公开(公告)号：CN116908035A

公开(公告)日：2023-10-20

申请号：CN202310831416.7

申请日：2023-07-07

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 陈琦然 ,  涂敏 ,  李昕欣 ,  许鹏程

IPC: G01N5/02 ,  G01M7/02

Abstract: 本申请公开了一种气体吸附量的测试方法，基于气体吸附仪实现，气体吸附仪包括测试腔、悬臂梁以及频率获取装置；所述方法包括：将测试腔内的温度调节至预设温度，将悬臂梁置于测试腔内；基于频率获取装置，分别测试悬臂梁在平衡气下的第一频率以及在目标混合气下的第二频率；取出悬臂梁，将待测材料置于悬臂梁上，并将携带有待测材料的悬臂梁置于测试腔内；基于频率获取装置，分别测试携带有待测材料的悬臂梁在平衡气下的第三频率以及在目标混合气下的第四频率；根据第一频率、第二频率、第三频率以及第四频率进行数据分析，得到待测材料对目标混合气的吸附量；本申请可以快速准确的得到待测材料对目标混合气的吸附量，提高测试效率。

公开(公告)号：CN116929983A

公开(公告)日：2023-10-24

申请号：CN202310831419.0

申请日：2023-07-07

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 陈琦然 ,  涂敏 ,  李昕欣 ,  许鹏程

IPC: G01N5/02 ,  G01M7/02

Abstract: 本申请公开了一种气体吸附仪，所述气体吸附仪包括：气体输送装置、测试腔、悬臂梁以及频率获取装置；气体输送装置与测试腔连通设置，用于向测试腔内输送目标气体；悬臂梁设置在测试腔内，悬臂梁能够在测试腔内振动；悬臂梁上设置有待测材料，待测材料能够与悬臂梁同步振动；频率获取装置，用于获取悬臂梁的振动频率；其中，悬臂梁的振动频率与待测材料对目标气体的吸附量关联；本申请通过将悬臂梁设置在测试腔内，并将待测材料设置在悬臂梁上，进一步可以通过对附加有待测材料的悬臂梁的振动频率的测试，快速的计算出待测材料对目标气体的吸附量，提高测试效率，且还可以实时检测到待测材料对目标气体的吸附变化量，提高测试的灵敏度。