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公开(公告)号：CN103030092B
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201310008735.4
申请日：2013-01-10
Applicant: 浙江大学
IPC: B81B3/00
Abstract: 本发明公开了一种基于相变作用力的金属微驱动器、驱动装置及其驱动方法。利用LIGA技术加工出具有高深宽比的金属微驱动器，利用脉冲激光照射微驱动器使微驱动器迅速升温，微驱动器局部微结构内的液体受热发生气化相变，气泡将液体向外排产生反作用力驱动微驱动器转动。通过调整激光的功率和占空比来控制局部微结构中的气泡产生速率和大小变化，从而产生脉冲式的驱动力实现微驱动器的步进运动。本发明原理巧妙，能够通过简单结构将光能转换为热能再转换为动能，实现远程非接触式控制，可望在MOEMS器件等领域获得广泛应用。
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公开(公告)号：CN103774109A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201410039013.X
申请日：2014-01-26
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种超高灵敏度的Fe-Y-B金属薄膜及其制备方法。其成分Fe、Y、B分别为67～73at.％，7～11at.％，14～20at.％，为非晶态。制备方法包括：将Fe、Y、B金属原料合成靶材，并置于真空环境内的多靶磁控溅射镀膜设备的靶位上；将腔体抽真空，充入Ar2，调节腔内气压，进行预溅射；之后进行溅射，将硅单面抛光片取出，得到Fe-Y-B金属薄膜。本发明的Fe-Y-B金属薄膜为非晶态，采用纵向驱动模式，对微弱磁场具有超高灵敏度的磁阻抗效应，可用于磁传感器的制造。
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公开(公告)号：CN102707093B
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201210192166.9
申请日：2012-06-12
Applicant: 浙江大学
IPC: G01Q60/24
Abstract: 本发明公开了一种双管扫描器联动跟踪型原子力显微探测方法及系统。采用样品固定、双管扫描器扫描微探针并且联动跟踪光束的方法，实现样品微纳米结构的原子力显微探测与扫描成像。它具有由双管扫描器、探针座、微探针、L形结构、联动透镜、激光器、光电位置探测器、样品、样品台等组成的双管扫描器联动跟踪型AFM探测头，以及由前置放大器、扫描与反馈控制单元、计算机等组成的扫描成像与反馈控制系统。本发明的优点是：样品尺寸和重量不受限制；与双管扫描器联动的光路系统，有效实现扫描时的光束跟踪；反射光路与Z反馈运动方向一致，避免反馈导致的伪信号及AFM图像失真；上下双层结构、相互正交二等分的双管扫描器，消除了耦合产生的图像畸变。
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公开(公告)号：CN103030092A
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201310008735.4
申请日：2013-01-10
Applicant: 浙江大学
IPC: B81B3/00
Abstract: 本发明公开了一种基于相变作用力的金属微驱动器、驱动装置及其驱动方法。利用LIGA技术加工出具有高深宽比的金属微驱动器，利用脉冲激光照射微驱动器使微驱动器迅速升温，微驱动器局部微结构内的液体受热发生气化相变，气泡将液体向外排产生反作用力驱动微驱动器转动。通过调整激光的功率和占空比来控制局部微结构中的气泡产生速率和大小变化，从而产生脉冲式的驱动力实现微驱动器的步进运动。本发明原理巧妙，能够通过简单结构将光能转换为热能再转换为动能，实现远程非接触式控制，可望在MOEMS器件等领域获得广泛应用。
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公开(公告)号：CN102213840B
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN201110139191.6
申请日：2011-05-26
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于透明介质小球的暗斑产生方法及装置。该方法包括：将切向偏振光束入射到微米量级的透明介质小球，在所述的微米量级的透明介质小球的出射端得到暗斑。该装置依次包括：用于产生切向偏振光束的器件、显微物镜、微米量级的透明介质小球、和用于固定所述微米量级的透明介质小球的盖玻片，切向偏振光束通过显微物镜初步聚焦后，再通过微米量级的透明介质小球进一步聚焦得到暗斑。本发明利用单一光束作为系统工作光束，节约了系统成本，增加了实用性，同时聚焦后的暗斑尺寸可以达到0.414λ，远远小于普通切向偏振光聚焦。而且光束质量也有提高，更有利于实际应用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102096190B
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201110022876.2
申请日：2011-01-20
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种金属光热驱动微开关及其制作方法。本发明采用同步辐射LIGA技术制备了这种金属光热驱动微开关，采用化学溅射法对金属光热驱动微开关的表面进行了发黑处理以减小其对光的反射、增加其对光的吸收。采用激光作为驱动源，将激光束进行准直聚焦后照射到金属光热驱动微开关的驱动臂上，利用金属的光热膨胀效应使金属微开关发生形变，从而实现开关功能。系统包括激光器、聚焦透镜、基底、膨胀臂、触点等部分。本发明的优点是采用LIGA技术制备，微开关精度高，可进行批量生产；可以利用激光直接对微开关进行非接触控制；微开关导电性良好，可直接应用于电路。
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公开(公告)号：CN102095898A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN201110022879.6
申请日：2011-01-20
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种光学显微－原子力显微双探头成像方法及装置。它具有激光器、微透镜和单管压电陶瓷及微悬臂探针组成的扫描器、位置敏感探测单元和光电检测与反馈测量控制系统等构成的原子力显微探头，以及显微物镜组和显微目镜组组成的光学显微探头，CCD检测头和数据图像采集系统、Z向移动机构、XY步进移动机构和开放式大样品台。本发明的光学显微-原子力显微双探头系统可以同时解决大范围的实时光学显微观察和局部的高分辨纳米结构和性能的观察和测量。
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公开(公告)号：CN102092676A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN201110022872.4
申请日：2011-01-20
Applicant: 浙江大学
IPC: B81C99/00
Abstract: 本发明公开了一种批量制备大纵横比三维微结构的方法及系统。采用电化学沉积和分别用步进电机控制微电极Z向移动与加工基底XY向移动的方法，实现了各种不同三维微结构的快速批量制备。该系统具有相连接的计算机、XY向步进移动平台、Z向步进电机、CCD监控系统、三维微结构批量制备核心单元、电源及控制电路。本发明采用的微电极解决了加工效率和精度不高、加工尺度不够微细、加工稳定性不足等问题，可加工出纵横比大均匀性好的三维微结构，同时通过将多个微电极并联和分别用步进电机控制微电极Z向移动与加工基底XY向移动的方式实现了精确高效批量进行三维微结构的制备。
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公开(公告)号：CN101603911B
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN200910100818.X
申请日：2009-07-13
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N13/16
Abstract: 本发明公开了一种大样品大范围高分辨原子力显微检测方法及装置。采用压电陶瓷探头扫描和步进电机大范围移动相结合的方法，同时设计了开放式的样品台，实现大型超精密工件的微纳米检测。它具有激光器、光路跟踪透镜、压电陶瓷、微悬臂探针及光电探测元件组成的大范围高分辨扫描探头系统和对大尺寸样品进行大范围移动的X、Y向步进电控平移台以及光学平台、扫描成像及反馈控制系统。本发明的优点是克服了常规AFM仅适用于小样品的小范围检测的局限性，设计了简单实用的透镜系统解决探针大范围扫描时的光路跟踪问题，采用开放式的样品台和二维步进电机，可对大型超精密工件样品，在保持AFM的超高分辨率下实现任意区域大范围扫描检测。
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公开(公告)号：CN100483920C
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：CN200510061900.8
申请日：2005-12-08
Applicant: 浙江大学
IPC: H02N10/00
Abstract: 本发明涉及一种光热驱动微马达。它具有脉冲光源系统和转动系统，脉冲光源系统具有依次设置的激光器、电光晶体、偏振盘，电光晶体由脉冲信号发生模块和放大回路控制，转动系统具有和膨胀臂、摩擦片、同轴转子和压簧片，膨胀臂一端固定，另一端与摩擦片相粘合，压簧片一端固定，另一端和一弹簧相连，转子与压簧片、摩擦片相接。本发明的优点是马达输出步距小、速度高，直接由激光驱动，不需导线连接，因而结构相对独立，易于马达的微小化，便于将驱动器置于封闭空间(如真空腔)，并可实现较远距的自由控制。可望在众多科技与工业领域得到广泛应用。
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