-
公开(公告)号：CN109863336A
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201780065702.X
申请日：2017-10-25
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供充分发挥手动阀型小型化的优点并解决其课题的电动阀型的流量调节阀。具有通过使旋转体(15)旋转而使上下移动体(6)上下移动的旋转装置。旋转装置包括在旋转体(15)的上端部设置的从动齿轮(14)和使与从动齿轮(14)啮合的驱动齿轮(13)的马达(11)。马达(11)采用步进伺服马达，配置在驱动齿轮(13)的下方，马达(11)的旋转轴(34)向上延伸，在其上端部固定有驱动齿轮(13)。
-
公开(公告)号：CN109791415A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201780037989.5
申请日：2017-10-12
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
Abstract: 流体控制装置(1)具备：主体块体(10)，其具有通用流入口(11)、通用流出口(12)、与通用流入口以及通用流出口连通的第一流路(F1)以及第二流路(F2)；以及安装于主体块体的安装面的第一流体控制单元(20a)和第二流体控制单元(20b)，第一流路和第二流路在从安装面的法线方向(D3)观察时，包含：沿着第一方向(D1)延伸的第一流路部分(13)；以及沿着与第一方向正交的第二方向(D2)延伸的第二流路部分(14)，第二流路部分由从主体块体的侧面沿着第二方向延伸的孔部(14’)和堵塞孔部的开口部的封闭部件(15)形成。
-
公开(公告)号：CN105940357B
公开(公告)日：2019-05-14
申请号：CN201580002126.5
申请日：2015-01-15
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明涉及的压力式流量控制装置具备：主体，所述主体设置有连通流体入口与流体出口之间的流体通路，及连通流体通路与排气出口之间的排气通路；压力控制用控制阀，所述压力控制用控制阀固定于主体的流体入口侧，且开闭流体通路的上游侧；第一压力传感器，所述第一压力传感器检测其下游侧的流体通路内压；流孔，所述流孔设置于比所述排气通路的分歧位置更靠近下游的流体通路内；开闭阀，所述开闭阀开闭所述第一压力传感器的下游侧的流体通路；及排气用阀，所述排气用阀开闭所述排气通路。在所述压力式流量控制装置进行的流量控制开始前使排气用阀动作，且对压力控制用控制阀与开闭阀之间的流体通路空间内进行强制排气，由此可以防止流量控制开始时的超量。
-
公开(公告)号：CN109578598A
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201811139592.X
申请日：2018-09-28
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种与以往的加热器内置阀相比，能够使从阀中通过的气体的液化、蒸发更少的加热器内置阀。本发明的加热器内置阀(1)包括：阀体(10)，其具有气体的入口流路(11)、出口流路(12)及在这些流路之间形成的阀座(13)；阀杆(20)，其在下端部具有相对于阀座(13)抵接/分离的阀芯(21)；盖部件(31)，其气密地固定于阀体(10)的上部，所述阀杆(20)贯穿该盖部件(31)；以及波纹管(39)，其焊接固定于阀杆(20)及盖部件(31)，其中，盖部件(31)具有至少一个加热器插入孔(34)，在加热器插入孔(34)中插入配置至少一个杆状加热器(36)。
-
公开(公告)号：CN109563942A
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201780039064.4
申请日：2017-06-19
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K27/00
Abstract: 本发明提供一种流体控制装置，其能够在不减少流体的供给流量的前提下进一步实现小型化、集成化，并且能够大幅度削减组装工时，还能够改善维护性能。上游侧接头块体(20)的螺纹孔(25a)仅形成于在长度方向上比其流路口(24a)靠上游侧的位置，下游侧接头块体(20)的螺纹孔(25a)仅形成于在长度方向上比其流路口(24a)靠下游侧的位置，在引导部(55)与卡合部(22)之间具有排列机构(55f、22f)，该排列机构(55f、22f)利用克服在互相连结的上游侧接头块体(20)、下游侧接头块体(20)和主体(113)上因紧固螺栓(BT)的紧固力而产生的弯曲力的反作用力(R1、R2)的一部分，使上游侧接头块体(20)和下游侧接头块体(20)的在与引导部(55)的长度方向正交的横向上的位置排列于引导部(55)的中央位置(CP)。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109312874A
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201780039076.7
申请日：2017-06-19
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K27/00
Abstract: 本发明提供一种流体控制装置，其能够在不减少流体的供给流量的前提下进一步实现小型化、集成化，并且能够大幅度削减组装工时，还能够改善维护性能。接头块体(20)的流体流路(23)包括垂直流路(23a)和水平流路(23c)，接头块体(20)以能够沿长度方向(G1、G2)移动的方式约束在导轨构件(50)上，流体控制设备(110)借助接头块体(20)支承于导轨构件(50)，具有螺纹孔(25a)，贯穿流体控制设备(110A)的主体(113)的紧固螺栓(BT)螺纹结合于该螺纹孔(25a)，接头块体(20)与主体(113)之间的垫片(120)在紧固螺栓(BT)的紧固力的作用下，在主体(113)与接头块体(20)之间被压缩，螺纹孔(25a)的顶端部在水平流路(23c)的上方封闭，并且在俯视时螺纹孔(25a)的至少一部分与水平流路(23c)重合。
-
公开(公告)号：CN105247344B
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201480008102.6
申请日：2014-04-30
Applicant: 国立大学法人德岛大学 , 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种在有机原料流体的供给系统等中使用的浓度计，能够实现该浓度计的结构的简单化、小型化、产品成本的降低，能够将透光窗的透明度保持为一定从而进行稳定的浓度测定，并且提高了气密性能和耐颗粒性。本发明为由检测器主体(2)、设置于检测器主体(2)的上面或下面的光振荡部和光检测部构成的光分析式原料流体浓度检测器，所述光分析式原料流体浓度检测器构成为：在检测器主体上面或下面形成有至少一个凹部，并且检测器主体具备：从检测器主体的流体入口与凹部连通的流体流路；连通凹部之间的流体通路；从凹部与检测器主体的流体出口连通的流体流路，所述光分析式原料流体浓度检测器构成为：在最接近入口的凹部配置有光振荡部，在剩余的凹部配置有光检测部。
-
公开(公告)号：CN108445922A
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201810214348.9
申请日：2013-04-01
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/0641 , G05D7/0664 , Y10T137/87772
Abstract: 本发明提供一种半导体制造装置的气体分流供给装置，其具备：控制阀；气体供给主管；多个分支管路；分支管路开闭阀；节流孔，设置于分支管路开闭阀的下游侧；温度传感器，设置在控制阀与节流孔之间的处理气体通路附近；压力传感器，设置在控制阀与节流孔之间的处理气体通路；分流气体出口，设置在节流孔的出口侧；以及由压力式流量运算控制部构成的运算控制部，所述压力式流量运算控制部被输入来自压力传感器的压力信号以及来自温度传感器的温度信号，运算在节流孔中流通的处理气体的总流量，并且将控制信号向阀驱动部输出，所述控制信号使控制阀向运算出的流量值与设定流量值之差减少的方向开闭动作；由压力式流量控制部进行流量控制。
-
公开(公告)号：CN108369425A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201680064955.0
申请日：2016-12-15
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明涉及一种利用具备节流部(12)、上游侧的控制阀(18)、上游侧的第一压力传感器(14)、下游侧的第二压力传感器(24)的流量控制装置(10)和下游阀(24)而进行的异常检测方法，包含使控制阀以及下游阀从打开状态变化为关闭状态的步骤、将控制阀以及下游阀维持着关闭状态而测定上游压力以及下游压力的步骤、和(a)抽出上游压力与下游压力之差达到规定值的时刻的上游压力作为上游收敛压力，下游压力作为下游收敛压力的步骤及(b)抽出从使控制阀以及下游阀变化为关闭状态的时刻至上游压力与下游压力之差达到规定值的时刻为止的时间作为收敛时间的步骤之中的至少一方，基于在步骤(a)或(b)中任一步骤所获得的数据与作为基准的值的比较而判断异常的有无。
-
公开(公告)号：CN105452741B
公开(公告)日：2018-04-27
申请号：CN201480034016.2
申请日：2014-07-04
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K7/14
CPC classification number: F16K7/17
Abstract: 提供一种隔膜阀，通过进行适当的铆固，从而使耐老化性提高。在阀体(2)的凹部(2c)的底面(2d)设置有环状且直径相对小的内侧突出部(22)和环状且直径相对大的外侧突出部(23)。阀座(5)设为合成树脂制，且插入内侧突出部(22)与外侧突出部(23)之间。两个突出部(22、23)被铆固，从而防止阀座(5)的脱落。内侧突出部(22)的高度比外侧突出部(23)的高度低，并且内侧突出部(22)的外侧的角(22a)为曲面。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
611
records
(took 0.036 seconds)
