-
公开(公告)号：CN1173220C
公开(公告)日：2004-10-27
申请号：CN02136625.X
申请日：2002-08-23
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种用于光调制热成像系统的芯片及制作方法，属于微电子机械系统领域。该芯片由滤光片、半透镜和微镜阵列组成，其特征在于微镜的反射面和半透镜的反射面构成F-P腔的两个反射面，其之间的距离为入射红外辐射波长的四分之一。其制作特征是选择合适厚度的硅膜、二氧化硅膜的SOI硅片，首先光刻微镜阵列图案，腐蚀硅膜、二氧化硅膜，重新热氧化硅、蒸上铝膜，使得这二层膜的总厚度等于原来SOI硅片中二氧化硅的厚度，而后光刻并刻蚀出微镜图案，随后作一次硅-玻璃键合，把F-P腔的两个面键合在一起。本发明不但保证了F-P腔的两个反射面之间的距离满足要求，同时较为方便地制作出了符合要求的双层镜面。
-
公开(公告)号：CN112816608B
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202110087284.2
申请日：2021-01-22
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N30/60
Abstract: 本发明提供一种微色谱柱及制备方法，微色谱柱包括衬底、微沟道及椭圆微柱阵列，可使得微柱后的“准零流速区”的区域大大缩小；可在增加椭圆微柱数量的同时调整椭圆微柱的短轴长度q，以在保持微沟道的宽度w及微沟道的有效宽度d不变的前提下，可有效提高柱内表面积，同时可有效解决因微柱数量的增加而带来的柱前压力升高的问题；通过在沿微沟道的宽度方向上，将n列椭圆微柱之间、椭圆微柱与微沟道的侧壁之间设计成具有不同的间距，可进一步的缓解载气流速不均的问题，以进一步的使得柱内的流速分布均匀；本发明的微色谱柱结构和制备工艺简单，可提高微色谱柱的功效、减小供气系统的负担，有利于便携式应用，使得微色谱柱具有广泛的应用前景。
-
公开(公告)号：CN108178122B
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN201611123850.6
申请日：2016-12-08
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种微热导检测器及制备方法：所述微热导检测器具有三明治结构，从下而上依次是玻璃衬底、带微沟槽的SOI硅片和带微沟道的玻璃；交叉网状结构制作于SOI硅片表面并悬浮于微通道之中，其结构包括SOI硅片的顶层硅、由两层氧化硅/氮化硅薄膜所保护的热敏电阻；关键工艺包括刻蚀SOI硅片的衬底硅、埋氧层（或埋氧层及第二介质层）释放交叉网状结构，通过两次静电键合完成微热导检测器芯片的制作。本发明以SOI硅片顶层硅为热敏电阻的主要支撑层，与高掺杂硅相比较，顶层硅中晶格完整，缺陷少，作为支撑层具有更好的机械强度，且其厚度可根据性能要求灵活选择。本发明减小了交叉网状结构的形变，大大提高了热敏电阻支撑结构的强度及稳定性。
-
公开(公告)号：CN111855877B
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN201910362630.6
申请日：2019-04-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种基于MEMS的多固定相微型填充柱结构及其制备方法，基于MEMS的多固定相微型填充柱结构包括：衬底，衬底的表面形成有沿衬底的表面延伸的微沟道，微沟道的一端为入口端，另一端为出口端；微阻挡柱组件，位于微沟道内，且临近微沟道的出口端；至少一个微筛选柱组件，位于微沟道内，且位于微阻挡柱组件与微沟道的入口端之间。本发明的基于MEMS的多固定相微型填充柱结构及其制备方法通过在微沟道内设置微阻挡柱组件及微筛选柱组件，可以实现固定相自主分段填充，最终实现多种类的混合气体的一次性分离，扩展了色谱柱的使用范围，实现了微型填充柱结构的多功能化。
-
公开(公告)号：CN109959746B
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN201711403787.6
申请日：2017-12-22
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N30/60
Abstract: 本发明提出了一种硅基微气相色谱柱及其制备方法，在硅微色谱柱的微沟道的内表面上设计并制备出一层细密的硅纳米线森林，纳米线线径一般分布在几纳米至几十纳米之间。这种细密的硅纳米线森林极大地增大了硅微色谱柱的表面积，从而有效地提高了硅微色谱柱的柱容量、分离度和柱效。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117783401A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311814338.6
申请日：2023-12-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N30/66
Abstract: 本发明提供一种单沟道微热导检测器及其制备方法，在基板中集成了导电连接件，用于替代外接引线，避免了接触电阻的形成，减小了检测器的零点误差和噪声干扰；取消了参考沟道，将参考沟道的热敏电阻直接制备于基板中，避免了参考沟道中气流扰动形成的噪声，同时，减少了一路载气的需求，降低了气相色谱系统的供气负担；本发明的微热导检测器结构简单，能有效提高检测器的检测灵敏度，同时降低气相色谱系统的供气负担，有利于便携式应用，可进一步促进气相色谱系统的微型化。
-
公开(公告)号：CN114878734B
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202210314261.5
申请日：2022-03-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N30/60 , B01D15/10 , B01J20/281
Abstract: 本发明提供一种基于逐层沉积介孔二氧化硅为固定相的微色谱柱制备方法，通过制备微色谱柱主体结构及于微色谱柱主体结构中逐层沉积介孔二氧化硅为固定相，以制备微色谱柱；其中，采用溶胶‑凝胶法制备介孔二氧化硅粉末，然后采用逐层沉积工艺将介孔二氧化硅固定相逐层沉积在微沟道内，该方法避免了采用溶胶‑凝胶法直接在微色谱柱的微沟道内表面制备介孔二氧化硅固定相时所需的高温，使得盖板上也涂有介孔二氧化硅固定相，能有效改善介孔二氧化硅固定相的涂敷均匀性，且通过控制逐层沉积的次数可以获得合适厚度的介孔二氧化硅固定相，
-
公开(公告)号：CN115055173A
公开(公告)日：2022-09-16
申请号：CN202210593785.2
申请日：2022-05-27
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: B01J20/286 , B01J20/30 , B01D53/02
Abstract: 本发明提供一种具有高深宽比的全硅微色谱柱及其制备方法，分别在第一硅衬底及第二硅衬底中形成对应的微沟道及微流控端口，而后通过硅硅键合工艺形成具有闭合微沟道及闭合微流控端口的复合硅基底，从而形成仅具有一种硅材质的全硅微色谱柱，有利于获得均匀的固定相，且可形成具有高深宽比的闭合微沟道，使待分析组分分子在固定相和流动相之间快速达到平衡，有利于提高微色谱柱的分离性能和柱容量。
-
公开(公告)号：CN113311096A
公开(公告)日：2021-08-27
申请号：CN202110719416.9
申请日：2021-06-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N30/68
Abstract: 本发明提供一种氦离子化检测器及其制备方法，包括衬底、激发电极对、进气管、偏置电极及收集电极；衬底中具有腔室，腔室包括激发电极沟道、进气沟道及出气沟道，激发电极沟道与出气沟道相连通构成第一交汇区，进气沟道与出气沟道相连通构成第二交汇区；激发电极对的激发电极区位于第一交汇区；进气管为具有相同形貌且相向设置的第一进气管及第二进气管，可向第二交汇区提供具有相同压强的辅助载气及样品载气；偏置电极及收集电极位于出气沟道中，且设置于第二交汇区外侧远离第一交汇区处。本发明可在腔室中形成高压“准零流速区”，有利于激发氦等离子体，且此区域氦气流速极低，有利于稳定氦等离子体基团，进而可降低基线噪声。
-
公开(公告)号：CN112915590A
公开(公告)日：2021-06-08
申请号：CN202110088082.X
申请日：2021-01-22
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种用于轻烃分离的微色谱柱及制备方法，微色谱柱包括衬底、微沟道、微柱阵列、盖板及复合MOFs固定相，其中，复合MOFs固定相覆盖腔室内表面，且形成复合MOFs固定相的复合MOFs材料包括UIO‑66及ZIF‑8。本发明采用两种含有不同窗口尺寸的MOFs材料，并以特定的配比进行混合形成复合MOFs材料，且在经过老化后形成覆盖腔室内表面的复合MOFs固定相，该复合MOFs固定相能够起到分子筛的作用，从而可提高微色谱柱对轻烃的分离度，尤其是可提高对甲烷‑乙烷这两种性质较为接近的轻烃的分离度，以满足对轻烃定性定量分析检测的要求。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
96
records
(took 0.064 seconds)
