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公开(公告)号：CN116924321A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202310821632.3
申请日：2023-07-05
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本申请公开了一种层状结构、制备方法及传感器件，包括提供基底；在基底的表面施加惰性材料，形成惰性薄膜；对惰性薄膜进行图案化处理，得到图案化掩膜；在基底具有图案化掩膜的一面施加目标材料，形成目标材料层；所述惰性材料与所述目标材料之间存在化学惰性；机械剥离图案化掩膜，以去除图案化掩膜和目标材料层中与图案化掩膜对应的图案化区域，在基底上形成图案化功能层，得到层状结构。本申请在基底具有图案化掩膜的一面施加目标材料再机械剥离图案化掩膜，图案化掩膜采用的惰性材料与目标材料之间存在化学惰性，在机械剥离图案化掩膜过程中不会污染或腐蚀目标材料，使目标材料稳定可靠地集成于基底上，提升制备层状结构的制备精度和一致性。
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公开(公告)号：CN117111404A
公开(公告)日：2023-11-24
申请号：CN202210539576.X
申请日：2022-05-17
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Inventor： 涂敏
Abstract: 本申请涉及半导体材料加工技术领域，特别是涉及一种极紫外光刻胶及其制备方法。极紫外光刻胶包括金属‑有机配位聚合物，金属‑有机配位聚合物中的金属元素包括锌和钴中的至少一种，金属‑有机配位聚合物中的有机配体包括卤代咪唑类配体；金属‑有机配位聚合物中的金属元素与有机配体的摩尔比1:1～1:4。本申请得到了具有较好抗刻蚀性能的极紫外光刻胶；同时实现了极紫外曝光后可溶于有机溶剂，且单次曝光分辨率低于30nm，显影后能够实现高度规则的图案化。
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公开(公告)号：CN114778494A
公开(公告)日：2022-07-22
申请号：CN202210523050.2
申请日：2022-05-13
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N21/552 , B82Y30/00 , B82Y15/00
Abstract: 本发明涉及气体检测元件领域，本发明公开了一种气体检测芯片及其制备方法，该气体检测芯片，其包括基底层、阵列层和覆盖层；阵列层设置在基底层上，阵列层由多个金属纳米颗粒按预设排布规则排布构成；覆盖层设置在阵列层上，覆盖层用于吸附待检测气体。如此，得到的气体检测芯片具有选择性高、检测灵敏度高、体积小、易集成化的优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116908035A
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202310831416.7
申请日：2023-07-07
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本申请公开了一种气体吸附量的测试方法，基于气体吸附仪实现，气体吸附仪包括测试腔、悬臂梁以及频率获取装置；所述方法包括：将测试腔内的温度调节至预设温度，将悬臂梁置于测试腔内；基于频率获取装置，分别测试悬臂梁在平衡气下的第一频率以及在目标混合气下的第二频率；取出悬臂梁，将待测材料置于悬臂梁上，并将携带有待测材料的悬臂梁置于测试腔内；基于频率获取装置，分别测试携带有待测材料的悬臂梁在平衡气下的第三频率以及在目标混合气下的第四频率；根据第一频率、第二频率、第三频率以及第四频率进行数据分析，得到待测材料对目标混合气的吸附量；本申请可以快速准确的得到待测材料对目标混合气的吸附量，提高测试效率。
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公开(公告)号：CN114923877B
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202210540633.6
申请日：2022-05-17
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N21/41
Abstract: 本发明涉及气体检测元件领域，本发明公开了一种多种气体检测芯片及其制备方法，该多种气体检测芯片，其包括基底层、阵列层和覆盖层；阵列层设置在基底层上，阵列层由多个金属纳米颗粒按预设排布规则排布构成；覆盖层设置在阵列层上；覆盖层包括多层第一覆盖层，多层第一覆盖层分别覆盖阵列层的不同区域，多层第一覆盖层完全覆盖阵列层。如此，得到的多种气体检测芯片具有选择性高、检测灵敏度高、体积小、易集成化，并且能够对多种气体同时快速检测的优点。
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公开(公告)号：CN116929983A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202310831419.0
申请日：2023-07-07
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本申请公开了一种气体吸附仪，所述气体吸附仪包括：气体输送装置、测试腔、悬臂梁以及频率获取装置；气体输送装置与测试腔连通设置，用于向测试腔内输送目标气体；悬臂梁设置在测试腔内，悬臂梁能够在测试腔内振动；悬臂梁上设置有待测材料，待测材料能够与悬臂梁同步振动；频率获取装置，用于获取悬臂梁的振动频率；其中，悬臂梁的振动频率与待测材料对目标气体的吸附量关联；本申请通过将悬臂梁设置在测试腔内，并将待测材料设置在悬臂梁上，进一步可以通过对附加有待测材料的悬臂梁的振动频率的测试，快速的计算出待测材料对目标气体的吸附量，提高测试效率，且还可以实时检测到待测材料对目标气体的吸附变化量，提高测试的灵敏度。
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公开(公告)号：CN114923877A
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN202210540633.6
申请日：2022-05-17
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N21/41
Abstract: 本发明涉及气体检测元件领域，本发明公开了一种多种气体检测芯片及其制备方法，该多种气体检测芯片，其包括基底层、阵列层和覆盖层；阵列层设置在基底层上，阵列层由多个金属纳米颗粒按预设排布规则排布构成；覆盖层设置在阵列层上；覆盖层包括多层第一覆盖层，多层第一覆盖层分别覆盖阵列层的不同区域，多层第一覆盖层完全覆盖阵列层。如此，得到的多种气体检测芯片具有选择性高、检测灵敏度高、体积小、易集成化，并且能够对多种气体同时快速检测的优点。
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公开(公告)号：CN119355061A
公开(公告)日：2025-01-24
申请号：CN202411414213.9
申请日：2024-10-11
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及半导体加工技术领域，特别涉及一种气敏膜的形成方法、气体传感器的制造方法及气体传感器。气敏膜的形成方法具体包括以下步骤：提供一光敏溶液和气敏溶液组合；所述光敏溶液包括光酸产生剂或者光敏交联剂；所述气敏溶液包括包裹有配体的纳米材料；将所述光敏溶液和所述气敏溶液按照预设比例混合，得到混合溶液；在目标基底的表面涂覆所述混合溶液后，在紫外光条件下对所述混合溶液进行图案固化处理，得到位于所述目标基底上的气敏膜。使形成的气敏膜具有一致性好、气敏效果好以及制备效率高的特点。
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