光束偏摆自动补偿装置以及激光干涉仪

    公开(公告)号:CN114166113B

    公开(公告)日:2024-03-01

    申请号:CN202111460690.5

    申请日:2021-12-02

    Abstract: 本发明提供一种光束偏摆自动补偿装置以及激光干涉仪,其中光束偏摆自动补偿装置,用于激光干涉仪,包括物镜、前补偿镜、光栏和后补偿镜,来自偏摆目标的偏转光束依次经所述物镜、所述前补偿镜、所述光栏和所述后补偿镜入射到所述激光干涉仪的光电接收器;所述物镜用于对来自偏摆目标的偏转光束进行会聚;所述前补偿镜用于对所述物镜的出射光束进行二次会聚,所述前补偿镜的焦距小于所述前补偿镜与所述物镜的间距;所述光栏用于控制出射光束在所述后补偿镜的入射光瞳;所述后补偿镜用于控制出射光束入射到所述光电接收器的光斑尺寸,所述后补偿镜的焦距小于所述前补偿镜的焦距。本发明能够补偿因被测目标转动导致的光束偏摆。

    光束偏摆自动补偿装置以及激光干涉仪

    公开(公告)号:CN114166113A

    公开(公告)日:2022-03-11

    申请号:CN202111460690.5

    申请日:2021-12-02

    Abstract: 本发明提供一种光束偏摆自动补偿装置以及激光干涉仪,其中光束偏摆自动补偿装置,用于激光干涉仪,包括物镜、前补偿镜、光栏和后补偿镜,来自偏摆目标的偏转光束依次经所述物镜、所述前补偿镜、所述光栏和所述后补偿镜入射到所述激光干涉仪的光电接收器;所述物镜用于对来自偏摆目标的偏转光束进行会聚;所述前补偿镜用于对所述物镜的出射光束进行二次会聚,所述前补偿镜的焦距小于所述前补偿镜与所述物镜的间距;所述光栏用于控制出射光束在所述后补偿镜的入射光瞳;所述后补偿镜用于控制出射光束入射到所述光电接收器的光斑尺寸,所述后补偿镜的焦距小于所述前补偿镜的焦距。本发明能够补偿因被测目标转动导致的光束偏摆。

    光学平衡法微纳运动系统姿态控制装置

    公开(公告)号:CN109947141B

    公开(公告)日:2021-11-30

    申请号:CN201910297212.3

    申请日:2019-04-15

    Abstract: 本发明公开的光学平衡法微纳运动系统姿态控制装置,属于几何量精密测量技术领域。本发明主要由控制系统模块、光学测量模块、光电解调模块、执行机构模块组成。采用光能量及局部干涉调制的频率信息来判定位置的准确信息,所述位置信息用于微纳运动系统的运动中的姿态控制。测量信号中光能量用来保证测量信号的有效区域确定,干涉调制的频率信息用来判断测量区域内的平衡点位置,最终在控制系统模块中运算并驱动执行机构保证微纳运动系统在工作中运动姿态稳定可控。本发明能够克服通常运动系统姿态测量灵敏度低、存在测量漂移等问题,结构相对简单,利于提高运动系统的集成和便携性能,其测量效率高,分辨力好,利于提高姿态控制的实时性和准确性。

    一种高稳定性四光程激光干涉测量系统

    公开(公告)号:CN110174054B

    公开(公告)日:2020-12-11

    申请号:CN201910479875.7

    申请日:2019-06-04

    Abstract: 本发明公开的一种高稳定性四光程激光干涉测量系统,属于几何量计量技术领域。本发明主要包括稳频激光器、第一λ/2波片、小偏振分光镜、直角棱镜、第二λ/2波片、第一大偏振分光镜、第一λ/4波片、试样、第二λ/4波片、第二大偏振分光镜、大角锥棱镜、第一平面反射镜、第二平面反射镜、小角锥棱镜、偏振片和光电接收器。光束在干涉仪的测量臂中往返四次,使测量系统的光学分辨力由通常单光程干涉测量系统的λ/2提高到λ/8,同时,所述测量系统还具有准共光路式光学系统结构,即测量光束与参考光束的传播路径相似,光程差主要由被测试样的长度引起,因此,测量系统具有良好的抗干扰能力。本发明能够用于低膨胀材料线膨胀系数测量等微小尺寸变化的高精度测量。

    一种基于双光梳和单光子计数的光谱测量系统及方法

    公开(公告)号:CN119880828A

    公开(公告)日:2025-04-25

    申请号:CN202411763833.3

    申请日:2024-12-03

    Abstract: 一种基于双光梳和单光子计数的光谱测量系统及方法,属于光学精密测量领域。本发明的光谱测量系统,包括两台具有微小重频差的第一光频梳和第二光频梳、第一分束器、第二分束器、第一合束器、第二合束器、同轴收发系统、单光子探测器、单光子计数器、光电探测器和数据采集处理模块。本发明利用双光梳技术通过光学异步采样获得测量光和参考光两路时域放大干涉信号,其中测量光用于气体光谱探测,参考光同时作为参考光谱和单光子计数器计时开始信号,通过单光子探测器和单光子计数器实现远距离非合作目标气体光谱测量,获得测量光路放大后的时域干涉信号,利用傅里叶变换提取被测气体吸收光谱信息,进而实现远距离非合作目标高精度光谱测量。

    一种激光测振仪串联往复式光频调制校准方法及装置

    公开(公告)号:CN119595081A

    公开(公告)日:2025-03-11

    申请号:CN202411528795.3

    申请日:2024-10-30

    Abstract: 一种激光测振仪串联往复式光频调制校准方法及装置,属于光电测量领域。校准装置主要由被校激光测振仪、第一声光调制器、第二声光调制器、透镜、第一正弦信号源、第二正弦信号源、FM信号源、平面反射镜组成。针对激光测振仪发出的激光信号,利用光路的可逆性特性,使用“一”字型光路结构,以同一组光学器件的二次光频调制方式结合二次光频平移实现激光测振仪的输出频率平移和调制控制,模拟不同振动波形量值造成的激光多普勒效应,将调制后的激光完全原路径返回给被校准的激光测振仪,达到以频率量值的变化波形替代振动速度量值的变化波形,实现激光测振仪的校准。本发明具有便携、宽频率范围、宽幅度范围校准、精度高和稳定性好的优点。

    应用干涉法支撑梁的材料弹性模量测量系统

    公开(公告)号:CN110132898B

    公开(公告)日:2021-12-28

    申请号:CN201910494584.5

    申请日:2019-06-10

    Abstract: 本发明公开的应用干涉法支撑梁的材料弹性模量测量系统,属于光电测量技术领域。本发明主要由光学测量模块、测量解调模块、数据计算模块、控制处理模块组成。光学测量模块包括准直光源、第一分光棱镜、参考调制器、光学收敛器、第二分光棱镜、第一光电转换器、第二光电转换器、相位调制器;测量解调模块包括刀口天平、刀口支撑、力加载器、支撑梁、支撑梁加载结构。本发明将计量学中力值和位移的量值复现技术应用到测量工作,能够实时测量加载力和变形的位移尺寸原位,提高材料弹性模量测量准确度,具有较好的通用性和测量实时性优点。本发明对材料的其它物理属性要求低,利用实验室环境能够实现材料弹性模量的测量,并获得结构变化的过程数据。

    一种低膨胀材料线膨胀系数测量装置及方法

    公开(公告)号:CN111537552A

    公开(公告)日:2020-08-14

    申请号:CN202010588332.1

    申请日:2020-06-24

    Abstract: 本发明的一种低膨胀材料线膨胀系数测量装置及方法,属于测量技术领域。本发明采用法布里-珀罗干涉仪测量试样的长度,利于提高测量准确性。本发明采用声光调制器产生附加光频移动,利用由同一套稳频激光器、高速光电接收器和频率计数器组成的频率测量系统能够完成对法布里-珀罗干涉仪两个相邻谐振峰的频率测量,在不显著增加系统成本情况下,实现测量试样长度。本发明能够对不同温度下的试样长度进行绝对测量,突破通常法布里-珀罗干涉仪测量范围小的局限,且不需要干涉测长系统连续工作,操作方便。综上,本发明具有测量准确度高、测量范围大、干涉系统结构简单且不需要长时间连续工作等优点,在低膨胀材料线膨胀系数测量方面有重要应用价值。

    敲击冲击力值传递测量装置及应用

    公开(公告)号:CN110207873A

    公开(公告)日:2019-09-06

    申请号:CN201910592526.6

    申请日:2019-07-03

    Abstract: 本发明公开的敲击冲击力值传递测量装置及方法,属于力学量精密测量技术领域。本发明主要由驱动执行模块、速度测量模块、力值测量模块、控制及信息处理模块组成。本发明采用质量悬摆的结构实现不同冲击力值的发生,模拟敲击冲击力值发生,利用激光测试仪确定冲击物质波的传递过程,采用两支力值传感器同步记录施力值和最终的受力值的力值量值及相互关系,利用冲击力值的传递关系,完成敲击施力过程中力值传递关系的测量。本发明能够应用于下述领域:(1)根据需要,实施人通过实验与测量验证能够满足日常敲击工作和敲击技能提升时的应用;(2)口腔颌骨敲击教学培训过程中,对口腔颌骨敲击力度的控制与测量。

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