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公开(公告)号：CN115574691A
公开(公告)日：2023-01-06
申请号：CN202211161378.0
申请日：2020-04-03
申请人： 株式会社东京精密
发明人： 森井秀树
摘要： 提供能够测定多个方向的位移、且具有简单的结构并且能够进行高精度的测定的位移检测器、表面性状测定仪及真圆度测定仪。位移检测器(20)具备：检测器主体(30)；大致L字形的触针(40)，其具有与测定对象物(W)的被测定面相接触的触头(44)；触针保持部(33)，其设置于检测器主体(30)，用于将触针(40)保持为能够以包含相互正交的第1方向以及第2方向的面作为摆动面进行摆动；位移检测部，其设置于检测器主体(30)，用于检测伴随触头(44)与被测定面的接触而产生的触头(44)的位移。
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公开(公告)号：CN113686222A
公开(公告)日：2021-11-23
申请号：CN202110543980.X
申请日：2021-05-18
申请人： 翰默有限公司
发明人： 安德鲁斯·翰默 , 弗兰茨·翰默 , 弗兰茨-约瑟夫·翰默
摘要： 本发明涉及将探针尖容纳在探针测量装置中的联结件及探针测量装置。为了能够以简单且快速的方式将探针尖端8装配在探针测量装置2处，联结元件16设置在一端形成第一连接/联接区域18的轴颈24a、或者螺钉插入件116在一端设置具有凹陷124的第一连接/联接区域118，该第一连接/联接区域尤其用于与联结元件16相连接。联接元件16的这个轴颈24a在外表面60上形成在径向圆周方向上彼此不邻接的多个螺纹节段28，或螺钉插入件116的凹陷124在内表面70上形成在径向圆周方向上彼此不邻接的多个螺纹节段126。
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公开(公告)号：CN107782223B
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN201710744168.7
申请日：2017-08-25
申请人： 株式会社三丰
摘要： 本发明涉及坐标测定装置和坐标校正方法。处理装置具有：压入驱动机构控制部，其以使将相互正交的3个方向和测定力与2个方向的测定力互为反向的2个方向合起来的合计5个方向分别成为相对于校正基准体的表面而言的法线的方式，使测定触头在该5个方向上分别与该表面进行1点接触；仿形驱动机构控制部，其使测定触头在相互正交的3个平面上分别在校正基准体的表面进行往复移动；坐标获取部，其分别获取测定探头的移动量和探头输出；矩阵生成部，其生成校正矩阵；以及探头输出校正部，其使用校正矩阵校正探头输出。由此，能够改善从测定探头所输出的探头输出的在特定平面内的非对称的探头特性，因此能够高精度地求出被测定物的形状坐标。
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公开(公告)号：CN110108183A
公开(公告)日：2019-08-09
申请号：CN201910293558.6
申请日：2019-04-12
申请人： 赫克测控技术(苏州)有限公司
发明人： 董伟吉
摘要： 本申请公开一种精密检测装置和精密检测装置制造方法，其中精密检测装置包括：测杆,用于通过触碰的方式检测与待测对象之间的微间距；触感反馈组件，用于将所述微间距信息进行反馈；复位组件，用于当所述测杆与待测对象之间为非接触状态时，将所述测杆进行复位；其中，所述复位组件包括至少两个磁体。复位组件包括的至少两个磁体通过磁力复位而不是机械复位，可以防止复位卡顿，从而可以防止精密检测装置复位失效。
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公开(公告)号：CN106123738B
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201610428798.9
申请日：2016-06-15
申请人： 安徽理工大学
摘要： 本发明公开了一种基于并联柔顺机构的精密测头，包括圆环状的外壳，外壳的顶部设有上端盖，上端盖的内侧中心吊装一个载物体，外壳的底部连接并联柔顺机构，并联柔顺机构的中心设有测杆，测杆远离动平台的一端端部设有测球；并联柔顺机构的中心处均匀分布三个移动反射镜，载物体的侧壁上均匀分布三个激光干涉仪，载物体在激光干涉仪的下方分别设有固定干涉镜，每个激光干涉仪对准一个固定干涉镜，通过并联柔顺机构代替常见的弹性支承，使测头的结构得到简化，同时大幅度减少了并联柔顺机构与外壳之间的间隙和摩擦，提高了测头的精度。由于并联柔顺机构的结构呈整体化，还有利于实现测头结构的小型化，减小自身重力对测量的影响。
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公开(公告)号：CN104246422B
公开(公告)日：2017-07-11
申请号：CN201380021757.2
申请日：2013-04-15
申请人： 赫克斯冈技术中心
CPC分类号： G01B11/007 , G01B5/012 , G01B5/016
摘要： 本发明涉及一种用于测量机的传感器部件，该传感器部件具有带有用于表面光学测量的探测件(2)的探测部件；带有板状基体(8)的探测件容纳部(3)；以及具有包括接触该基体(8)的至少一个轴承的探测部件容纳部(5)的传感器壳体(1)，该轴承具有至少一个限定的接触点，通过所述接触点所述探测部件以能相对于探测部件容纳部(5)移动的方式连接。传感器壳体(1)在其壳体接合侧具有用于与测量机连接的接合部(4)，并且至少部分包围在基体(8)处的探测部件，其中该基体(8)承受指向探测件(2)的力。探测部件容纳部(5)在传感器壳体(1)内与接合侧相反设置并且具有至少一个轴承，该探测部件的基体(8)设置在接合侧和探测部件容纳部(5)之间。在接合侧和该探测部件的基体(8)之间设有居中的柱形或轴形的压缩弹簧(7)，压缩弹簧将基体(8)压靠到所述至少一个轴承上并且具有沿其纵轴延伸的光纤。
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公开(公告)号：CN102901424B
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201210259206.7
申请日：2012-07-25
申请人： 约翰内斯·海德汉博士有限公司
发明人： R.肖普夫
CPC分类号： G01B5/012 , G01B21/047
摘要： 本发明涉及一种测头，其包括壳体(1)，其中，壳体(1)具有：第一壳体单元(1.1)，其确定用于固定在机器处；和第二壳体单元(1.2)，探针(2)可偏转地支承在其处。第二壳体单元(1.2)可动地在第一壳体单元(1.1)处可偏转地支承。此外，测头具有开关单元(1.5)，其包括第一接触元件(1.15)和第二接触元件(1.25)，其中，接触元件(1.15,1.25)这样布置，使得在第二壳体单元(1.2)相对于第一壳体单元(1.1)偏转时接触元件(1.15,1.25)根据偏转的方向可在不同的点(Px,Py)处带到相互接触，其中，通过该接触可触发电气开关信号。
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公开(公告)号：CN104246422A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201380021757.2
申请日：2013-04-15
申请人： 赫克斯冈技术中心
CPC分类号： G01B11/007 , G01B5/012 , G01B5/016
摘要： 本发明涉及一种用于测量机的传感器部件，该传感器部件具有带有用于表面光学测量的探测件(2)的探测部件；带有板状基体(8)的探测件容纳部(3)；以及具有包括接触该基体(8)的至少一个轴承的探测部件容纳部(5)的传感器壳体(1)，该轴承具有至少一个限定的接触点，通过所述接触点所述探测部件以能相对于探测部件容纳部(5)移动的方式连接。传感器壳体(1)在其壳体接合侧具有用于与测量机连接的接合部(4)，并且至少部分包围在基体(8)处的探测部件，其中该基体(8)承受指向探测件(2)的力。探测部件容纳部(5)在传感器壳体(1)内与接合侧相反设置并且具有至少一个轴承，该探测部件的基体(8)设置在接合侧和探测部件容纳部(5)之间。在接合侧和该探测部件的基体(8)之间设有居中的柱形或轴形的压缩弹簧(7)，压缩弹簧将基体(8)压靠到所述至少一个轴承上并且具有沿其纵轴延伸的光纤。
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