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公开(公告)号：CN108970657A
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201810818385.0
申请日：2018-07-24
Applicant: 北京机械设备研究所
IPC: B01L3/00
Abstract: 本发明涉及一种微流体阵列控制器的制备方法，属于微流体控制技术领域，解决了现有技术不易实现大规模微流体阵列控制的问题。本发明公开的制备方法，包括如下步骤：制备微流体控制单元，该微流体控制单元包括微流体通道器件、薄膜晶体管器件、电容；按预设需求选取电源1、电源2；将M×N个所述微流体控制单元排列成M×N阵列，并进行线路连接。本发明制备的M×N阵列只需要M+N+2条引线，且微流体控制电压只需要20V左右。本发明所述制备方法能够实现大规模的微流体阵列控制，并能够大幅度降低大规模微流体阵列控制难度，减少引线数量，为微流体控制芯片的实用化提供了新的技术途径。
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公开(公告)号：CN108889350A
公开(公告)日：2018-11-27
申请号：CN201810818393.5
申请日：2018-07-24
Applicant: 北京机械设备研究所
IPC: B01L3/00
Abstract: 本发明涉及一种微流体阵列控制器，属于微流体控制技术领域，解决了现有技术中不易实现大规模流体阵列控制的问题。本发明公开的微流体阵列控制器，包括由M×N个控制单元排列组合形成的M×N阵列、电源1和电源2，每个所述控制单元包括微流体通道器件、薄膜晶体管器件、电容。每个微流体通道器件内设置有液体，在对应的行控制信号和列控制信号的共同作用下，薄膜晶体管器件选通对应单元内的微流体通道器件，所述液体在该微流体通道器件的微通道内移动、分割、融合。本发明能够实现大规模的流体阵列控制，大幅度降低大规模微流体阵列控制难度，减少引线数量，为微流体控制芯片的实用化提供了一种新的技术途径。
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公开(公告)号：CN107795446A
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201710860539.8
申请日：2017-09-21
Applicant: 北京机械设备研究所
Abstract: 一种大功率电推进器用电极的冷却装置及冷却方法，所述装置包括制冷部，介质循环部和控制部；所述控制部根据感知的温度与设定温度的差值对制冷部进行调节和控制，所述介质循环部对电极进行冷却。现如今大功率电推进器工作过程中缺乏对电极的主动冷却保护措施，本发明的电极冷却装置改变空间惯性冷却模式，与大功率电推进器结合安装，利用低温冷却剂循环主动冷却方式，解决了原有电极因工作温度过高导致的熔断问题，有效降低大功率电推进器电极工作时的温度，有效提高了电极的使用寿命，间接延长了电推进器的工作寿命，降低其使用成本。
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公开(公告)号：CN110794172A
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201911103781.6
申请日：2019-11-13
Applicant: 北京机械设备研究所
IPC: G01Q60/24
Abstract: 本申请揭示了一种衬底上生长薄膜厚度的测量方法及装置，该方法包括将AFM探针针尖方向与待测样品上生长薄膜的表面平行；控制AFM探针在待测样品上方第一位置与待测样品的薄膜表面之间垂直往复运动，获取AFM探针的第一受力曲线和第一位移曲线；控制AFM探针在校准样品表面上方第二位置与校准样品表面之间垂直往复运动，获取AFM探针的第二受力曲线和第二位移曲线；根据第一受力曲线、第二受力曲线、第一位移曲线、第二位移曲线、校准样品的衬底厚度，计算待测样品的薄膜厚度。本申请采用AFM探针基于相同的位置基准，通过测试固定于同一表面的两种样品的探针移动距离差异，通过求差即可实现对衬底表面薄膜的厚度进行高精度的测量。
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公开(公告)号：CN109374023A
公开(公告)日：2019-02-22
申请号：CN201811250816.4
申请日：2018-10-25
Applicant: 北京机械设备研究所
IPC: G01D5/12 , H01L21/8234
Abstract: 本发明涉及一种柔性可拉伸式传感器的制备方法，属于传感器制备技术领域，解决了现有柔性可拉伸式传感器易损坏、探测结果不准确、电路设计不合理的问题。本发明公开的制备方法包括如下步骤：制备韧性基材层一；制备M×N个传感模块排列形成的M×N探测阵列，以及传输导线；制备柔性可拉伸式传感器的可拉伸部分和不可拉伸部分；将所述可拉伸部分和不可拉伸部分进行转移，贴合至事先制备的柔性基材结构上，获得柔性可拉伸式传感器。使用时，柔性可拉伸式传感器通过可拉伸部分实现宏观的拉伸功能，不影响不可拉伸部分的探测功能。通过不可拉伸部分的结构设计，能够避免传感模块在拉伸过程中发生电学性能变差，使得其读出数值稳定、可靠、灵敏度高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106385756B
公开(公告)日：2018-08-21
申请号：CN201610839230.6
申请日：2016-09-21
Applicant: 北京机械设备研究所
Abstract: 一种电弧加热式螺旋波等离子体电推进装置，包括：螺旋波等离子体激发天线、石英放电室、套筒、喷管、空心阴极和阳极；套筒是一段直圆管，一端封闭并开孔，用于连接射频功率源，另一端连接阳极；石英放电室位于套筒内，一端紧贴套筒开孔端，另一端与空心阴极连接；螺旋波等离子体激发天线缠绕，在石英放电室外表面；空心阴极位于套筒内，一端连接石英放电室，另一端伸入阳极的空腔内，与阳极形成放电电极；阳极一端与套筒相连接；阳极另一端连接喷管。本装置在现有螺旋波等离子体电推进装置中增加了阳极和空心阴极这对电极，利用其放电产生的电弧对推进工质进行二次电离和对等离子体进行加热，进一步提高推进工质的电离率和等离子体的内能。
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公开(公告)号：CN118937420A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202410837588.X
申请日：2024-06-26
Applicant: 北京机械设备研究所
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明公开了一种气体传感器及其制备方法，该方法包括如下步骤在硅基底上制备包括叉指电极和电路连接结构的气敏芯片；在所述气敏芯片上固定掩板，通过所述掩板将气敏芯片的电路连接结构遮挡并将所述叉指电极暴露；利用喷涂工艺向所述气敏芯片的局部喷涂气敏材料，借由所述掩膜板以在气敏芯片的叉指电极上形成气敏薄膜。本发明通过在静电喷涂工艺中引入掩板结构，使得在气敏芯片叉指电极上形成气敏薄膜，提升气敏薄膜成膜均匀性同时解决了保护电极过程中容易造成电极损坏的问题。并且气敏薄膜形成在气敏芯片叉指电极上，对叉指电极还能起到保护作用，避免空气中的漂浮物落入电极造成测量精确度不高，甚至造成短路等问题。
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公开(公告)号：CN116908246A
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202310674067.2
申请日：2023-06-08
Applicant: 北京机械设备研究所
Abstract: 本发明公开了基于新型的有机半导体材料的气体传感器及其制备方法，包括通过缩聚的方式制备n型半导体聚苯并咪唑苯并菲咯啉；将n型半导体聚苯并咪唑苯并菲咯啉与聚乙烯亚氨按照预定比例混合，并将混合物加入到分散剂中超声分散2‑3h得到分散液；制备叉指电极，并将叉指电极附着在基底上得到MEMS芯片；将分散液滴涂至MEMS芯片表面并进行干燥形成气敏单元。本发明气体传感器的敏感材料采用n型半导体聚苯并咪唑苯并菲咯啉和聚乙烯亚氨的复合材料，该传感器可对对二氧化氮进行痕量检测，其室温下灵敏度可比肩高温状态下金属氧化物材料，同时其响应、恢复时间大大缩短，避免了金属氧化物传感器在使用过程中需加热的情况，降低了体系的能量消耗。
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公开(公告)号：CN114996375A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210445450.6
申请日：2022-04-26
Applicant: 北京机械设备研究所
Abstract: 本公开是关于一种基于随机性增强的未知空间探寻方法、装置、电子设备以及存储介质。其中，该方法包括：预设指向终点的第一模式及保持当前运行方向的第二模式，通过终点判定步骤、运行模式判断步骤、路径查重步骤、障碍物检测步骤、方向偏置步骤、运行模式随机切换步骤使机器人具备简单易行的路径生成方式，通过引入路径生成策略的随机性，实现对未知空间的快速探寻。本公开基于随机性增强的空间探寻方法，仅需要较小的信息处理能力即可实现，且只存储有限的路径相关信息，适用于轻量化的嵌入式平台。
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公开(公告)号：CN108889350B
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN201810818393.5
申请日：2018-07-24
Applicant: 北京机械设备研究所
IPC: B01L3/00
Abstract: 本发明涉及一种微流体阵列控制器，属于微流体控制技术领域，解决了现有技术中不易实现大规模流体阵列控制的问题。本发明公开的微流体阵列控制器，包括由M×N个控制单元排列组合形成的M×N阵列、电源1和电源2，每个所述控制单元包括微流体通道器件、薄膜晶体管器件、电容。每个微流体通道器件内设置有液体，在对应的行控制信号和列控制信号的共同作用下，薄膜晶体管器件选通对应单元内的微流体通道器件，所述液体在该微流体通道器件的微通道内移动、分割、融合。本发明能够实现大规模的流体阵列控制，大幅度降低大规模微流体阵列控制难度，减少引线数量，为微流体控制芯片的实用化提供了一种新的技术途径。
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