-
公开(公告)号：CN100411973C
公开(公告)日：2008-08-20
申请号：CN02127136.4
申请日：2002-07-26
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: C01B13/11 , C01B2201/12 , C01B2201/22 , C01B2201/32 , C01B2201/76
Abstract: 提供一种可提高放电间隙冷却性能并形成产生纯净臭氧的放电间隙的臭氧发生器，它具有低压电极7、设置在低压电极7两侧的第1及第2高压电极3-1及3-2、设置在低压电极7与第1高压电极3-1间的第1电介质5-1及第1衬垫、设置在低压电极7与第2高压电极3-2间的第2电介质5-2及第2衬垫、设置在第1高压电极3-1的与第1放电间隙6-1的反面侧的第1电极冷却板1-1、设置在第2高压电极3-2的与第2放电间隙6-2的反面侧的第2电极冷却板1-2、夹在第1高压电极3-1与第1电极冷却板1-1间的第1导热·电气绝缘板2-1、以及夹在第2高压电极3-2与第2电极冷却板1-2间的第2导热·电气绝缘板2-2。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101121093A
公开(公告)日：2008-02-13
申请号：CN200710108900.8
申请日：2005-12-22
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B01D53/04
Abstract: 本发明提供一种防止由于含在汽油蒸汽中的水分的影响而使吸附剂中毒、并且小型、廉价的气体状烃的处理、回收装置及方法，该方法是，在具有吸附塔和解吸塔分别至少一个的吸附解吸装置中，具备冷却该吸附解吸装置的手段，作为吸附剂，使用孔径4－100埃的单独的硅胶或合成沸石或其混合物，进行吸附解吸，进一步将吸附塔的出口气体的一部分送到解吸塔中，使用解吸时的气体作为净化气体。
-
公开(公告)号：CN101108298A
公开(公告)日：2008-01-23
申请号：CN200710139977.1
申请日：2005-06-29
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: Y02A50/235
Abstract: 本发明的VOC处理装置具备：与处理对象气体接触以吸附挥发性有机化合物的吸附体1C；以与该吸附剂1C的一部分接触的方式发生放电的多个电极对1A、1D；以及通过对该电极对1A、1D施加电压来控制在哪个电极对1A、1D中发生放电的放电控制机构3，其中，电极对1A、1D被分成多个组，放电控制机构3对电极对1A、1D的每个组施加电压，以使不同的吸附体1C的部分顺序地与放电接触。
-
公开(公告)号：CN1683237A
公开(公告)日：2005-10-19
申请号：CN200510056299.3
申请日：2005-04-05
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: C01B13/11 , C01B2201/12 , C01B2201/22 , C01B2201/34 , C01B2201/64
Abstract: 本发明的目的在于：在以极高纯度的氧(纯度≥99.9％)为原料气体的情况下，高效率地生成不含氮氧化物的高浓度臭氧气体。本发明的臭氧发生装置具有通过施加交流电压而放电的两个电极11、12，以及设置在上述电极间的至少一个电介体22；向发生上述放电的放电空间40内提供含氧的原料气体，经上述放电产生臭氧；在至少一个上述电极和放电空间之间的与放电接触的面的表面电阻率为104Ω～1011Ω；提供给上述放电空间的原料气体为纯度≥99.9％的高纯度的氧。
-
公开(公告)号：CN1167106C
公开(公告)日：2004-09-15
申请号：CN99803006.6
申请日：1999-11-12
Applicant: 三菱电机株式会社 , 岛田理化工业株式会社
IPC: H01L21/027 , G03F7/42
CPC classification number: H01L21/67075 , G03F7/42 , G03F7/422 , G03F7/423 , G03F7/428
Abstract: 提供了在减少材料消耗并降低通风设施成本的同时高效率且对环境无害地去除光刻胶膜的方法及其装置。去除覆在衬底表面上的光刻胶膜的方法包括：在密闭系统中，使带有光刻胶膜的衬底表面接触光刻胶膜去除溶液；在光刻胶膜去除溶液的液面附近使臭氧以气相和/或混入溶液的状态存在；改变衬底表面与溶液液面之间的相对位置以便从衬底上除去光刻胶膜或使之分解；其中，在衬底底边从位于溶液液面上方的一个位置到衬底顶边位于溶液液面下方的另一个位置之间的范围内，连续或断续地改变相对位置。用于上述方法的装置。
-
公开(公告)号：CN1421382A
公开(公告)日：2003-06-04
申请号：CN02127136.4
申请日：2002-07-26
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: C01B13/11 , C01B2201/12 , C01B2201/22 , C01B2201/32 , C01B2201/76
Abstract: 提供一种可提高放电间隙冷却性能并形成产生纯净臭氧的放电间隙的臭氧发生器，它具有低压电极7、设置在低压电极7两侧的第1及第2高压电极3－1及3－2、设置在低压电极7与第1高压电极3－1间的第1电介质5－1及第1衬垫、设置在低压电极7与第2高压电极3－2间的第2电介质5－2及第2衬垫、设置在第1高压电极3－1的与第1放电间隙6－1的反面侧的第1电极冷却板1－1、设置在第2高压电极3－2的与第2放电间隙6－2的反面侧的第2电极冷却板1－2、夹在第1高压电极3－1与第1电极冷却板1－1间的第1导热·电气绝缘板2－1、以及夹在第2高压电极3－2与第2电极冷却板1－2间的第2导热·电气绝缘板2－2。
-
-
-
-
-
Search Results
36
records
(took 0.033 seconds)
