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公开(公告)号：CN110687424B
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN201910956345.7
申请日：2019-10-10
Applicant: 华东光电集成器件研究所
IPC: G01R31/26
Abstract: 本发明公开一种雪崩二极管高频参数低温测试系统，包括测试腔室，测试腔室内的底部设有升降支架，升降支架顶端设有介质冷却台，介质冷却台上设有温度传感器以及用于加载待测雪崩二极管的振荡器，振荡器上方设有环形器；测试腔室的侧壁分别设有第一波导元件、第二波导元件、第一电连接器与第二电连接器；测试腔室外部设有注锁信号源、雪崩管反偏电源、功率计、高频测试环路、谐波混频检测单元、温度传感器电源、真空泵、液氮罐、程控阀门、流量计、液氮回收装置、微控制器与显示屏；本发明可有效抑制现有在雪崩二极管低温测试时传输回路出现冷凝结霜导致传输损耗增加进而影响毫米波雪崩管输出效率降低的技术缺陷，保证器件测试的准确性。
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公开(公告)号：CN112310577A
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN202011026602.6
申请日：2020-09-25
Applicant: 华东光电集成器件研究所
IPC: H01P1/04
Abstract: 本发明涉及微波元件应用及微波器件测量领域，特别涉及微波波导元件的紧固连接装置，将波两个夹片（Z1）的卡位内槽（K4）卡在两个对准配合的波导元件端面内侧，此时夹片与波导元件连接端口为面接触模式，转动手柄螺栓（Z2），其上部锥形体（K5）将两个夹片的上端部撑开，以定位螺栓（K4）为中心轴，两个夹片的下部的矩形板向内收缩，矩形板上的卡位内槽（K4）尺寸与波导元件连接端面外形尺寸相适，将两个波导元件平行夹紧。在紧固连接过程中，两个波导元件连接端口始终与两个夹片（Z1）中的卡位内槽（K4）处于面接触状态，因此波导元件连接端面在紧固过程中为均匀受力状态，在实现紧固连接的同时有效的避免了电磁泄漏的问题。
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公开(公告)号：CN105004362B
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201510375989.9
申请日：2015-06-27
Applicant: 华东光电集成器件研究所
IPC: G01D18/00
Abstract: 本发明公开一种电容式传感器静电力驱动装置，包括MCU模块、交流信号发生模块、直流偏压单元、程控放大单元、第一数据采集单元、第二数据采集单元与选择开关，程控放大单元由增益调节单元、第一仪表放大器与第二仪表放大器相连并构成增益可调的同相放大器与反相放大器；MCU模块分别控制交流信号发生模块与直流偏压单元产生交流信号与直流信号，并由增益调节单元进行增益调节；采用数据采集单元获取输入电容式传感器的双路驱动信号，并根据反馈值对同相放大器与反相放大器的输入信号进行调整修正，避免因增益过大或直流偏压不当导致的驱动信号失真现象，能够适应不同电容式传感器的要求，输出满足要求的各种静电力驱动信号，通用性强。
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公开(公告)号：CN104793057A
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201510208123.9
申请日：2015-04-28
Applicant: 华东光电集成器件研究所
IPC: G01R27/02
Abstract: 本发明公开一种加速度传感器桥臂电阻测试系统，包括MCU模块，MCU模块外围设有与其相连的计算机、矩阵开关与数据采集单元，电阻桥式加速度传感器的四个端口分别与矩阵开关相连，矩阵开关还连接有恒流源；所述测试系统还包括为数据采集单元、矩阵开关与MCU模块供电的直流稳压电源；MCU模块控制矩阵开关的通断，使恒流源通过矩阵开关对所述四个端口两两组合施加激励；数据采集单元采集电阻桥式传感器在施加激励后的反馈并发送给MCU模块；MCU模块根据反馈值得出电阻桥式加速度传感器四个端口两两之间的节点电阻值，并将节点电阻值发送给计算机；计算机根据节点电阻通过迭代法计算出每个桥臂电阻的阻值，结构简单，使用方便。
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公开(公告)号：CN103529372A
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201310506791.0
申请日：2013-10-24
Applicant: 华东光电集成器件研究所
Abstract: 本发明公开一种MEMES压阻式加速度传感器晶圆自动检验系统，包括固定连接MEMS压阻式加速度传感器晶圆(9)的探针台(8)及与探针台(8)相连的MCU模块(1)，MCU模块(1)外围设有与其相连的计算机(7)、矩阵开关电路(2)与A/D转换模块(5)；矩阵开关电路(2)外围分别连接有电流源电路(3)与信号调理电路(4)，矩阵开关电路(2)还与探针台(8)相连；所述测试装置还包括为MCU模块(1)、矩阵开关电路(2)、电流源电路(3)、信号调理电路(4)与A/D转换模块(5)供电的直流稳压电源(6)；给MEMS压阻式加速度传感器晶圆(9)施加电流源激励，通过MCU模块(1)对传感器晶圆反馈的电信号进行处理，进而将被检测传感器晶圆的性能参数在计算机上进行显示。
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公开(公告)号：CN102096036B
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：CN201010571941.2
申请日：2010-12-03
Applicant: 华东光电集成器件研究所
Abstract: 本发明涉及一种集成三极管阵列电路测试装置，集成三极管阵列电路测试装置包括：一个两层分体式结构的测试盒，下层主要分布单片机、AD转换器、继电器、模拟开关、稳压电源、恒流源、运算放大器和转接口；上层主要分布数码管、开关、选择按键、被测电路夹具、发光二极管、蜂鸣器、通用仪表接口，上下层电路通过转接口连接。测试盒是该装置的核心部分，测试盒下层板主要实现数据采集、数据处理、数据判断、接口功能；测试盒上层板主要实现信号输入输出、判断结果显示、参数测试数据显示、判断步骤显示功能。本发明装置能完成全管子、全参数的单步、自动测试，高温、低温和常温测试。
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