公开(公告)号：CN108112264A

公开(公告)日：2018-06-01

申请号：CN201680015688.8

申请日：2016-02-25

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 桐原大辅 ,  前田政己

IPC: G01R31/01 ,  G01R31/28 ,  G01R31/26

CPC classification number: G01R31/2891 ,  G01R31/26 ,  G01R31/2893

Abstract: 本发明提供一种能够防止检查后的电子部件产生结露的电子部件输送装置及电子部件检查装置。检查装置1包括：第三室R3，能够设置检查后的IC设备90；第四室R4，能够设置检查后的IC设备90，且不同于第三室R3；以及托盘200，能够放置检查后的所述电子部件，且能够使每个IC设备90从第三室R3移动至第四室R4。此外，检查装置1能够检测第四室R4的湿度及温度中的至少一个。

公开(公告)号：CN108093649A

公开(公告)日：2018-05-29

申请号：CN201680015725.5

申请日：2016-02-03

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 桐原大辅 ,  前田政己 ,  下岛聪兴 ,  山崎孝

IPC: G01R31/26

CPC classification number: G01R31/2893 ,  G01R31/2891 ,  H01L21/67126 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/67288 ,  H01L21/67356 ,  H01L21/67373 ,  H01L21/67376 ,  H01L21/67379 ,  H01L21/67386 ,  H01L21/67389

Abstract: 本申请提供了电子部件输送装置及电子部件检查装置，在对装置内部实施作业时，能够尽可能地抑制外气的流入。该电子部件输送装置具备：第一开闭部(4)，能够开闭；第一转动支承部(42)，以能够转动的方式支承第一开闭部(4)；第二开闭部(5)，在第一开闭部(4)中以能够开闭的方式设置；第二转动支承部(52)，以能够转动的方式支承第二开闭部(5)。第一开闭部(4)的面积大于第二开闭部(5)的面积。

公开(公告)号：CN108012563A

公开(公告)日：2018-05-08

申请号：CN201680050202.4

申请日：2016-09-21

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 桐原大辅 ,  前田政己 ,  下岛聪兴 ,  夏井坂康敏

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/02 ,  G01R31/26 ,  H05F3/04

CPC classification number: G01R31/26 ,  H01L21/02 ,  H01L21/677 ,  H05F3/04

Abstract: 本申请提供一种电子元器件输送装置及电子元器件检查装置，其可以向目标局部喷射进行了离子化的干燥空气。电子元器件输送装置具备：能够供给干燥空气(DA)的干燥空气供给部(3A)；能够对干燥空气进行离子化的离子产生部；能够喷射利用离子产生部进行了离子化的干燥空气(离子化空气(IA))的喷射部(5A)；作为能够配置作为电子元器件的IC器件(90)且能够冷却的电子元器件配置部的温度调整部(12)；以及收容部(8A)，能够收容温度调整部(12)，并且具有IC器件(90)能够通过的开口(841)，喷射部(5A)具有能够向收容部(8A)的内部喷射离子化空气(IA)的至少一个喷出口(511)。

公开(公告)号：CN103245848B

公开(公告)日：2017-11-14

申请号：CN201310049498.6

申请日：2013-02-07

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 前田政己 ,  下岛聪兴

IPC: G01R31/00 ,  F25D3/10

CPC classification number: F17C9/02 ,  G01R31/2867 ,  G01R31/2877

Abstract: 本发明提供一种处理器，该处理器具备：贮藏罐，其贮藏液氮；供给路，其从贮藏罐向第一梭的内部通路供给制冷剂；阀，其开闭供给路；以及热交换器，其具有比供给路大的流路截面积的气化室，液氮在该气化室发生气化。由此，由于各气化室被预先气化的氮气充满，所以能够缓和与后续的液氮的气化相伴随的压力变动。另外，因为向各内部通路供给氮气，所以还能够抑制收容卡格的过度冷却。

公开(公告)号：CN106483399A

公开(公告)日：2017-03-08

申请号：CN201610685326.1

申请日：2016-08-18

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 桐原大辅 ,  前田政己 ,  下岛聪兴

IPC: G01R31/00

CPC classification number: G01R31/00

Abstract: 本发明提供一种电子部件输送装置以及电子部件检查装置，其能够分别将电子部件设定为第一温度和第二温度。电子部件输送装置具有：第一输送部，其能够输送电子部件并使所述电子部件成为第一温度；以及第二输送部，其能够输送所述电子部件并使所述电子部件成为与所述第一温度不同的第二温度。

公开(公告)号：CN105319460A

公开(公告)日：2016-02-10

申请号：CN201510108552.9

申请日：2015-03-12

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 清水博之 ,  山崎孝 ,  前田政己

IPC: G01R31/00 ,  G01R31/28 ,  G01R1/02

Abstract: 本发明涉及电子部件搬运装置以及电子部件检查装置。电子部件搬运装置具有搬运电子部件的搬运部、和配置所述电子部件并进行所述电子部件的加热以及冷却中的至少一方的部件，在所述搬运部进行停止的情况下，当所述电子部件位于第一位置时，使所述搬运部停止，当所述电子部件位于比所述第一位置远离所述部件的第二位置时，将所述电子部件搬运至所述第一位置后使所述搬运部停止。

公开(公告)号：CN105277869A

公开(公告)日：2016-01-27

申请号：CN201510091746.2

申请日：2015-02-28

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 桐原大辅 ,  前田政己

IPC: G01R31/28 ,  G01R1/02

Abstract: 本发明涉及电子部件搬运装置以及电子部件检查装置。电子部件检查装置具备：被配置IC器件等电子部件的电子部件配置部；和被配置在电子部件配置部的垂直上方，向电子部件配置部供给制冷剂的冷却单元。而且，优选冷却单元被配置成其重心位于俯视到检测器配置空间的区域以外的区域。

公开(公告)号：CN203825037U

公开(公告)日：2014-09-10

申请号：CN201420108957.3

申请日：2013-06-28

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 长谷川信夫 ,  前田政己

IPC: G01R1/02

Abstract: 本实用新型提供输送装置以及检查装置。本实用新型的输送装置具有：基部；被固定于基部的第一支承部；被支承于第一支承部的吸附管嘴；能够相对于第一支承部在Y方向移动的第一移动部；被支承于第一移动部的吸附管嘴；能够在基部沿X方向移动的第二支承部；被支承于第二支承部的吸附管嘴；能够相对于第二支承部在Y方向移动的第二移动部；被支承于第二移动部的吸附管嘴；使第一移动部、第二移动部一体地在Y方向移动并使吸附管嘴与吸附管嘴的离开距离变化的Y方向移动机构；以及使第一支承部、第二支承部的离开距离变化的X方向移动机构。

公开(公告)号：CN203794200U

公开(公告)日：2014-08-27

申请号：CN201420108592.4

申请日：2013-06-28

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 长谷川信夫 ,  前田政己

IPC: B65G47/90 ,  G01R1/02

Abstract: 本实用新型提供输送装置以及检查装置。本实用新型的输送装置具有：基部；被固定于基部的第一支承部；被支承于第一支承部的吸附管嘴；能够相对于第一支承部在Y方向移动的第一移动部；被支承于第一移动部的吸附管嘴；能够在基部沿X方向移动的第二支承部；被支承于第二支承部的吸附管嘴；能够相对于第二支承部在Y方向移动的第二移动部；被支承于第二移动部的吸附管嘴；使第一移动部、第二移动部一体地在Y方向移动并使吸附管嘴与吸附管嘴的离开距离变化的Y方向移动机构；以及使第一支承部、第二支承部的离开距离变化的X方向移动机构。