公开(公告)号：CN102096190A

公开(公告)日：2011-06-15

申请号：CN201110022876.2

申请日：2011-01-20

Applicant: 浙江大学

Inventor： 张冬仙 ,  赵冬伟 ,  章海军 ,  伊福廷 ,  王波

IPC: G02B26/08 ,  G03F1/14 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明公开了一种金属光热驱动微开关及其制作方法。本发明采用同步辐射LIGA技术制备了这种金属光热驱动微开关，采用化学溅射法对金属光热驱动微开关的表面进行了发黑处理以减小其对光的反射、增加其对光的吸收。采用激光作为驱动源，将激光束进行准直聚焦后照射到金属光热驱动微开关的驱动臂上，利用金属的光热膨胀效应使金属微开关发生形变，从而实现开关功能。系统包括激光器、聚焦透镜、基底、膨胀臂、触点等部分。本发明的优点是采用LIGA技术制备，微开关精度高，可进行批量生产；可以利用激光直接对微开关进行非接触控制；微开关导电性良好，可直接应用于电路。

公开(公告)号：CN102096190B

公开(公告)日：2012-09-19

申请号：CN201110022876.2

申请日：2011-01-20

Applicant: 浙江大学

Inventor： 张冬仙 ,  赵冬伟 ,  章海军 ,  伊福廷 ,  王波

IPC: G02B26/08 ,  G03F1/22 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明公开了一种金属光热驱动微开关及其制作方法。本发明采用同步辐射LIGA技术制备了这种金属光热驱动微开关，采用化学溅射法对金属光热驱动微开关的表面进行了发黑处理以减小其对光的反射、增加其对光的吸收。采用激光作为驱动源，将激光束进行准直聚焦后照射到金属光热驱动微开关的驱动臂上，利用金属的光热膨胀效应使金属微开关发生形变，从而实现开关功能。系统包括激光器、聚焦透镜、基底、膨胀臂、触点等部分。本发明的优点是采用LIGA技术制备，微开关精度高，可进行批量生产；可以利用激光直接对微开关进行非接触控制；微开关导电性良好，可直接应用于电路。

公开(公告)号：CN201966133U

公开(公告)日：2011-09-07

申请号：CN201120018370.X

申请日：2011-01-20

Applicant: 浙江大学

Inventor： 赵冬伟 ,  张冬仙 ,  章海军 ,  伊福廷 ,  王波

IPC: H01H37/02 ,  H01H37/46 ,  B81B3/00

Abstract: 本实用新型公开了一种金属光热驱动微开关。本实用新型采用同步辐射LIGA技术制备了这种金属光热驱动微开关，采用化学溅射法对金属光热驱动微开关的表面进行了发黑处理以减小其对光的反射、增加其对光的吸收。采用激光作为驱动源，将激光束进行准直聚焦后照射到金属光热驱动微开关的驱动臂上，利用金属的光热膨胀效应使金属微开关发生形变，从而实现开关功能。系统包括激光器、聚焦透镜、基底、膨胀臂、触点等部分。本实用新型的优点是采用LIGA技术制备，微开关精度高，可进行批量生产；可以利用激光直接对微开关进行非接触控制；微开关导电性良好，可直接应用于电路。