一种基于猫眼反射原理的干涉微位移测量系统

    公开(公告)号:CN103105134B

    公开(公告)日:2015-05-27

    申请号:CN201310005758.X

    申请日:2013-01-08

    Abstract: 本发明涉及一种基于猫眼反射原理的干涉微位移测量系统,属于几何量计量技术领域。其特征是将猫眼反射原理用于干涉法微位移测量,提出猫眼反射镜引入的位移测量误差修正数学模型,并采用平衡式双光程光学系统结构以提高系统的抗干扰能力。本发明的误差修正方法可以将猫眼反射镜引入的测量误差减小到纳米量级。本系统硬件由稳频激光光源、偏振分光镜、透镜-反射镜式猫眼反射镜、角锥棱镜、波片、偏振片、必要的反射镜和直角棱镜、以及光电接收器等组成。本系统具有测量分辨力高、抗干扰能力强、可实现非接触测量等特点,可用于解决无法使用角锥棱镜的情况下的微位移干涉测量问题,在微位移、微振动、热膨胀系数等测量方面有重要的推广应用价值。

    一种正弦波局域失真的测量方法

    公开(公告)号:CN102662108B

    公开(公告)日:2014-06-18

    申请号:CN201210149969.6

    申请日:2012-05-14

    Abstract: 本发明涉及一种正弦波局域失真的测量方法及装置,属于信号测量与数据处理技术领域。通过细分正弦波形局域失真,提出局域共模失真、局域差模失真和局域总失真的测量方法,可以深入揭示正弦波形失真的局域相变特征。本发明可以在任意选定的局域区间宽度下,以虚拟仪器方式计算分析获得实际正弦波形的时域或相位空间域内的失真分布状况,并对失真极大值点进行时域或相位空间定位,以便深入揭示正弦波失真的相变特性。

    光纤式同步可调谐面振动测量系统

    公开(公告)号:CN103292891A

    公开(公告)日:2013-09-11

    申请号:CN201310257681.5

    申请日:2013-06-26

    Abstract: 本发明涉及一种光纤式同步可调谐面振动测量系统,属于面振动参数精密测量技术领域。系统由可控式光纤式激光源阵列及控制模块,光频调制单元,光学干涉单元,集束光同步调谐控制单元,干涉信号解调模块,控制及信息输出单元组成;测量系统采用集束光纤作为测量光源,利用外差干涉的原理,采用了集束光同步调谐控制单元,通过分束、集束实现面振动的同步可调谐测量。本发明采用了集束光纤、面振动分束测量结构,使测量系统紧凑方便,易于操作与控制,实现面振动的同步快速精准测量与评价,具有较好的应用推广价值。

    一种适用于低速平稳运行的压电陶瓷直线马达

    公开(公告)号:CN103166499A

    公开(公告)日:2013-06-19

    申请号:CN201110421730.5

    申请日:2011-12-16

    Abstract: 本发明涉及一种适用于低速平稳运行的压电陶瓷直线马达,是对运动执行结构的改进。其连接关系为:前压电陶瓷微位移驱动器与后压电陶瓷微位移驱动器通过输出支点连接;前压电陶瓷微位移驱动器的另一端连接前支点,后压电陶瓷微位移驱动器的另一端连接后支点;其中,前支点与后支点的连接关系为:压电陶瓷微位移驱动器上下各与一个陶瓷端部相连接;本发明模仿人汲水的运动过程,通过前后两个支点将两个压电陶瓷微位移驱动器的运动进行叠加,使整个压电陶瓷直线马达保留了压电陶瓷微位移驱动器的高运动分辨率、可超低速运行的优点,同时扩展了其运动范围,使其运动范围只受U型导轨的长度尺寸的限制;则本发明能够实现大范围的低速平稳运行。

    一种复合式全息激光纳米形貌测量传感器

    公开(公告)号:CN102155922B

    公开(公告)日:2012-06-27

    申请号:CN201110053548.9

    申请日:2011-03-07

    Abstract: 本发明涉及一种复合式全息激光纳米形貌测量传感器,属于纳米形貌测量技术领域。由全息激光读数头1、全息激光读数头2、光学组件、显微光学物镜头、测量样板、电气测量系统、CCD摄像机和监视系统组成,其中光学组件实现光线的滤波、准直与分光,包括光学透镜组1、光学透镜组2、调节透镜1、调节透镜2、调节透镜3、分光镜1和分光镜2。本传感器结构简单、关键部件价格低廉,以全息激光元件为核心,提出复合式全息激光纳米形貌测量传感器设计结构,将测量范围提升与测量精度的保持有机地结合起来,可以有效地利用该传感器配合测量系统提升系统测量的自动控制水平,同时本传感器具有视频监视功能,可以满足多种场合的现场需要。

    一种用于多路正弦波信号的相位差同步测量装置及方法

    公开(公告)号:CN102253284A

    公开(公告)日:2011-11-23

    申请号:CN201110096283.0

    申请日:2011-04-18

    Abstract: 本发明涉及一种用于多路正弦波信号的相位差同步测量装置及方法,属于电子测量技术领域。装置包括两个或者两个以上的信号调理电路、两个或者两个以上的模数转换电路、两个或者两个以上的数据寄存器,以及共用逻辑控制电路、接口电路、计算机、人机接口电路和时钟电路,被测对象为两路或者两路以上正弦波信号的相位差,其中信号调理电路、模数转换电路和数据寄存器的数量相同,并分别一一对应配套使用。采用本发明的装置及方法实现多路正弦波信号的相位差同步测量,其相位分辨力高、波形稳定、多路相位同步性好,避免了传统相位测量方法的采样时钟抖动、通道同步误差、通道相位延迟稳定性、幅度噪声等误差影响因素。

    一种光频调制器调制延迟的数字化测量方法及装置

    公开(公告)号:CN106124032B

    公开(公告)日:2021-11-30

    申请号:CN201610724499.X

    申请日:2016-08-25

    Abstract: 本发明涉及一种光频调制器调制延迟的数字化测量方法及装置,属于光电测量技术领域。该装置包括稳频激光器、偏振片、λ/2波片、分光镜、移频器、反射镜、被测光频调制器、调制信号源、反射镜、半透半反镜、偏振片11、光电探测器、数字示波器、电子计算机。被测对象为光频调制器的激励控制信号和调控后的光频信号两者之间的延迟时间;使用外差式激光干涉测量装置获得光频调制器的激光频率调控信号波形,并将光信号转变成电信号。该方法可获得良好的收敛性,具有较高的测量准确度,并对载波非平稳且幅度包络变化剧烈的情况具有良好的自适应性。

    干涉差动位移法微小力控制系统

    公开(公告)号:CN109917828B

    公开(公告)日:2021-10-15

    申请号:CN201910297225.0

    申请日:2019-04-15

    Abstract: 本发明公开的干涉差动位移法微小力控制系统,属于精密测量技术领域。本发明主要由控制及信息输出模块、光学测量模块、微小力发生模块组成。控制及信息输出模块用于测量光学测量信号,微小力发生、解算、控制及信号的外部通讯。光学测量模块用于将测量值及计算控制值与微小力值建立相互的对应关系,综合计算输出微小力的数据。微小力发生模块利用静电力方法,采用梳齿结构提高静电力获得微小力值的分辨能力和范围。本发明能够在微小力值的多种环境条件,通过干涉方法准确微小力值发生的位移变化进而确定微小力值的大小。本发明具有较高适应性和准确性,结构紧凑。和量值度量。

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