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公开(公告)号：CN110174054B
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN201910479875.7
申请日：2019-06-04
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
Abstract: 本发明公开的一种高稳定性四光程激光干涉测量系统，属于几何量计量技术领域。本发明主要包括稳频激光器、第一λ/2波片、小偏振分光镜、直角棱镜、第二λ/2波片、第一大偏振分光镜、第一λ/4波片、试样、第二λ/4波片、第二大偏振分光镜、大角锥棱镜、第一平面反射镜、第二平面反射镜、小角锥棱镜、偏振片和光电接收器。光束在干涉仪的测量臂中往返四次，使测量系统的光学分辨力由通常单光程干涉测量系统的λ/2提高到λ/8，同时，所述测量系统还具有准共光路式光学系统结构，即测量光束与参考光束的传播路径相似，光程差主要由被测试样的长度引起，因此，测量系统具有良好的抗干扰能力。本发明能够用于低膨胀材料线膨胀系数测量等微小尺寸变化的高精度测量。
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公开(公告)号：CN103166500A
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN201110421723.5
申请日：2011-12-16
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: H02N2/06
Abstract: 本发明涉及一种基于仿生原理的二维精密运动驱动机构，属于几何量计量技术领域。其连接关系为：X向压电陶瓷微位移驱动器与Y向压电陶瓷微位移驱动器通过连接支点连接；X向压电陶瓷微位移驱动器与Y向压电陶瓷微位移驱动器的伸缩方向相互垂直，分别负责X向和Y向的运动；X向压电陶瓷微位移驱动器的另一端与前吸盘连接，Y向压电陶瓷微位移驱动器的另一端与后吸盘连接；运动输出支点固连在后吸盘上；其中，所述磁性吸盘的连接关系为：在吸盘磁路中布置永久磁铁及电磁线圈，电磁线圈缠绕在永久磁铁周围；本发明通过前后两个吸盘将X向压电陶瓷微位移驱动器、Y向压电陶瓷微位移驱动器的运动进行矢量叠加，实现了大范围的二维精确运动。
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公开(公告)号：CN102176139A
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN201110058421.6
申请日：2011-03-11
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: G05B19/414
Abstract: 本发明涉及一种多轴同步运行控制系统，属于几何量计量技术领域。包括光电角度编码器信号处理电路、限位零位信号接收电路、数字信号处理器、USB通信接口电路、控制输出继电器和控制输出电路，其外围设备为多轴支撑的一维变姿态精密运动平台。本发明的一种多轴同步运动控制系统，通过与一维变姿态精密运动平台配合，实现了工作台的高精度、大范围运行，并能够根据指令调整工作台的空间姿态，使运动平台具有几十毫米的平动范围、纳米级的运动分辨率、并具有空间滚动姿态调整功能，具备秒级的姿态调整精度；本发明可以控制一维变姿态精密运动平台恢复到一个事先设定的“零姿态”；解决了上电过程中控制输出电路的输出失控问题。
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公开(公告)号：CN105334611A
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201510689245.4
申请日：2015-10-21
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种用于二维光电显微镜的H形狭缝，属于精密测量领域，涉及对精密测量装备的改进。H形狭缝由光学玻璃加工而成，遮光区域由不透光材料在光学玻璃上蒸镀形成，通光区域则是将蒸镀材料去除后得到。通光区域由处于同一直线的2个宽度相同的长方形通光孔组成；并且2个长方形通光孔之间的间距大于长方形通光孔的宽度。本发明提出的一种用于二维光电显微镜的H形狭缝的优点是可以屏蔽二维线纹刻线交叉点附近的制造瑕疵对测量结果的干扰，从而提高二维线纹测量精度。
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公开(公告)号：CN108279509B
公开(公告)日：2020-04-24
申请号：CN201810076304.4
申请日：2018-01-26
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种快速调整法布里‑珀罗干涉仪的方法及装置，属于光学技术领域。在组成平凹腔法布里‑珀罗干涉仪的平面反射镜边缘加工一部分未镀反射膜区域，以解决因为法布里‑珀罗腔透射率低所造成的调整过程中反射光斑和干涉条纹不易观察的问题，通过引入一块过渡参考镜，使其分别与凹面反射镜和平面反射镜相对准，实现了平凹腔法布里‑珀罗干涉仪两块反射镜的对准调整。本发明装置由激光器、聚光镜、光阑、准直镜、分光镜、透镜、观察屏、平面反射镜、过渡参考镜和凹面反射镜组成，本发明方法能够提高平凹腔法布里‑珀罗干涉仪的调整精度和调整速度，在应用法布里‑珀罗干涉仪的精密测量系统装调中有实用价值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103676969A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310591326.1
申请日：2013-11-20
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: G05D3/12
Abstract: 本发明涉及一种利用自身电容变化作为位移反溃的压电陶瓷致动器，属于精密运动控制领域。本发明包括压电陶瓷微位移致动器、驱动模块、位移指令输出模块、电容信号采集模块、闭环控制模块。本发明利用压电陶瓷微位移致动器本身的电容变化作为监测驱动元件的位移变化，使驱动元件与位移反馈元件集于一体，规避了传统技术必须增加外置位移传感器的技术壁垒，在简化了机构复杂度的同时，还解决了由于需要接触安装传感器产生致动器安全性差的技术难点。
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公开(公告)号：CN103671471A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310591327.6
申请日：2013-11-20
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种带锁紧功能的球形万向节，属于纳米级测量技术领域。本发明包括固定座、可变形球头、压电陶瓷微位移驱动器、半球形盖板、输出杆和驱动器控制系统；可变形球头的驱动器安装孔内安装压电陶瓷微位移驱动器，且使压电陶瓷微位移驱动器的运动方向与可变形球头的变形方向一致，可变形球头安装在固定座和半球形盖板组成球形空腔内；输出杆的后端穿过半球形盖板与可变形球头的螺纹孔螺纹连接；驱动器控制系统的数据线穿过输出杆中心的数据线通过孔与可变形球头上固定的压电陶瓷微位移驱动器线路连接。本发明的球形万向节既实现了两连接件的万向连接，又能够实现在特定角度的工作姿态锁定。
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公开(公告)号：CN105371770A
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201510862602.2
申请日：2015-12-01
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种纳米压入仪压头位移和载荷的测量装置，属于计量技术领域。其特征是由弹簧支撑的压块在外力作用下可上下移动，移动的距离由激光干涉仪测量。压块的位移与所受的力之间的关系可通过测量压块在标准砝码的重力作用下产生的位移来确定。在用于纳米压入仪压头位移和载荷测量时，压头在压块上施加载荷，其位移由激光干涉仪测量，根据该装置的加载力与位移之间的关系，可以确定载荷的大小。本装置硬件由压块、弹簧、基座、稳频激光器、分光镜、参考角锥棱镜、测量角锥棱镜、偏振片、光电探测器和测量系统组成。本发明的装置可以在一次测量过程中同时完成压头位移和载荷的测量，在材料纳米力学测试及仪器校准方面有重要的应用价值。
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公开(公告)号：CN103166499A
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN201110421730.5
申请日：2011-12-16
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: H02N2/02
Abstract: 本发明涉及一种适用于低速平稳运行的压电陶瓷直线马达，是对运动执行结构的改进。其连接关系为：前压电陶瓷微位移驱动器与后压电陶瓷微位移驱动器通过输出支点连接；前压电陶瓷微位移驱动器的另一端连接前支点，后压电陶瓷微位移驱动器的另一端连接后支点；其中，前支点与后支点的连接关系为：压电陶瓷微位移驱动器上下各与一个陶瓷端部相连接；本发明模仿人汲水的运动过程，通过前后两个支点将两个压电陶瓷微位移驱动器的运动进行叠加，使整个压电陶瓷直线马达保留了压电陶瓷微位移驱动器的高运动分辨率、可超低速运行的优点，同时扩展了其运动范围，使其运动范围只受U型导轨的长度尺寸的限制；则本发明能够实现大范围的低速平稳运行。
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公开(公告)号：CN102538722A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110445871.0
申请日：2011-12-22
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: G01B13/22
Abstract: 一种基于液压原理的大平面微小位移平动驱动装置，本发明属于几何量计量技术，涉及对精密运动执行结构的改进。该装置包括位移发生膜片、壳体、液压油、导管、波纹管、丝杠、滑块、电机及相应的运动控制器。位移发生膜片安装在壳体上，壳体与导管相连，导管与波纹管相连，以上各部分组成了一个封闭的空间，内部充满了液压油；滑块与波纹管的末端相连，滑块同时是丝杠的螺母，丝杠的旋转将实现滑块的平动，电机连接在丝杠的端部，运动控制器用于控制电机的运动。
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