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公开(公告)号:CN1292260C
公开(公告)日:2006-12-27
申请号:CN01801478.X
申请日:2001-06-13
Applicant: OHT株式会社
CPC classification number: G01R31/312 , G01R31/2805 , G01R31/2812 , G01R31/304 , H01L22/12 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种在将检查信号供给到电路配线时,不需要与该电路配线接触的端子,而连无法以肉眼辨识的微细缺陷也会检测出的检查装置及检查方法。用来检查电路基板100的电路配线的检查装置A,是由:配置在电路基板100的其中一面而被供给检查信号的导电构件1、将检查信号供给到导电构件1的信号源2、具有面向导电构件1而被配置在电路基板100另一面的多个单元3a的感测单元3、以及通过将检查信号供给到导电构件1,而取得在各单元3a所出现信号的计算机5所构成。
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公开(公告)号:CN1263996C
公开(公告)日:2006-07-12
申请号:CN02810544.3
申请日:2002-05-23
Applicant: OHT株式会社
CPC classification number: G01B7/003
Abstract: 本发明提供用非接触的简单的结构,可准确地检测出基板位置偏差的基板位置偏差检测装置和基板位置偏差检测方法。通过向基板表面配设的导电图形供电的供电部(3),向基板(20)表面的导电图形(25)提供交流信号,让基板(20)沿箭头A方向移动,从基板位置偏差传感器(1)、(2)的交流信号的检测信号的输出电平正好在中间电平时的时间差和基板输送速度,检测出基板的位置偏差程度。
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公开(公告)号:CN1751220A
公开(公告)日:2006-03-22
申请号:CN200480004426.9
申请日:2004-02-27
Applicant: OHT株式会社
IPC: G01B7/00
CPC classification number: G01B7/287
Abstract: 本发明的导体位置检查装置,是在检查对象为导体的情况时,可在非接触情况下,较高精度地检测出检查对象等到底在哪一位置。从供电部(5 10)对施加有交流信号的导电体(520)提供交流检查信号,在导电体(520)附近大致平行配设2片感测板(570、580),将各个感测板所产生的检测信号,利用减法器(550)进行减计,并利用除法器(560)将其中一感测板所产生的检测值除以减计结果,而将其中一感测板所产生检测值予以规格化,并检测出由二感测板所产生相对检测信号值比率,将感测板与导电体(520)间的距离所对应的检测结果当作X而获得。
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公开(公告)号:CN1720457A
公开(公告)日:2006-01-11
申请号:CN200380104616.3
申请日:2003-11-28
Applicant: OHT株式会社
IPC: G01R31/02
CPC classification number: G01R31/2808
Abstract: 本发明的目的在于,提供可确实且容易检测电路基板的不良的电路检查装置。作为解决问题的手段,本发明是在至少端部被配设为行状且基部相互连接的两组梳齿状导电图案的一端(15a)供给交流检查信号,并将另一端(15b)接地,检查以相互的行状导电图案部变得互异的方式配设而成的电路基板(10)的导电性图案的状态的电路图案检查装置,其特征在于:具备两个检测机构(20、30),具有检测来自上述梳齿状导电图案(15a、15b)的信号的检测电极;并在与相互相同的上述行状导电图案成为电容耦合状态进行定位的状态,以横过行状导电图案的方式而利用标量机器人(80)使检测机构(20、30)移动,以上述两检测机构(20、30)的检测电位为基础可辨识行状图案部是否完好。
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公开(公告)号:CN1216295C
公开(公告)日:2005-08-24
申请号:CN01800308.7
申请日:2001-03-23
Applicant: OHT株式会社
CPC classification number: G01R31/302 , G01R31/304 , G01R31/312
Abstract: 本发明提供了一种可以借助直感获得回路配线检测结果的检测装置和检测方法。检测系统20,具有配置着多个传感元件的传感器芯片1,电子计算机21,向回路配线101供给检测信号的电极触头22,对供给至电极触头22处的检测信号实施切换的选择部件23。电子计算机21可以对由传感器芯片1给出的检测信号实施接收,生成图象数据,进而可以将作为检测对象的回路配线图象显示在显示部件21a上。采用这种构成形式,便可以对特定回路配线的形状实施分析,并且可以依据所生成的图象数据和表示设计上的回路配线的图象数据,对回路配线101中出现的断线、短路、脱落等等故障实施检测。
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公开(公告)号:CN100395554C
公开(公告)日:2008-06-18
申请号:CN01800044.4
申请日:2001-02-09
Applicant: OHT株式会社
IPC: G01R31/02 , G01R31/302
CPC classification number: G01R31/312
Abstract: 本发明提供了一种按照完全非接触检测方式,对导电图形实施检测的检测装置、检测方法和检测组件。所述对回路基板上的导电图形实施非接触式检测用的检测方法,是将若干个具有导电性的单元,按照相互隔离方式沿着回路基板上的所述导电图形实施配置,并且可以通过向至少一个所述单元供给随时间变化的检测信号,不使用引线销针而对导电图形实施检测信号的供给,通过供给检测信号,借助导电图形,测出出现在其它所述单元处的输出信号,依据测出的所述输出信号,对所述导电图形实施检测。
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公开(公告)号:CN101163392A
公开(公告)日:2008-04-16
申请号:CN200710180984.6
申请日:2007-10-10
Applicant: OHT株式会社
IPC: H05K13/02
Abstract: 在现有的搬运带载体的搬运机构中,无论是采用穿孔的搬运机构、采用滚轮对进行夹持搬运的手柄式滚轮搬运机构、还是夹住带的里外面进行搬运的夹板机构,都会对带表面产生损伤。本发明提供一种基板检测器的搬运机构,滑动搬运部6A、6B中的吸附垫25、30交互地吸附保持在带状基板5的里面,并从搬运方向的上游向下游移动;通过进行该连续的交互往复移动,使带状基板5在搬运方向上从上游侧向下游侧移动。
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公开(公告)号:CN100368762C
公开(公告)日:2008-02-13
申请号:CN200480004385.3
申请日:2004-02-27
Applicant: OHT株式会社
CPC classification number: G01B7/28
Abstract: 本发明的导电体状态检查装置,是在检查对象为导体的情况时,可依非接触且高精度地检测出检查对象的状态。在经从供电部供电着检查信号的检查对象导电体(520)附近,大致平行配设2片感测板(570、580),利用感测板(570)的测定电平,检查相对向于感测板(570)的导电标志份形状,同时,将感测板(570、580)所产生的检测信号利用减法器(550)进行减法运算,并利用除法器(560)将其中一感测板所产生的检测值除以减法运算结果,而将其中一感测板所产生的检测值予以规格化,并检测出由二感测板所产生的相对检测信号值比率,将感测板与导电体(520)间的距离所对应的检测结果当作X而获得。
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公开(公告)号:CN101107535A
公开(公告)日:2008-01-16
申请号:CN200680002731.3
申请日:2006-01-18
Applicant: OHT株式会社
IPC: G01R31/02
CPC classification number: G01R31/2812 , G01R31/025
Abstract: 本发明提供可以检测衬底上的导电图案的断路状态的电路图案检查装置及其方法。在导电图案的一方端部配置供电部12,以非接触的方式提供检查信号,在该导电图案的另外一方端部配置断路传感器13,用来以非接触的方式检测检查信号。另外,在离开该导电图案多个图案的距离的导电图案,在配置有断路传感器13的同一侧的端,以非接触状态配置噪声传感器19。将断路传感器13检测到的检查信号和噪声混合的信号,和噪声传感器检测到的未与检查信号混合的噪声的信号输入到差动放大器20,用来除去同相成分的信号的噪声,藉以排除噪声的影响,可以以非接触的方式准确检查被配置在衬底上行状的导电图案是否良好。
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公开(公告)号:CN1229651C
公开(公告)日:2005-11-30
申请号:CN01803772.0
申请日:2001-11-15
Applicant: OHT株式会社
IPC: G01R31/28 , G01R31/304 , G01R1/02
CPC classification number: G09G3/006
Abstract: 本发明提供一种能快速检查电路基板的检查装置及检查方法。作为被检查对象的LCD驱动模块(100),载置有LCD驱动用的LSI(110),电路布线(111)连接于SEG端子,电路布线(112)连接于LSI(110)的COM端子。检查装置1向LSI(110)的输入端子(113)中输出LSI驱动信号。传感器(2、3)以非接触方式分别配置在与电路布线(111、112)相对向的位置上,通过驱动LSI(110),检测电路布线(111、112)上所产生的电位变化,用检查装置(1)分析该检测信号。
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