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公开(公告)号：CN101492150A
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200910046447.1
申请日：2009-02-20
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种利用单根集成电阻同时实现驱动及自清洗的微机械悬臂梁的结构、制作方法及应用，属于微机械传感器领域。具体特征是在悬臂梁的固定端处表面制作集成驱动电阻，在悬臂梁的自由端处表面淀积特异性识别的敏感膜。当在驱动电阻上施加一定的交流叠加直流的电流时，可以驱动起悬臂梁达到谐振状态，从而作为传感器检测特定化学物质。当检测完成后，可以通过增大施加在驱动电阻上的电流，将驱动电阻作为加热器提高悬臂梁的温度，加速吸附化学物质的解吸附，实现传感器的自清洗，从而实现快速重复检测。本发明的特点是结构简单、制作方便、容易实现。
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