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公开(公告)号：CN112816608B
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202110087284.2
申请日：2021-01-22
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N30/60
Abstract: 本发明提供一种微色谱柱及制备方法，微色谱柱包括衬底、微沟道及椭圆微柱阵列，可使得微柱后的“准零流速区”的区域大大缩小；可在增加椭圆微柱数量的同时调整椭圆微柱的短轴长度q，以在保持微沟道的宽度w及微沟道的有效宽度d不变的前提下，可有效提高柱内表面积，同时可有效解决因微柱数量的增加而带来的柱前压力升高的问题；通过在沿微沟道的宽度方向上，将n列椭圆微柱之间、椭圆微柱与微沟道的侧壁之间设计成具有不同的间距，可进一步的缓解载气流速不均的问题，以进一步的使得柱内的流速分布均匀；本发明的微色谱柱结构和制备工艺简单，可提高微色谱柱的功效、减小供气系统的负担，有利于便携式应用，使得微色谱柱具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN117783401A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311814338.6
申请日：2023-12-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N30/66
Abstract: 本发明提供一种单沟道微热导检测器及其制备方法，在基板中集成了导电连接件，用于替代外接引线，避免了接触电阻的形成，减小了检测器的零点误差和噪声干扰；取消了参考沟道，将参考沟道的热敏电阻直接制备于基板中，避免了参考沟道中气流扰动形成的噪声，同时，减少了一路载气的需求，降低了气相色谱系统的供气负担；本发明的微热导检测器结构简单，能有效提高检测器的检测灵敏度，同时降低气相色谱系统的供气负担，有利于便携式应用，可进一步促进气相色谱系统的微型化。
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公开(公告)号：CN112816608A
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN202110087284.2
申请日：2021-01-22
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N30/60
Abstract: 本发明提供一种微色谱柱及制备方法，微色谱柱包括衬底、微沟道及椭圆微柱阵列，可使得微柱后的“准零流速区”的区域大大缩小；可在增加椭圆微柱数量的同时调整椭圆微柱的短轴长度q，以在保持微沟道的宽度w及微沟道的有效宽度d不变的前提下，可有效提高柱内表面积，同时可有效解决因微柱数量的增加而带来的柱前压力升高的问题；通过在沿微沟道的宽度方向上，将n列椭圆微柱之间、椭圆微柱与微沟道的侧壁之间设计成具有不同的间距，可进一步的缓解载气流速不均的问题，以进一步的使得柱内的流速分布均匀；本发明的微色谱柱结构和制备工艺简单，可提高微色谱柱的功效、减小供气系统的负担，有利于便携式应用，使得微色谱柱具有广泛的应用前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117783402B
公开(公告)日：2025-05-09
申请号：CN202311814821.4
申请日：2023-12-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N30/66
Abstract: 本发明提供一种具有片上惠斯通电桥的微热导检测器及其制备方法，在基板中集成了导电连接件，用于替代外接引线，减少了外接引线产生的接触电阻，减少了检测器的噪声干扰，提高了检测器的信噪比，从而降低了检测器的检测限，且对外仅提供四个焊盘接口，方便器件的使用。
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公开(公告)号：CN117825597A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202311814334.8
申请日：2023-12-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N30/66
Abstract: 本发明提供一种旁路式微热导检测器及其制备方法，在微热导检测器中设置与微沟道相连通的旁路沟道，并设置悬挂于旁路沟道中的具有热导检测元件的热导检测元件支撑结构，可避免气体直接冲击热导检测元件，从而可降低强制对流在传热机制中的占比，进而降低闭合沟道中气体流速变化对热导检测元件的影响，提高微热导检测器的信噪比及检测准确度。
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公开(公告)号：CN117783402A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311814821.4
申请日：2023-12-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N30/66
Abstract: 本发明提供一种具有片上惠斯通电桥的微热导检测器及其制备方法，在基板中集成了导电连接件，用于替代外接引线，减少了外接引线产生的接触电阻，减少了检测器的噪声干扰，提高了检测器的信噪比，从而降低了检测器的检测限，且对外仅提供四个焊盘接口，方便器件的使用。
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公开(公告)号：CN115060842A
公开(公告)日：2022-09-16
申请号：CN202210593787.1
申请日：2022-05-27
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N30/60
Abstract: 本发明提供一种含有交错排列椭圆微柱阵列的微色谱柱及制备方法，通过位于微沟道中的交错排列的n×m椭圆微柱阵列，可有效减少流速的周期性变化，因此可提高气体的平均流速，减少微色谱柱的分析时间；且可压缩“准零流速区”，减少死体积的产生，有助于提高色谱峰的峰面积。
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公开(公告)号：CN214668831U
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN202120178580.9
申请日：2021-01-22
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N30/60
Abstract: 本实用新型提供一种微色谱柱，微色谱柱包括衬底、微沟道及椭圆微柱阵列，可使得微柱后的“准零流速区”的区域大大缩小；可在增加椭圆微柱数量的同时调整椭圆微柱的短轴长度q，以在保持微沟道的宽度w及微沟道的有效宽度d不变的前提下，可有效提高柱内表面积，同时可有效解决因微柱数量的增加而带来的柱前压力升高的问题；通过在沿微沟道的宽度方向上，将n列椭圆微柱之间、椭圆微柱与微沟道的侧壁之间设计成具有不同的间距，可进一步的缓解载气流速不均的问题，以进一步的使得柱内的流速分布均匀；本实用新型的微色谱柱结构和制备工艺简单，可提高微色谱柱的功效、减小供气系统的负担，有利于便携式应用，使得微色谱柱具有广泛的应用前景。
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