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公开(公告)号：CN117990942A
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202311470015.X
申请日：2023-11-07
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 提出一种系统，具有惯性传感器和分析处理单元，其中，惯性传感器配置为用于激励惯性传感器的能够振荡的结构进行驱动振荡，使得根据驱动振荡的频率推导出所述惯性传感器的输出数据速率，分析处理单元具有参考节拍器并且配置为用于根据所述参考节拍器的参考频率求取惯性传感器的输出数据速率并且根据求取出的输出数据速率确定所述驱动振荡的频率和/或频率变化。替代地，惯性传感器配置为用于从分析处理单元接收参考节拍器的参考节拍信号并且根据所传递的参考节拍信号确定频率和/或频率变化。此外，提出一种用于确定惯性传感器的驱动振荡的频率和/或频率变化的方法。
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公开(公告)号：CN109799606B
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN201811365018.6
申请日：2018-11-16
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种微机械构件，其具有保持装置(12)、带有反射表面的微镜(10)和至少一个弹簧(14a，14b)，其中，所述微镜(10)至少通过所述至少一个弹簧(14a，14b)这样与所述保持装置(12)连接，使得所述微镜(10)相对于所述保持装置(12)能围绕至少一个旋转轴线(16)调整，其中，所述反射表面至少部分地构造在所述微镜(10)的张紧的膜片(18)的第一膜片表面(18a)上，并且所述微镜具有指向离开所述第一膜片表面(18a)方向的、在空气或真空中张紧的第二膜片表面(18b)。此外，本发明涉及一种微机械构件的制造方法。
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公开(公告)号：CN107850433B
公开(公告)日：2021-07-13
申请号：CN201680042149.3
申请日：2016-05-24
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5747
Abstract: 本发明提出一种转速传感器，该转速传感器具有带有主延伸平面的衬底和至少一个相对于衬底可运动的第一结构和至少一个相对于衬底并且相对于第一结构可运动的第二结构，其中，转速传感器包括至少一个第一驱动结构用于使第一结构从第一结构的静止位置中以基本上平行于第一轴线的运动分量偏移，其中，转速传感器包括至少一个第二驱动结构用于使第二结构从第二结构的静止位置中以基本上平行于第一轴线的运动分量偏移，其中，第一结构和第二结构可以被激励而以基本上平行于第一轴线的运动分量基本上反相地振动，其中，第一驱动结构如此具有至少一个固定在衬底上的第一弹簧，使得该第一弹簧抵抗第一结构的基本上围绕与垂直于主延伸平面走向的第二轴线平行走向的轴线的偏转，其中，第二驱动结构如此具有至少一个固定在衬底上的第二弹簧，使得该第二弹簧抵抗第二结构的基本上围绕与第二轴线平行走向的另一轴线的偏转。
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公开(公告)号：CN105209857B
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201480028191.0
申请日：2014-05-05
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5712
CPC classification number: G01C19/5712
Abstract: 本发明提出一种转速传感器，其用于探测转速传感器围绕旋转轴线的旋转运动，其中旋转轴线在转速传感器的驱动平面内延伸，其中转速传感器具有第一旋转元件、第二旋转元件和能够平行于驱动平面运动的驱动结构，其中第一旋转元件可以围绕第一旋转中心被驱动成平行于驱动平面的第一旋转振动，其中第二旋转元件可以围绕第二旋转中心被驱动成平行于驱动平面的第二旋转振动，其特征在于，驱动结构与第一旋转元件并且与第二旋转元件耦合，其中驱动结构配置用于产生第一旋转振动与第二旋转振动的相反相位的驱动模式。
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公开(公告)号：CN107923751A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201680050404.9
申请日：2016-06-27
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/574
CPC classification number: G01C19/5642 , G01C19/574 , G01C19/5747
Abstract: 提出一种转速传感器，该转速传感器具有衬底、至少一个第一转速传感器结构、至少一个第二转速传感器结构，衬底具有主延伸平面，所述至少一个第一转速传感器结构用于探测所述转速传感器的围绕基本上平行于第一轴线的轴线的第一转速、所述至少一个第二转速传感器结构用于探测所述转速传感器的围绕基本上平行于第二轴线的轴线的第二转速，第一轴线平行于所述主延伸平面延伸，第二轴线垂直于所述主延伸平面延伸，其中，所述转速传感器如此包括驱动装置，-所述驱动装置既用于偏转所述第一转速传感器结构的能够相对于所述衬底运动的至少一个第一结构，以及所述第一转速传感器结构的能够相对于所述衬底并且相对于所述第一结构运动的至少一个第二结构，-而且所述驱动装置也用于偏转所述第二转速传感器结构的能够相对于所述衬底运动的至少一个第三结构，以及所述第二转速传感器结构的能够相对于所述衬底并且相对于所述第三结构运动的至少一个第四结构，使得所述第一结构、所述第二结构、所述第三结构以及所述第四结构能够被激励到机械耦合的振动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107850433A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201680042149.3
申请日：2016-05-24
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5747
CPC classification number: G01C19/5747 , B81B3/0054 , B81B2201/0228 , G01C19/5712 , G01C19/5726 , G01C19/5762
Abstract: 本发明提出一种转速传感器，该转速传感器具有带有主延伸平面的衬底和至少一个相对于衬底可运动的第一结构和至少一个相对于衬底并且相对于第一结构可运动的第二结构，其中，转速传感器包括至少一个第一驱动结构用于使第一结构从第一结构的静止位置中以基本上平行于第一轴线的运动分量偏移，其中，转速传感器包括至少一个第二驱动结构用于使第二结构从第二结构的静止位置中以基本上平行于第一轴线的运动分量偏移，其中，第一结构和第二结构可以被激励而以基本上平行于第一轴线的运动分量基本上反相地振动，其中，第一驱动结构如此具有至少一个固定在衬底上的第一弹簧，使得该第一弹簧抵抗第一结构的基本上围绕与垂直于主延伸平面走向的第二轴线平行走向的轴线的偏转，其中，第二驱动结构如此具有至少一个固定在衬底上的第二弹簧，使得该第二弹簧抵抗第二结构的基本上围绕与第二轴线平行走向的另一轴线的偏转。
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公开(公告)号：CN103630127B
公开(公告)日：2017-10-27
申请号：CN201310165983.X
申请日：2013-05-08
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5733 , G01C19/5747
CPC classification number: G01C19/56 , G01C19/5747
Abstract: 本发明涉及转速传感器，其衬底具有主延伸平面，用于探测围绕或与主延伸平面平行地或垂直地延伸的第一方向的转速，转速传感器具有驱动装置、第一和第二科里奥利质量，第一科里奥利质量的至少一部分和第二科里奥利质量的至少一部分在围绕第一方向的转速的情况下经受与垂直于驱动方向和第一方向延伸的探测方向平行的科里奥利加速度，转速传感器具有第一和第二均衡质量，第一均衡质量通过衬底上的第一连接件具有与第一科里奥利质量的耦合并且第二均衡质量通过衬底上的第二连接件具有与第一科里奥利质量的耦合，第一科里奥利质量的由科里奥利加速度引起的与探测方向平行的偏转导致第一和第二均衡质量的分别反向的偏转。
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公开(公告)号：CN106352866A
公开(公告)日：2017-01-25
申请号：CN201610559524.3
申请日：2016-07-15
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5747
Abstract: 本发明涉及转速传感器，包括基底、第一驱动结构、第二驱动结构、第一探测结构、第二探测结构、第三探测结构和第四探测结构。该转速传感器包括驱动装置，用于使第一和第二驱动结构从静止位置偏出从而使得它们能被激励成具有基本反相的运动分量的振动。第一和第二探测结构借助耦合结构耦合，使得在第一转速和/或在第二转速的情况下能够探测基本垂直于驱动方向作用到第一探测结构上的第一力作用和作用到第二探测结构上的第二力作用，第一和第二力作用基本反相，第三和第四探测结构借助于耦合结构耦合，使得在第二转速和/或在第三转速的情况下能探测基本垂直于主延伸平面作用到第三探测结构上的第三力作用和作用到第四探测结构上的第四力作用。
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公开(公告)号：CN105209857A
公开(公告)日：2015-12-30
申请号：CN201480028191.0
申请日：2014-05-05
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5712
CPC classification number: G01C19/5712
Abstract: 本发明提出一种转速传感器，其用于探测转速传感器围绕旋转轴线的旋转运动，其中旋转轴线在转速传感器的驱动平面内延伸，其中转速传感器具有第一旋转元件、第二旋转元件和能够平行于驱动平面运动的驱动结构，其中第一旋转元件可以围绕第一旋转中心被驱动成平行于驱动平面的第一旋转振动，其中第二旋转元件可以围绕第二旋转中心被驱动成平行于驱动平面的第二旋转振动，其特征在于，驱动结构与第一旋转元件并且与第二旋转元件耦合，其中驱动结构配置用于产生第一旋转振动与第二旋转振动的相反相位的驱动模式。
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公开(公告)号：CN118221059A
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN202311758385.3
申请日：2023-12-19
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 一种微机械转速传感器和一种用于运行其的方法，微机械转速传感器具有沿着驱动方向驱动传感器元件振动的驱动设备和检测借助传感器元件所产生的测量信号的检测设备，检测设备具有第一和第二电极结构，用于平行于基本上垂直于驱动方向设置的检测方向地检测传感器元件的机械偏转或力作用，传感器元件以预给定的电压加载，不仅第一、而且第二电极结构沿着检测方向相对于传感器元件布置成在传感器元件与第一电极结构之间以及在传感器元件与第二电极结构之间分别形成可变电容，检测设备设置为对可变电容进行差分检测，可变电容分别具有静态电容份额和设置为相反变化的动态电容份额，微机械转速传感器配置成借助于预给定的电压的变化来求取静态电容份额。
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