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公开(公告)号：CN116720422A
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN202310377270.3
申请日：2023-04-10
Applicant: 西安交通大学 , 烟台先进材料与绿色制造山东省实验室
IPC: G06F30/27 , G06F18/214 , G06F18/25 , G06N3/006 , G06N3/084 , G06F111/08
Abstract: 本发明公开了一种基于融合神经网络的薄膜热电偶误差补偿方法及系统，包括：构建BP神经网络；将粒子群优化算法融合到BP神经网络模型中；将标准热电偶温度传感器热电势作为输出标签，薄膜热电偶热电势作为输入特征，放入训练后的神经网络，训练后的神经网络经过自身训练学习，达成训练的目标；根据MSE损失函数的计算方法，计算训练后薄膜热电偶温度传感器输出电压预测值与标准热电偶温度传感器输出电压之间的最低误差。本发明将神经网络技术引入薄膜热电偶进行补偿，在薄膜热电偶输出的后端对热电曲线进行校正，同时在硬件层面相较于现存技术大幅度简化，精度也可以随着所收集的数据集的增多而在后续不断迭代提高，且不局限于实验室工况。
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公开(公告)号：CN116638540A
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202310666723.4
申请日：2023-06-06
Applicant: 西安交通大学
IPC: B25J15/06 , H01L21/683
Abstract: 本发明提供的一种防倒吸的真空吸盘及真空吸附晶圆夹具，包括真空吸盘本体，所述真空吸盘的上端开设有轴向布置的气道，所述气道的一端与外接设备连接，另一端与真空吸盘本体下端开设的圆盘状气道连通；所述真空吸盘本体上还设置有防倒吸水气道，所述防倒吸水气道置于真空吸盘本体下端开设的圆盘状气道的外侧；所述防倒吸水气道上设置有出气口，该出气口与气道连通，能够有效地解决现有晶圆的真空吸盘吸附式固定存在电解液及抛光浆倒吸渗入装置内部的缺陷。
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公开(公告)号：CN114993520B
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN202210609327.3
申请日：2022-05-31
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种表压式谐振压力传感器及制备方法，提出了一种适合用于表压式压力测量的谐振式压力传感器设计结构，该传感器采用静电激励电容检测，包括压力膜片层、谐振器层以及真空封装层，压力膜片层主要用于承受载荷压力，当承受载荷压力时，压力膜片产生变形，从而带动压力膜片上的锚点产生轴向位移，进而使谐振梁产生轴向内应力，谐振器层主要将谐振梁轴向应力转化为谐振子谐振频率的变化，从而表征压力的大小，封装层将同时作为结构变形层以及真空封装层，用于形成高真空密封空腔。
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公开(公告)号：CN113341180B
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202110567943.2
申请日：2021-05-24
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01Q60/18
Abstract: 本发明公开了一种基于近场无孔式探针的多模式测量方法及测量系统，第一、第二光纤和探针光纤通过第一光纤耦合器耦合连接，第一光纤与第一激光器连接，第二光纤与第一探测器连接；第三、第四光纤和第五光纤通过第二光纤耦合器耦合连接，第三光纤与第二激光器连接，第四光纤第二探测器连接，第五光纤与聚焦透镜组连接；第一光纤输出的光只能进入探针光纤，探针光纤输出的光只能进入第二光纤；第三光纤输出的光只能进入第五光纤，第五光纤输出的光只能进入第四光纤；探针光纤的探针针尖的轴线与聚焦透镜组的轴线同轴。本发明能够实现多种不同的测量模式，测量系统使用光纤作为光传播的载体，让整个光路十分灵活，便于测量过程中的光路调试。
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公开(公告)号：CN113551812B
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202110462429.2
申请日：2021-04-27
Applicant: 陕西省计量科学研究院 , 西安交通大学
Inventor： 王鸿雁 , 李学琛 , 关卫军 , 吴永顺 , 魏于昆 , 山涛 , 王爱华 , 付磊 , 赵立波 , 韩香广 , 皇咪咪 , 徐廷中 , 杨萍 , 王李 , 陈翠兰 , 罗国希 , 王永录 , 蒋庄德
Abstract: 本发明公开了一种十字梁膜应力集中微压传感器芯片及其制备方法，感器芯片包括承压薄膜、硅基底、压敏电阻条、金属引线和防过载玻璃基底等。具体结构为在硅基底背面刻蚀形成承压薄膜以及半岛与岛屿结构，在硅基底正面刻蚀四块钻石形区域形成十字梁。芯片背腔相邻的岛屿与岛屿之间、岛屿与半岛之间的间隙所对应的芯片正面形成应力集中区域，四个压敏电阻条布置在该应力集中区域上，利用重掺杂欧姆接触区、金属引线以及金属焊盘将压敏电阻条连接形成惠斯通电桥，十字梁的存在可以进一步提高压敏电阻条处的应力集中效果。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116300053A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310281000.2
申请日：2023-03-21
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种反向角度垂直梳齿微镜驱动结构、驱动微镜及其制备方法，反向角度垂直梳齿微镜驱动结构包括主体和盖合在主体上的盖板；盖板包括盖板基底，盖板基底下表面固定有错位激活凸台和倾角激活凸台；主体包括定子锚、定梳齿、动梳齿和主体基底，定梳齿延伸自定子锚，定子锚通过蛇形梁与主体基底连接；动梳齿与定梳齿互相交错，与定梳齿构成反向角度垂直梳齿微镜驱动结构；当盖板和主体组装时，错位激活凸台下压与定梳齿连接的部件，使定梳齿和动梳齿产生垂直高度差；定子锚被倾角激活凸台下压，使定梳齿翘起。其相较于AVC结构定梳齿与动梳齿重叠面积更大，能提供更大的吸引力，且微镜转动角度越大，优势越明显。
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公开(公告)号：CN113740785B
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202111005998.0
申请日：2021-08-30
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01R33/032
Abstract: 本发明公开了一种矢量磁场传感器及矢量磁场检测系统和方法，通过将光纤中间呈环形设置，光纤的环形外部套设有圆柱壳体，光纤的环形截面与圆柱壳体的轴线垂直，圆柱壳体内填充有磁流体，利用磁流体沿着磁场形成链结构，呈现各向异性分布，当磁场方向改变时，磁流体沿着新的磁场方向形成新的链状结构，在不同磁场情况下，磁流体在呈环形结构的光纤结构周围的折射率是不同的，利用宽带光源产生宽波段光，然后利用光谱仪监测在不同磁场大小下干涉光谱的变化，记录在相应磁场大小下的干涉光谱，利用不同方向下气球状光纤结构周围的折射率差，便可以实现磁场方向的测量，结构简单，检测准确度高，能够同时检测磁场的方向和大小，大大提高了检测效率。
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公开(公告)号：CN114244056B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202111583234.X
申请日：2021-12-22
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了用于人体运动能量收集的能量收集器及装置及方法，能量收集器包括弹性基底、电磁发电机、压电发电机和摩擦发电机，弹性基底的形状为环形；电磁发电机的第一载体封装盒和第二载体封装盒分别设置于弹性基底内表面且上下正对，并分别设有磁铁和带铁芯线圈，磁铁和带铁芯线圈相对设置；摩擦发电机的电极层设置于第一载体封装盒的下表面，介电层设置于电极层的下表面，金属层设置于第二载体封装盒的上表面，金属层与介电层之间具有空隙；压电发电机的第一压电单晶片和第二压电单晶片分别对称设置于弹性基底左右两侧的内壁。本发明将电磁式、压电式和摩擦电结合来收集人体产生的能量。三种发电机优势互补，提高了能量收集器的工作效率。
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公开(公告)号：CN115774122A
公开(公告)日：2023-03-10
申请号：CN202211485553.1
申请日：2022-11-24
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种基于纯轴向应变梁的单轴加速度传感芯片及其工作方法，敏感梁上均具有力敏电阻；固定框架的内框形状为矩形，所有振动单元相同并依次设置于固定框架内框的四角位置；质量块上设有供支撑梁活动的凹槽，支撑梁的一端与固定框架内框的一拐角固定连接，支撑梁的另一端与质量块上的凹槽的底部连接；第一、二振动单元的质量块相邻侧面两端之间设置敏感梁；第三、四振动单元的质量块相邻的侧面两端之间设置敏感梁；所有敏感梁相互平行。本发明可以产生敏感梁纯轴向拉伸或者压缩的效果；另外一方面，这样可以显著地降低了小尺寸下芯片可动结构的整体刚度，使得小尺寸下，敏感芯体仍具有较好的灵敏度及高带宽特性。
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公开(公告)号：CN115770720A
公开(公告)日：2023-03-10
申请号：CN202211527622.0
申请日：2022-11-30
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种具有隔离凹槽低应力双压电层结构的PMUT及其工作和制备方法，PMUT自上而下包括圆形多层复合薄膜、绝缘层、上基底、键合层和下基底。多层复合薄膜包括上压电层、下压电层、上电极层、中电极层和下电极层多层复合薄膜上具有同心的环形凹槽，并覆盖整个空腔的区域。本发明在有效降低PMUT单元间串扰、减小薄膜应力的同时实现薄膜内压电驱动弯矩的大幅增加，进而实现超声发射和接收性能提升，以满足小管径流量检测应用对低功耗、高性能超声换能器的迫切需求。
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