参考光、测量光强相对于第1通道采集到的参考光、测量光强的比值和各通道引入的相移量与第1通道引入的相移量之差，利用标定的参数进一步确定被测样件的相位信息，从而得到被测样件的表面瞬时结构并提高了测量结果的准确性。
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公开(公告)号：CN106940389B
公开(公告)日：2018-06-19
申请号：CN201710065121.8
申请日：2017-02-06
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01Q40/00
Abstract: 本发明公开一种超分辨可溯源的白光干涉原子力扫描探针标定装置及其标定方法，上述的标定装置来执行标定方法，其中上述装置及方法的核心技术包括有可溯源超分辨位移计量系统，白光干涉零级条纹定位算法，原子力探针弯曲模型和标定流程；其中标定装置使探针产生形变，可溯源超分辨位移计量系统用于准确获取探针产生形变时的垂直位移，白光干涉零级条纹定位算法用于准确获取干涉条纹在探针悬臂上的位置，原子力探针弯曲模型用于拟合垂直位移与条纹位置之间的关系，标定流程为具体实施步骤。按照本发明实现的标定装置和标定方法，能够准确、快速的获取垂直位移与条纹位置之间的关系，实现白光干涉原子力探针扫描显微镜的准确测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104930981B
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201510298597.7
申请日：2015-06-03
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种原子力探针位姿调节装置,包括探针座，调节机构和连接头。其中探针座用于原子力探针的安装固定；调节机构包括由下至上的第一调节部件、第二调节部件、第三调节部件、第四调节部件以及第五调节部件，分别用于原子力探针的里外水平偏摆、左右水平、上下旋转、上下俯仰以及上下竖直位姿调节；连接头用于与原子力探针测量系统的显微物镜相连。本发明能够实现原子力探针任意姿态的细微调节，各个调节动作相互独立，互不影响，提高了探针姿态的调节精度；且能够对调节后的位姿进行锁定，使其保持稳定，进一步保证原子力探针测量系统的稳定性和精度。
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公开(公告)号：CN110440690B
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN201910697658.5
申请日：2019-07-30
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种用于单点金刚石车床直线轴误差测量的装置及方法，属于超精密加工装备精密测量领域。该装置包括标准靶阵列平板、显微相机，微特征提取程序模块和误差计算程序模块，显微相机按照预设的路径扫描标准靶阵列平板上的微特征获取微特征图像，微特征提取程序模块用于提取微特征中的圆环图案圆心位置和半径参数，误差计算程序模块用于计算出直线轴定位误差、水平直线度误差及垂直度误差中的至少一个。本发明的测量装置及方法可以实现直线轴定位误差、水平直线度误差及垂直度误差的高精度测量，具有测量范围大，实施方便与快速测量的优点。
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公开(公告)号：CN109163673B
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201810940750.5
申请日：2018-08-17
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种多波长和相移干涉双同步的表面实时测量方法及系统，其采用干涉模块、分光相移模块及CCD成像模块，其将参考光和测量光经过分光相移模块先被分解为四路光源并同步移相0、π/2、π、3π/2，移相后的四路光源进行干涉经过CCD成像模块采集得到同步相移干涉图样，测量前对同步相移干涉图样进行参数标定，标定的参数为各通道采集到的参考光、测量光强相对于第1通道采集到的参考光、测量光强的比值和各通道引入的相移量与第1通道引入的相移量之差，利用标定的参数进一步确定被测样件的相位信息，从而得到被测样件的表面瞬时结构并提高了测量结果的准确性。
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公开(公告)号：CN109909808A
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201910358530.6
申请日：2019-04-30
Applicant: 华中科技大学
IPC: B23Q17/24
Abstract: 本发明公开了一种多轴联动精密机床二维动态定位精度测量方法，激光器模块发出的激光束经过分光后分成两路，其中一路进入X轴干涉计量模块，另外一路进入Z轴干涉计量模块；X轴干涉计量模块和Z轴干涉计量模块分别位于高精度标准块相互垂直的两个方向，分别用于测量X方向和Z方向的动态位移；信号采集和处理模块用于对两个方向的信号进行同步分析，得到机床的二维动态定位精度特性。该方法基于高精度标准件与激光干涉仪，不仅能够实现多轴联动精密机床二维动态定位精度高精度测量，实现其多轴联动动态定位精度特性的表征，而且高度集成化，操作简单，具有较高的测量效率。
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公开(公告)号：CN104614558B
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201510061415.4
申请日：2015-02-05
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种面、线CCD组合的白光干涉原子力探针扫描显微镜测量系统及其测量方法，该测量系统包括面、线CCD测量系统，原子力探针扫描显微镜组件，干涉光源系统，调整系统以及数据处理系统；干涉光源系统用于产生测试的白光光源传输于原子力探针扫描显微镜组件，其产生包含样品信息的干涉条纹；数据处理系统连接所述面、线CCD测量系统，分析所述干涉条纹，由此实现干涉零级条纹的测量，从而获得样品表面信息。按照本发明实现的面、线CCD组合的白光干涉原子力探针扫描显微镜测量系统及其测量方法，能够实现结构简单，高速度，高精度和高分辨率以及直观测量，由此解决原子力探针对焦困难，以及原子力探针微悬臂变形的检测的问题。
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