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公开(公告)号：CN101712451B
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：CN200910198994.1
申请日：2009-11-18
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: B81C99/00
Abstract: 本发明涉及一种在微悬臂梁的二氧化硅表面一步制造羧酸功能化自组装单层膜的新方法，属于纳米功能薄膜制造领域。本发明的特征是采用三羟基硅基乙酸钠水溶液(Carboxyethylsilanetriol，sodium salt；25％)或者N-(三甲氧基硅丙基)乙二胺三乙酸钠盐水溶液(N-(Trimethoxysilypropyl)ethylenediamine triacetic acid，trisodium salt；45％)为薄膜制造原料，配制成一定浓度与酸度的水溶液，将经过严格清洗的微悬臂梁没入其中，氮气保护下加热反应10-100小时。反应结束后，用大量的去离子水冲洗微悬臂梁，即可制得羧酸功能化的微悬臂梁器件。
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公开(公告)号：CN101492150A
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200910046447.1
申请日：2009-02-20
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种利用单根集成电阻同时实现驱动及自清洗的微机械悬臂梁的结构、制作方法及应用，属于微机械传感器领域。具体特征是在悬臂梁的固定端处表面制作集成驱动电阻，在悬臂梁的自由端处表面淀积特异性识别的敏感膜。当在驱动电阻上施加一定的交流叠加直流的电流时，可以驱动起悬臂梁达到谐振状态，从而作为传感器检测特定化学物质。当检测完成后，可以通过增大施加在驱动电阻上的电流，将驱动电阻作为加热器提高悬臂梁的温度，加速吸附化学物质的解吸附，实现传感器的自清洗，从而实现快速重复检测。本发明的特点是结构简单、制作方便、容易实现。
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公开(公告)号：CN114216921B
公开(公告)日：2023-11-03
申请号：CN202110501613.3
申请日：2021-05-08
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N25/00
Abstract: 本发明提供催化剂活化能的测试方法，其中，依托集成式自加热谐振悬臂梁获得谐振频率变化量随时间的变化曲线，并转化为谐振频率随温度变化的曲线，以及转换为覆盖度随温度的变化曲线，并在进行一阶微分后，提取极小值时对应的相关参数，而后代入计算公式，即可得到催化剂脱附速率常数及催化剂脱附活化能，从而本发明只需一次程序升温过程就可进行催化剂活化能的测试，且测试结果准确、快速便捷、催化剂样品消耗量少、价格低廉。
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公开(公告)号：CN116908035A
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202310831416.7
申请日：2023-07-07
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本申请公开了一种气体吸附量的测试方法，基于气体吸附仪实现，气体吸附仪包括测试腔、悬臂梁以及频率获取装置；所述方法包括：将测试腔内的温度调节至预设温度，将悬臂梁置于测试腔内；基于频率获取装置，分别测试悬臂梁在平衡气下的第一频率以及在目标混合气下的第二频率；取出悬臂梁，将待测材料置于悬臂梁上，并将携带有待测材料的悬臂梁置于测试腔内；基于频率获取装置，分别测试携带有待测材料的悬臂梁在平衡气下的第三频率以及在目标混合气下的第四频率；根据第一频率、第二频率、第三频率以及第四频率进行数据分析，得到待测材料对目标混合气的吸附量；本申请可以快速准确的得到待测材料对目标混合气的吸附量，提高测试效率。
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公开(公告)号：CN115876835B
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN202211574079.X
申请日：2022-12-08
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种差分量热式MEMS气体传感器及气体检测方法，该传感器包括检测热电堆、参考热电堆、环境电阻、屏蔽环，检测热电堆及参考热电堆均包括单晶硅衬底、隔热空腔、多个单晶硅热偶对及支撑膜，其中，隔热空腔位于单晶硅衬底内，多个单晶硅热偶对串联连接且通过支撑膜支撑以悬设于隔热空腔之上实现热隔离，单晶硅热偶对包括串联的N型单晶硅热偶及P型单晶硅热偶，其中，检测热电堆的中心设置有催化剂材料。本发明的传感器对于痕量气体催化吸放热非常灵敏，且响应及恢复速度快，气体的浓度线性检测范围宽，可用于各种基于催化吸放热的气体浓度检测。本发明的检测方法对气体具有良好的选择性，能够实现目标气体的快速、超灵敏检测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111362226B
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN202010171515.3
申请日：2020-03-12
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及微纳传感器技术领域，特别涉及一种谐振式微悬臂梁芯片及其制备方法，包括：固支部和微悬臂梁部，所述微悬臂梁部包括高温区和低温区，所述低温区的一端与所述高温区连接，所述低温区的另一端与所述固支部连接；所述高温区上设有加热线圈；所述低温区上设有检测元件；所述高温区和所述低温区之间设有至少一个阻热孔，所述阻热孔贯穿所述微悬臂梁设置。通过在微悬臂梁中部附近区域设计有镂空的阻热孔，将微悬臂梁分为靠近自由端的高温区和靠近固支部的低温区两部分。在高温区设计有加热线圈，可以对微悬臂梁加热；加热线圈可以将梁上高温区加热，而低温区可以保持在低温状态，确保检测元件可以正常工作。
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公开(公告)号：CN114184596B
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202111499332.5
申请日：2021-12-09
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种同步热重‑拉曼光谱表征方法，通过具有自加热功能的芯片实时称量升温过程中待测样品的质量变化，得到热重曲线；同时通过显微镜将激光聚焦于待测样品表面，以采集升温过程中待测样品散射的拉曼光谱，实时提取待测样品的结构变化信息。本发明提供的同步热重‑拉曼光谱表征方法，可在热重分析获得待测样品的动力学性质的同时，表征待测样品的结构、物像演变，具有原位、无损、快速、精度高、样品用量少等优势。
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公开(公告)号：CN114858961A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210320215.6
申请日：2022-03-29
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种金属氧化物催化剂活性测试装置及测试方法，金属氧化物催化剂活性测试装置包括密封仓、集成式谐振悬臂梁、气氛控制系统、驱动控制系统及表征分析结果显示系统；本发明通过执行集成式谐振悬臂梁自清洁、获取测量基线、样品制备、预处理、获取测试曲线及进行数据处理的步骤，根据基线和测量曲线可得到金属氧化物催化剂在程序升温条件下的还原曲线，进而可以分析得到样品的还原活性。本发明测试装置具有测量精度高、样品消耗量少、效率高、结构简单及价格低廉的优点，且测试方法具有较好地可实施性，可实现原位实时程序升温分析，大大减少了检测结果的滞后性，且精确度高、反应灵敏、成本低，以实现对样品的精确定量化分析。
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公开(公告)号：CN112935274B
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202110112853.4
申请日：2021-01-27
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种柔性衬底上生长高熵合金纳米颗粒的方法，包括：获取柔性衬底；采用激光直写技术在所述柔性衬底上生长具有预设形状的三维石墨烯薄膜；获取高熵合金纳米颗粒的前驱体溶液；将所述前驱体溶液滴加至所述三维石墨烯薄膜上，形成预处理样品；采用激光直写技术对所述预处理样品上的三维石墨烯薄膜进行辐射加热处理，获取所述高熵合金纳米颗粒。基于上述技术方案，能够有效提高高熵合金纳米颗粒尺寸的均一性及合金总的负载量；且有效避免对柔性衬底造成高温热损伤；同时，脉冲激光热解生长机制也有利于得到具有单一物相的高熵合金纳米颗粒。
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公开(公告)号：CN113979485A
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN202111242255.5
申请日：2021-10-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: C01G53/00
Abstract: 本发明提供一种透射电镜‑热重关联表征金属氢氧化物的方法，通过TEM‑TG联用芯片中的称重悬臂梁用以称量金属氢氧化物样品在升温过程中的质量变化，同时通过TEM‑TG联用芯片中的观测悬臂梁用以观察金属氢氧化物样品在升温过程中的形貌变化；从而本发明可对金属氢氧化物样品同步进行透射电镜‑热重的关联表征，实现在金属氢氧化物样品热重分析过程的同时表征金属氢氧化物样品的形貌/结构的演变，提高金属氢氧化物样品质量分辨率，使得测试结果更精准。
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