公开(公告)号：CN104276822A

公开(公告)日：2015-01-14

申请号：CN201410333817.0

申请日：2014-07-14

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 村上俊介 ,  松田坚义 ,  大志万香菜子 ,  林润平 ,  渡边隆之 ,  田中秀典 ,  斋藤宏

IPC: C04B35/49 ,  H01L41/187

CPC classification number: H01L41/183 ,  B06B1/0644 ,  B41J2/14209 ,  B41J2/14233 ,  B41J2002/14217 ,  B41J2002/14258 ,  B41J2202/03 ,  C04B35/4682 ,  C04B2235/3203 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/3244 ,  C04B2235/3262 ,  C04B2235/3298 ,  C04B2235/3409 ,  C04B2235/3418 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/785 ,  C04B2235/786 ,  C04B2235/79 ,  H01L41/0471 ,  H01L41/0477 ,  H01L41/083 ,  H01L41/09 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1871 ,  H02N2/106 ,  H02N2/163 ,  C04B35/49 ,  C04B2235/3215

Abstract: 本发明涉及压电材料、压电元件和电子设备。提供一种在装置驱动温度范围(-30℃至50℃)内具有令人满意的压电常数和机械品质因数的无铅压电材料。所述压电材料包括含有式1所示钙钛矿型金属氧化物的主成分，由Mn组成的第一副成分，和由Bi或Bi和Li组成的第二副成分。基于100重量份金属氧化物，以金属计，Mn的含量为0.040重量份至0.500重量份。基于100重量份金属氧化物，以金属计，Bi的含量为0.042重量份至0.850重量份，和Li的含量为0.028重量份以下(包括0重量份)，(Ba1-xCax)a(Ti1-yZry)O3(1)，其中，0.030≤x

公开(公告)号：CN103326613A

公开(公告)日：2013-09-25

申请号：CN201310090979.1

申请日：2013-03-21

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 大桥海史 ,  浦上俊史 ,  伊福俊博 ,  清水康志 ,  古田达雄 ,  松田坚义 ,  久保田纯 ,  林润平

IPC: H02N2/00 ,  G02B27/00

Abstract: 本发明公开了振动装置、具有振动装置的驱动装置和光学设备。一种振动装置包括：包含具有少于1000ppm的铅含量的压电材料并具有具有电极的电气机械能量转换元件的振动体；和向电气机械能量转换元件施加至少两个驱动电压并通过向振动体提供时间相位差并产生具有相互不同的次数的多个稳定波产生组合振动的控制单元，其中，控制单元改变至少两个驱动电压的电压振幅比和时间相位差中的至少一个，以改变组合振动的振幅分布。

公开(公告)号：CN102214788A

公开(公告)日：2011-10-12

申请号：CN201110148637.1

申请日：2008-03-05

Applicant: 佳能株式会社 ,  国立大学法人东京工业大学

Inventor： 林润平 ,  松田坚义 ,  福井哲朗 ,  舟洼浩

IPC: H01L41/187 ,  H01L41/09

CPC classification number: H01L41/0973 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/319

Abstract: 本发明公开了外延膜，其包括：加热Si衬底，在该衬底的表面上设置有具有1.0nm～10nm膜厚的SiO2层；和通过使用由以下组成式(1)表示的金属靶在该SiO2层上形成由以下组成式(2)表示的外延膜：yA(1-y)B (1)，其中A为选自由包括Y和Sc的稀土元素组成的组的一种或多种元素，B为Zr，且y为0.03～0.20的数值，xA2O3-(1-x)BO2 (2)，其中A和B为分别与组成式(1)的A和B相同的元素，且x为0.010～0.035的数值。

公开(公告)号：CN101971381A

公开(公告)日：2011-02-09

申请号：CN200980109109.6

申请日：2009-03-18

Applicant: 国立大学法人山梨大学 ,  国立大学法人京都大学 ,  学校法人东京理科大学 ,  独立行政法人产业技术综合研究所 ,  国立大学法人东京工业大学 ,  佳能株式会社

Inventor： 林润平 ,  张祖依 ,  伊福俊博 ,  和田智志 ,  大和庆祐 ,  熊田伸弘 ,  东正树 ,  舟洼浩 ,  饭岛高志 ,  冈村总一郎

IPC: H01L41/187 ,  C04B35/468 ,  C04B35/475 ,  C01G29/00

CPC classification number: H01L41/187 ,  C01G23/003 ,  C01G23/006 ,  C01G29/00 ,  C01P2002/34 ,  C01P2002/76 ,  C01P2004/20 ,  C01P2004/61 ,  C01P2004/62 ,  C01P2006/42 ,  C04B35/462 ,  C04B35/4682 ,  C04B35/475 ,  C04B35/499 ,  C04B35/547 ,  C04B2235/3206 ,  C04B2235/3215 ,  C04B2235/3224 ,  C04B2235/3227 ,  C04B2235/3255 ,  C04B2235/3284 ,  C04B2235/3298

Abstract: 本发明提供包括无铅钙钛矿型复合氧化物的压电材料，该无铅钙钛矿型复合氧化物具有优异的压电特性和温度特性并且由通式(1)表示：xABO3-yA′BO3-zA″B′O3其中A为Bi元素；A′为包括La的稀土元素；B为选自Ti、Zn、Sn和Zr中的至少一种元素；A″为选自Ba、Sr和Ca中的至少一种元素；B′为选自二价、三价、五价、四价和六价元素中的至少一种元素；并且x为0.10-0.95的值，y为0-0.5的值，和z为0-0.7的值，条件是x+y+z＝1。

公开(公告)号：CN114123847A

公开(公告)日：2022-03-01

申请号：CN202111338028.2

申请日：2017-12-21

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 古田达雄 ,  渡边隆之 ,  上田未纪 ,  小山信也 ,  久保田纯 ,  松田坚义 ,  上林彰 ,  林润平 ,  西谷仁志

IPC: H02N2/00

Abstract: 本发明公开了一种由非铅基压电材料制成的振动器，其能够以低功耗在足够的速度下被驱动，尤其用于振动波电机，所述振动器包括：压电元件(101)，所述压电元件包括具有电极(1、2)的压电材料(3)；以及弹性体(5)，其中，在所述压电材料中包含的Pb组分小于1000ppm，并且振动模式A和B具有谐振频率fA和fB，其在所述弹性体中产生波前彼此相交的振动波，满足|fB‑fA|>2kHz，优选地(Ba,Ca)(Ti,Zr)O3基的矩形振动器具有两种具有垂直节线的面外弯曲模式。

公开(公告)号：CN104810471B

公开(公告)日：2018-01-16

申请号：CN201510044924.6

申请日：2015-01-29

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 林润平 ,  伊福俊博 ,  薮田久人 ,  清水康志

IPC: H01L41/187 ,  C04B35/49

CPC classification number: H01L41/1871 ,  B06B1/0644 ,  B41J2/14233 ,  B41J2202/03 ,  G02B27/0006 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1878 ,  H02N2/001 ,  H02N2/163 ,  H04N5/2171

Abstract: 本公开内容涉及压电元件、用于制造压电元件的方法和电子装置。一种压电元件包括压电材料部分。压电材料部分由包括钙钛矿型金属氧化物和Mn并且具有残留分极的压电陶瓷制成，所述钙钛矿型金属氧化物包括钛酸钡。压电材料部分具有在与压电陶瓷的残留分极方向交叉的方向上延伸的测量表面，并且，在测量表面被抛光到具有200nm或更小的表面粗糙度之后，测量表面在室温下具有1.0或更大的(002)/(200)X射线衍射强度比。压电陶瓷在室温下的c轴晶格常数c与a轴晶格常数a的比c/a满足1.004≤c/a≤1.010。测量表面在室温下的(002)衍射峰的半宽为1.2°或更小。

公开(公告)号：CN103650186B

公开(公告)日：2017-02-08

申请号：CN201280033162.4

申请日：2012-06-26

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 林润平 ,  古田达雄 ,  清水康志 ,  松田坚义 ,  斋藤宏 ,  久保田纯

IPC: H01L41/187 ,  C04B35/468

CPC classification number: H01L41/1871 ,  C04B35/4682 ,  C04B35/49 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/3215 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/3236 ,  C04B2235/3239 ,  C04B2235/3244 ,  C04B2235/3248 ,  C04B2235/3262 ,  C04B2235/449 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/72 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/786 ,  C04B2235/79

Abstract: 本发明提供无铅压电材料，其在宽运行温度范围内具有稳定、优异的压电常数和机械品质因数。该压电材料包括由(Ba1-xCax)a(Ti1-yZry)O3(其中1.00≤a≤1.01，0.155≤x≤0.300，0.041≤y≤0.069)表示的钙钛矿型金属氧化物作为主要成分，和在该钙钛矿型金属氧化物中引入的锰。相对于100重量份的该钙钛矿型金属氧化物，锰含量为0.12重量份-0.40重量份，基于金属。

公开(公告)号：CN103237774B

公开(公告)日：2016-05-11

申请号：CN201180056871.X

申请日：2011-11-18

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 松田坚义 ,  斋藤宏 ,  古田达雄 ,  林润平 ,  渡边隆之 ,  伊福俊博

IPC: H01L41/187 ,  C04B35/468

CPC classification number: C04B35/4682 ,  B08B7/02 ,  B08B7/028 ,  B41J2/14209 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1632 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1646 ,  C04B35/62655 ,  C04B2235/3201 ,  C04B2235/3203 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/3213 ,  C04B2235/3215 ,  C04B2235/3227 ,  C04B2235/3236 ,  C04B2235/3244 ,  C04B2235/3248 ,  C04B2235/3249 ,  C04B2235/3262 ,  C04B2235/3268 ,  C04B2235/3298 ,  C04B2235/449 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/549 ,  C04B2235/6562 ,  C04B2235/6565 ,  C04B2235/6567 ,  C04B2235/661 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/782 ,  C04B2235/786 ,  C04B2235/96 ,  H01L41/09 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1871 ,  H01L41/43 ,  H02N2/106 ,  H02N2/163 ,  H03H9/176

Abstract: 本发明提供具有良好的压电性能和机械强度的钛酸钡压电陶瓷和包括该陶瓷的压电元件。压电陶瓷的制造方法包括：形成含有钛酸钡颗粒的氧化物粉末组成的成型体；烧结该成型体；和烧结后使该成型体的温度降低。烧结包括(A)将该成型体的温度升高到该成型体的收缩过程的温度范围内的第一温度；(B)在(A)后将该成型体的温度升高到该成型体的液相烧结过程的温度范围内的第二温度；(C)在(B)后将该成型体的温度降低到该成型体的收缩过程的温度范围内的第三温度；和(D)在(C)后保持该第三温度。

公开(公告)号：CN103261119B

公开(公告)日：2016-01-27

申请号：CN201180060904.8

申请日：2011-12-15

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 铃木达哉 ,  塚本雅美 ,  岛田干夫 ,  伊福俊博 ,  松田坚义 ,  久保田纯 ,  林润平

IPC: H01L41/187 ,  C04B35/468

CPC classification number: H01L41/43 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1632 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1646 ,  B82Y30/00 ,  C04B35/4682 ,  C04B35/62655 ,  C04B35/62695 ,  C04B35/64 ,  C04B2235/3201 ,  C04B2235/3203 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/3213 ,  C04B2235/3222 ,  C04B2235/3227 ,  C04B2235/3232 ,  C04B2235/3236 ,  C04B2235/3244 ,  C04B2235/3262 ,  C04B2235/3267 ,  C04B2235/3287 ,  C04B2235/3293 ,  C04B2235/3298 ,  C04B2235/3418 ,  C04B2235/441 ,  C04B2235/442 ,  C04B2235/443 ,  C04B2235/449 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/5454 ,  C04B2235/6562 ,  C04B2235/6567 ,  C04B2235/761 ,  C04B2235/85 ,  H01L41/1871 ,  H02N2/106 ,  H02N2/163

Abstract: 本发明提供具有令人满意的压电性能和令人满意的机械品质因数（Qm）的钛酸钡基压电陶瓷和使用其的压电元件。具体地，提供压电陶瓷，包括：晶体颗粒；和晶体颗粒之间的晶界，其中晶体颗粒均包含具有钙钛矿型结构的钛酸钡和相对于钛酸钡、以金属计为0.04质量%-0.20质量%的锰，和晶界包含从Ba4Ti12O27和Ba6Ti17O40中选择的至少一种化合物，和使用其的压电元件。

公开(公告)号：CN102414144B

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201080018424.0

申请日：2010-04-27

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 渡边隆之 ,  林润平

IPC: H01L41/187 ,  C01G35/00 ,  C04B35/495

CPC classification number: C01G35/006 ,  C01P2002/72 ,  C01P2006/40 ,  C04B35/495 ,  C04B2235/3201 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/3215 ,  C04B2235/3217 ,  C04B2235/3232 ,  C04B2235/3239 ,  C04B2235/3244 ,  C04B2235/3251 ,  C04B2235/3255 ,  C04B2235/3258 ,  C04B2235/3272 ,  C04B2235/3275 ,  C04B2235/3298 ,  C04B2235/605 ,  C04B2235/76 ,  C04B2235/787 ,  C04B2235/80 ,  C04B2235/81 ,  H01L41/187

Abstract: 本发明提供具有钨青铜结构的化合物，其显示高居里温度、良好的抗绝缘性和机械品质系数以及优异的压电性。该化合物含有通式(1)所示的钨青铜结构氧化物：x(BaB2O6)-y(CaB2O6)-z{(Bi1/2C1/2)B2O6}(1)其中B表示Nb和Ta的至少一种；C表示Na和K的至少一种；x+y+z＝1；x满足0.2≤x≤0.85；y满足0≤y≤0.5；和z满足0＜z≤0.8。