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公开(公告)号:CN111635701B
公开(公告)日:2021-07-09
申请号:CN202010618662.0
申请日:2020-06-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 上海新安纳电子科技有限公司 , 浙江新创纳电子科技有限公司
Abstract: 本发明涉及一种钴基材抛光液及其应用,按重量百分比,包括如下组分:液相载体50‑80%;磨料0.1‑10%;氧化剂≤1%;铵盐化合物0.005‑20%;抑制剂0.1‑100mM。本发明通过选择合适的氧化剂、铵盐化合物以及抑制剂并将他们合理组合,通过提高机械和化学作用来提高抛光速率,控制Co表面腐蚀情况以及改善表面质量,具有良好的应用前景。
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公开(公告)号:CN111662641A
公开(公告)日:2020-09-15
申请号:CN202010628968.4
申请日:2020-06-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 上海新安纳电子科技有限公司 , 浙江新创纳电子科技有限公司
IPC: C09G1/02
Abstract: 本发明涉及一种高选择比的化学机械抛光液及其应用,按重量百分比,包括如下组分:抛光颗粒0.1wt%-30wt%;保护剂0wt%-10wt%;表面活性剂0wt%-10wt%;氧化剂0.001wt%-10wt%;其余为水和pH调节剂。本发明可以明显改善相变材料的划伤,抛光速率得以提升,选择比大大提高,满足产业化应用对于相变材料抛光过程的要求。
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公开(公告)号:CN110098832A
公开(公告)日:2019-08-06
申请号:CN201910364378.2
申请日:2019-04-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H03K19/0185 , H03K19/094 , H03K19/003 , H03K17/22
Abstract: 本发明提供一种超低电压启动双路输出的DCDC转换电路及其实现方法,所述DCDC转换电路包括:双路输出模块,电连接于所述双路输出模块的高压上电复位模块,电连接于所述高压上电复位模块和所述双路输出模块的功率管衬底电平选择模块,电连接于所述高压上电复位模块和所述双路输出模块的工作模式切换模块,电连接于所述工作模式切换模块的控制管衬底电平选择模块,电连接于所述双路输出模块的负载接入模块及电连接于所述双路输出模块、所述负载接入模块和所述工作模式切换模块的调制信号产生模块。通过本发明解决了现有DCDC转换电路存在的无法在低电源电压下工作、需要额外的时钟产生装置及只有一路输出的问题。
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公开(公告)号:CN106010297B
公开(公告)日:2018-07-31
申请号:CN201610445394.0
申请日:2016-06-20
Applicant: 上海新安纳电子科技有限公司 , 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: C09G1/02 , H01L21/306
CPC classification number: C09G1/02 , C09K3/1436
Abstract: 本发明公开了种氧化铝抛光液的制备方法,包括如下步骤:1)将硅烷偶联剂、乙醇和水混合形成水解液;2)在95~110℃加热和搅拌条件下,将水解液加入到氧化铝粉末中,保持边搅拌边加热,直至液体挥发完全获得改性氧化铝;3)将改性氧化铝研磨成粉末分散到水里,调节溶液pH为9.5~10.5即为氧化铝抛光液。使用本发明的氧化铝抛光液可达到pH=13.00时的抛光效率,同时抛光片较少有划痕出现。
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公开(公告)号:CN103896290B
公开(公告)日:2016-01-20
申请号:CN201210587486.4
申请日:2012-12-28
Applicant: 上海新安纳电子科技有限公司 , 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: C01B33/146
Abstract: 本发明涉及化学工程领域,具体涉及一种较宽pH范围稳定的改性硅溶胶及其制备方法。本发明的稳定的改性硅溶胶制备方法如下:将待改性的碱性硅溶胶与阴离子交换树脂混合进行交换反应,获得除去阴离子的硅溶胶;加热使其沸腾,搅拌滴加金属盐溶液,获得待反应液;将待反应液于反应釜中反应0.5~24h,反应温度为100~150℃,得到反应产物;将反应产物与阳离子交换树脂混合进行交换反应,除去反应产物中的金属离子,获得改性的硅溶胶。本发明提供的改性硅溶胶,胶粒粒径10~60nm,二氧化硅含量为0.1~40%,pH值为3~11,常温放置一年以上,能够满足涂料、纺织、半导体等领域的应用需求。
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公开(公告)号:CN104831235A
公开(公告)日:2015-08-12
申请号:CN201510136878.2
申请日:2015-03-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种用于相变存储器的Zr-Sb-Te系列相变材料及其制备方法,所述Zr-Sb-Te系列相变材料的化学式为Zr100-x-ySbxTey,其中0<100-x-y<20,0.5≤x/y≤4。本发明的用于相变存储器的Zr-Sb-Te系列相变材料具有较好的结晶速度及较高的沉积态稳定性,其在电脉冲作用下可以实现可逆相变,相变前后有电阻高低差异之分,差值较大,可以分辨出“0”、“1”,其中Set电压脉冲宽达到100ns,Reset电压脉冲宽度达到10ns,循环次数达到104,是一种较为理想的相变材料,可用于制作相变存储器单元。所述Zr-Sb-Te系列相变材料可采用多种方法制备,其中磁控溅射法比较灵活,可以方便制得组分可调、质量较高的Zr100-x-ySbxTey复合薄膜。
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公开(公告)号:CN104591192A
公开(公告)日:2015-05-06
申请号:CN201410836081.9
申请日:2014-12-24
Applicant: 上海新安纳电子科技有限公司 , 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: C01B33/113
Abstract: 一种高纯硅酸的制备方法,所述方法包括以下步骤:1)水玻璃稀释:原料水玻璃中二氧化硅含量为15~35wt%,用水稀释后获得的溶液中二氧化硅含量为2~7wt%;2)水玻璃净化:对步骤1)中稀释后获得的溶液采用袋式过滤器过滤;3)阳离子树脂交换:采用阳离子树脂交换,得到硅酸;4)硅酸酸化:对步骤3)中的硅酸通过加酸进行酸化;5)树脂交换:通过树脂交换获得高纯硅酸。本发明中公开的方法制备的高纯硅酸具有金属离子含量低的特点,且其工艺易于操作和大规模连续化生产,对原料要求不高,大大降低了企业的生产成本。
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公开(公告)号:CN104559336A
公开(公告)日:2015-04-29
申请号:CN201410843288.9
申请日:2014-12-29
Applicant: 上海新安纳电子科技有限公司 , 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: C09C1/28 , C09C3/12 , C09D125/14 , C09D133/00 , C09D7/12
Abstract: 本发明提供一种改性硅溶胶的制备方法,包括以下步骤:1)将硅烷偶联剂滴加到硅溶胶中搅拌混合,形成硅烷偶联剂/硅溶胶混合体系,继续搅拌后,得到初始的硅烷偶联剂改性硅溶胶;2)将初始的硅烷偶联剂改性硅溶胶,进行酸碱调节,制得硅烷偶联剂改性硅溶胶。本发明还进一步提供了上述改性硅溶胶在水性涂料中的应用及添加上述改性硅溶胶的水性涂料配方。本发明的制备一种改性硅溶胶,能够大大提高无机材料二氧化硅与有机树脂之间的相容性,在不影响涂料干燥后涂层光泽度的条件下,同时提高了涂层的硬度,且工艺简便、可控性强,具有较高实用价值。
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公开(公告)号:CN104556071A
公开(公告)日:2015-04-29
申请号:CN201410843300.6
申请日:2014-12-29
Applicant: 上海新安纳电子科技有限公司 , 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: C01B33/18
Abstract: 本发明提供一种多孔二氧化硅的制备方法,包括如下步骤:1)以水玻璃为原料,通过离子交换、晶种制备、颗粒生长后,制得二氧化硅球核;2)在二氧化硅球核中,加入模板剂,并添加硅源,混合搅拌后,从而在二氧化硅球核上生长出多孔壳层;3)将包含二氧化硅球核及多孔壳层的颗粒,经过滤、洗涤、干燥、煅烧或有机溶剂萃取,制得多孔二氧化硅颗粒。本发明提供的一种多孔二氧化硅的制备方法,能够制备出具备极高的比表面积,良好的化学活性及吸附特性的多孔二氧化硅颗粒,可应用于化学机械抛光液磨料,化工催化剂,以及药物载体等领域,且适用于大规模工业生产的需求。
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