公开(公告)号：CN109959746A

公开(公告)日：2019-07-02

申请号：CN201711403787.6

申请日：2017-12-22

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 冯飞 ,  罗凡 ,  李昕欣

IPC: G01N30/60

Abstract: 本发明提出了一种硅基微气相色谱柱及其制备方法，在硅微色谱柱的微沟道的内表面上设计并制备出一层细密的硅纳米线森林，纳米线线径一般分布在几纳米至几十纳米之间。这种细密的硅纳米线森林极大地增大了硅微色谱柱的表面积，从而有效地提高了硅微色谱柱的柱容量、分离度和柱效。

公开(公告)号：CN109959746B

公开(公告)日：2024-05-24

申请号：CN201711403787.6

申请日：2017-12-22

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 冯飞 ,  罗凡 ,  李昕欣

IPC: G01N30/60

Abstract: 本发明提出了一种硅基微气相色谱柱及其制备方法，在硅微色谱柱的微沟道的内表面上设计并制备出一层细密的硅纳米线森林，纳米线线径一般分布在几纳米至几十纳米之间。这种细密的硅纳米线森林极大地增大了硅微色谱柱的表面积，从而有效地提高了硅微色谱柱的柱容量、分离度和柱效。

公开(公告)号：CN207623299U

公开(公告)日：2018-07-17

申请号：CN201721816759.2

申请日：2017-12-22

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 冯飞 ,  罗凡 ,  李昕欣

IPC: G01N30/60

Abstract: 本实用新型提出了一种硅基微气相色谱柱，在硅微色谱柱的微沟道的内表面上设计并制备出一层细密的硅纳米线森林，纳米线线径一般分布在几纳米至几十纳米之间。这种细密的硅纳米线森林极大地增大了硅微色谱柱的表面积，从而有效地提高了硅微色谱柱的柱容量、分离度和柱效。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利